专利名称：气体通道模块及应用其的气体分配装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种气体通道模块，特别是一种应用于玻璃真空溅射镀膜设备的气体通道模块及应用其的气体分配装置。
背景技术：
随着经济的发展以及人们生活水平的提高，社会对工业的各个行业提出了更高的要求，其中对于硅酸盐行业而言，玻璃的镀膜标准也随之越来越高。镀膜玻璃按产品的不同特性，可分为以下几类:热反射玻璃、低辐射玻璃、导电膜玻璃等。热反射玻璃一般是在玻璃表面镀一层或多层诸如铬、钛或不锈钢等金属或其化合物组成的薄膜，使产品呈丰富的色彩，对于可见光有适当的透射率，对红外线有较高的反射率，对紫外线有较高吸收率，因此，也称为阳光控制玻璃，主要用于建筑和玻璃幕墙；低辐射玻璃是在玻璃表面镀由银、铜或锡等金属或其化合物组成的薄膜，产品对可见光有较高的透射率，对红外线有很高的反射率，具有良好的保温隔热性能，主要用于建筑和汽车、船舶等交通工具，由于膜层强度较差，一般都制成中空玻璃使用；导电膜玻璃是在玻璃表面涂敷氧化铟锡等导电薄膜，可用于玻璃的加热、除霜、除雾以及用作液晶显示屏等。
镀膜玻璃的生产方法很多，主要有离子溅射法、真空蒸发法、化学气相沉积法以及溶胶-凝胶法等。溅射镀膜玻璃利用溅射技术可以设计制造多层复杂膜系，可在白色的玻璃基片上镀出多种颜色，膜层的耐腐蚀和耐磨性能较好，是目前生产和使用最多的产品之一。真空蒸发镀膜玻璃的品种和质量与溅射镀膜玻璃相比均存在一定差距，已逐步被溅射法取代。化学气相沉积法是在浮法玻璃生产线上通入反应气体在灼热的玻璃表面分解，均匀地沉积在玻璃表面形成镀膜玻璃。该方法的特点是设备投入少、易调控，产品成本低、化学稳定性好，可进行热加工，是目前最有发展前途的生产方法之一。溶胶-凝胶法生产镀膜玻璃工艺简单，稳定性也好，不足之处是产品光透射比太高，装饰性较差。
对于离子溅射法而言，通常是在高压1500V的作用下，残留的气体分子被电离，形成等离子体，阳离子在电场加速下轰击金属靶，使金属原子溅射到样品的表面，形成导电膜。目前，真空容器内，一种镀膜玻璃通常是由一系列不同膜层材料构成，而且整个镀膜过程是在镀膜设备中一次连续完成的。这样就要求玻璃镀膜设备上要配置不同靶材料，不同靶材料设置在不同的井位中，各个井位之间的溅射气氛不尽相同，或是在纯氩气氛下溅射，或是在氩氧气氛下溅射，或是在氩氮气氛下溅射。出于镀膜质量的考虑，每个井位之间的气体应该浓度均匀。传统的玻 璃镀膜设备是将工艺气路分配装置安装在镀膜腔体内部，通常是在阴极挡板的下部，由于气体流场的复杂性和气体本身的压缩性，这种设计容易造成工艺气体藏匿于玻璃两侧的空间，在溅射过程中，由于玻璃边部的气体浓度较大，使得玻璃边部的镀膜效果与中间形成较大差异；同时，由于工艺气路分配装置是固定在腔体内部，既不利于工艺气路装置的检修维护，也降低了设备工艺配置的可互换性和灵活性。
本领域技术人员致力于提供一种可以有效实现溅射气体均匀分配的设备。发明内容
本发明要解决的技术问题是为了克服现有玻璃镀膜设备中的气体分配不均匀的技术问题，提供一种气体通道模块及应用于其的气体分配装置，以有效实现各个井位之中气体均匀分配。
本发明是通过下述技术方案来解决上述技术问题的:
一种气体通道模块，其特点在于，所述气体通道模块总体为一个长方体，其中，
所述长方体水平方向上具有第一端面和第二端面，第一端面设置有第一长槽，第二端面设置有第二长槽；
所述长方体顶面设置有一主进气孔和多个辅进气孔，长方体主体对应主进气孔和辅进气孔设有第一内部通道和第二内部通道，所述长方体底面设置有多个主出气孔和多个辅出气孔；所述主进气孔通过第一内部通道与第一长槽相通，所述辅进气孔通过第二内部通道与第二长槽相通。
较佳地，所述第一长槽与气体通道模块底部通过主出气孔相通，所述第二长槽被隔离成多个独立的辅气长槽，所述多个辅气长槽依次排列，每个辅气长槽与气体通道模块底部通过辅出气孔相通。
较佳地，所述气体通道模块的第二端面上还设置第三长槽，所述第三长槽通过一第三内部通道与部分辅进气孔相通，所述第三长槽通过一辅助槽与第二长槽中的部分辅气长槽相通。
较佳地，所述长方体顶部设置有顶部气槽，部分辅进气孔与顶部气槽连接。
较佳地，所述装置包括一气体通道模块、顶板、第一侧板、第二侧板、U型盖板，所述的气体通道模块采用如权利要求3或4所述的气体通道模块，其中，所述顶板密封气体通道模块顶面，所述第一侧板密封第一长槽，所述第二侧板密封第二长槽和/或第三长槽。
较佳地，所述顶板包括注气接头，所述注气接头与所述主进气孔和辅进气孔对应设置。
较佳地，所述U型盖板安装在气体通道模块的底部，与气体通道模块底部形成混气腔。
较佳地，所述混气腔内部设置有封板，将混气腔分割为独立的几段。
较佳地 ，所述U型盖板上设置有喷气孔。
较佳地，所述喷气孔旁还设置有导流板。
本发明中，上述优选条件在符合本领域常识的基础上可任意组合，即得本发明各较佳实施例。
本发明的积极进步效果在于:本气体通道模块及应用其的气体分配装置操作方便，气体分配效果好，有效避免了不同井位之中的气体分布不均匀问题。
图1为本发明的一个实施例中气体通道模块的主视图。
图2为图1所示气体通道模块的X部分放大图。
图3为图1所示气体通道模块的A-A视图。
图4为图1所示气体通道模块的B-B视图。
图5为图1所示气体通道模块的C-C视图。
图6为图1所示气体通道模块的D-D视图。
图7为图1所示气体通道模块的E-E视图。
图8为图1所示的气体通道模块的俯视图。
图9为图8所示气体通道模块的Y部分放大图。
图10为图1所示的气体通道模块的后视图。
图11为图10所示气体通道模块的Z部分放大图。
图12为图11所示气体通道模块的H-H视图。
图13为本发明的一个实施例中气体分配装置的组装示意图。
图14为图13所示气体通道模块的P部分放大图。
具体实施方式
本发明的实施例将参照附图进行说明。在说明书附图中，具有类似结构或功能的元件或装置将用相同的元件符号表示。附图只是为了便于说明本发明的各个实施例，并不是要对本发明进行穷尽性的说明，也不是对本发明的范围进行限制。
图1至图12示出了本发明中一个较佳实施例的气体通道模块的结构示意图。在该实施例中，气体通道模块100总体近似一个狭长的长方体阀岛，该长方体阀岛顶面设置有6个进气孔，包括I个主进气孔18和5个辅进气孔12。主进气孔18位置偏向阀岛后端面，相对而言，辅进气孔12位置设置偏向阀岛前端面。
阀岛后端面设置有主进气长槽28，该主进气长槽28的长度略小于通道模块总长度。在一个实施例中，主进气长槽28在靠近阀岛端部处自然终止；在另一个实施例中，主进气长槽28贯穿整个阀岛，此时阀岛两端用端盖和密封层将长槽封住，以保证主进气长槽28能够得到密封。
主进气孔18通过主内部通道230向阀岛内部延伸，与主进气长槽28相通，阀岛底面对应主进气长槽28设置有多个主出气孔32，主进气长槽28通过主出气孔32与底面相通。这样，主进气孔18与主出气孔32形成通道，该通道在主进气长槽28以外处是密闭的。
阀岛前端面设置有辅进气长槽22，在本实施例中，辅进气长槽22分为五段，阀岛底面对应辅进气长槽22设置有多个辅出气孔30，辅进气长槽22通过辅出气孔30与底面相通。
由于注气接头的尺寸限制，多个辅进气孔12之间的距离较短，辅进气长槽22长度基本占据着通道模块总长度，故辅进气孔12与辅进气长槽22之间的相同方式有三种:
正常情况下，辅进气孔12通过第一辅内部通道228与辅进气长槽22相通(如图3所示)。
对于稍远一些的辅进气长槽22，辅进气孔12通过设置在阀岛顶面的顶部气槽14向阀岛端部方向延伸，达到对应的辅进气长槽22上方后，通过第二辅内部通道226与辅进气长槽22相通(如图2和图7所示)。
对于最远的辅进气长槽22，在该辅进气长槽22的上方设置辅助气槽24，该辅助气槽24长度从对应辅进气长槽22延伸 至对应辅进气孔12的下方，辅助气槽24与辅进气孔12通过辅助通道224相通，辅助气槽24与辅进气长槽22通过连接气槽222连接。考虑到流体阻力的特性，连接气槽222与辅助气槽24之间，连接气槽222与辅进气长槽22之间的交接处应尽可能制作成弧面，以避免较大的流体压力损失。
这样，辅进气孔12通过三种方式与所有辅进气长槽22得到相通，辅进气孔12从而与辅出气孔30形成通道，该通道在辅助气槽24、辅助通道224和辅进气长槽22以外处是密闭的。
图13和图14示出本发明的一个实施例中气体分配装置的组装示意图。将气体通道模块100放置在顶板200下方，顶板200设置有多个注气接头(图未示出)。这些注气接头与主进气孔18和辅进气孔12相接，顶板200同时借助密封材料将气体通道模块100的顶面密封，保证溅射气体无泄露地进入气体通道模块。在一个优选实施例中，主进气孔18和辅进气孔12设置“ο”型密封圈，以保证密封效果。
用前侧板42将气体通道模块100的前端面密封,使辅助气槽24、辅助通道224和辅进气长槽22与外界隔绝，用后侧板43将气体通道模块100的后端面密封，使主进气长槽28与外界隔绝。在一个优选实施例中，侧板与端面之间的密封材料422采用青稞纸。
U型盖板44用来封闭气体通道模块100的底面。如图14所示，U型盖板44与气体通道模块100的底面形成混气腔442，这样，从气体通道模块100的主出气孔32和辅出气孔30出来的气体汇聚在混气腔442中，通过U型盖板44的喷气孔46进入玻璃镀膜井位。
在一个优选实施例中，喷气孔46的出口旁设置有导流板45,导流板45可以借助螺钉452固定在U型盖板44上，也可以采用粘接或焊接等其他固定方式。在另一个优选实施例中，混气腔442内部设置有小封板(图未示出)，小封板可以将混气腔分割为独立的几段。
在使用时，主进气孔始终保持进气，而辅进气孔则可以通过阀门控制其是否进气或进气量的大小。这样，就可以使混气腔的气体压力一致，从而保证整个气体分配装置在整个长度范围内喷射的气体是均匀的。
虽然以上描述了本发明的具体实施方式
，但是本领域的技术人员应当理解，这些仅是举例说明，本发明的保护范围是由所附权利要求书限定的。本领域的技术人员在不背离本发明的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改，但这些变更和修改均落入本发明的保 护范围。
权利要求
1.一种气体通道模块，其特征在于，所述气体通道模块总体为一个长方体，其中， 所述长方体水平方向上具有第一端面和第二端面，第一端面设置有第一长槽，第二端面设置有第二长槽； 所述长方体顶面设置有一主进气孔和多个辅进气孔，长方体主体对应主进气孔和辅进气孔设有第一内部通道和第二内部通道，所述长方体底面设置有多个主出气孔和多个辅出气孔； 所述主进气孔通过第一内部通道与第一长槽相通，所述辅进气孔通过第二内部通道与第二长槽相通。
2.如权利要求1所述的气体通道模块，其特征在于，所述第一长槽与气体通道模块底部通过主出气孔相通，所述第二长槽被隔离成多个独立的辅气长槽，所述多个辅气长槽依次排列，每个辅气长槽与气体通道模块底部通过辅出气孔相通。
3.如权利要求2所述的气体通道模块，其特征在于，所述气体通道模块的第二端面上还设置第三长槽，所述第三长槽通过一第三内部通道与部分辅进气孔相通，所述第三长槽通过一辅助槽与第二长槽中的部分辅气长槽相通。
4.如权利要求1、2或3所述的气体通道模块，其特征在于，所述长方体顶部设置有顶部气槽，部分辅进气孔与顶部气槽连接。
5.一种气体分配装置，其特征在于，所述装置包括一气体通道模块、顶板、第一侧板、第二侧板、U型盖板，所述的气体通道模块采用如权利要求3或4所述的气体通道模块，其中， 所述顶板密封气体通道模块顶面，所述第一侧板密封第一长槽，所述第二侧板密封第二长槽和/或第三长槽。
6.如权利要求5所述的气体分配装置，其特征在于，所述顶板包括注气接头，所述注气接头与所述主进气孔和辅进气孔对应设置。
7.如权利要求5所述的气体分配装置，其特征在于，所述U型盖板安装在气体通道模块的底部，与气体通道模块底部形成混气腔。
8.如权利要求6所述的气体分配装置，其特征在于，所述混气腔内部设置有封板，将混气腔分割为独立的几段。
9.如权利要求6、7或8所述的气体分配装置，其特征在于，所述U型盖板上设置有喷气孔。
10.如权利要求9所述的气体分配装置，其特征在于，所述喷气孔旁还设置有导流板。
全文摘要
本发明公开了一种气体通道模块，所述气体通道模块总体为一个长方体，其中，所述长方体水平方向上具有第一端面和第二端面，第一端面设置有第一长槽，第二端面设置有第二长槽；所述长方体顶面设置有一主进气孔和多个辅进气孔，长方体主体对应主进气孔和辅进气孔设有第一内部通道和第二内部通道，所述长方体底面设置有多个主出气孔和多个辅出气孔；所述主进气孔通过第一内部通道与第一长槽相通，所述辅进气孔通过第二内部通道与第二长槽相通。本发明的气体通道模块及应用其的气体分配装置操作方便，气体分配效果好，有效避免了不同井位之中的气体分布不均匀问题。
文档编号C23C14/34GK103205719SQ20121001323
公开日2013年7月17日 申请日期2012年1月17日 优先权日2012年1月17日
发明者施玉安, 戴陆节 申请人:上海北玻镀膜技术工业有限公司, 上海北玻玻璃技术工业有限公司, 洛阳北方玻璃技术股份有限公司