专利名称：一种特气管道的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及太阳能电池生产领域，尤其是一种等离子体增强化学气相沉积用的特气管道。
背景技术：
目前，太阳能电池是人类利用太阳能的有效方法之一。制备晶体硅太阳能电池的一般流程为表面清洗及织构化、扩散、等离子体去边、清洗去磷硅玻璃、镀膜、丝网印刷、烧结形成欧姆接触、测试。其中镀膜一般都用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法沉积氮化硅膜作为减反射层。这层减反射层不仅可以减少硅片表面光的反射，即增加电池片的光吸收，而且可以很好的起到表面体钝化的作用。因此，其镀膜工艺和膜层质量越来越受到人们关注。 在PECVD设备镀膜过程中，气体会通过一定数量的孔均匀的分散，使得镀膜均匀性非常好，没有色差。因此，这些孔的质量对镀膜工艺非常关键，如德国Roth&Rau公司PECVD设备上的特气管道，多个特气孔的大小一致性将直接影响镀膜工艺。目前，最常用特气管道如图I。该特气管道包括主枝10，该主枝10为近似方形的空心管道，有四个面，在其一个面上设有多个特气孔11，如图2。分枝管道12的两端直接焊接在方形的主枝10上，并与其相通。分枝管道13的一端焊接在分枝管道12上，在其另一端有一个螺母14，该螺母14是与腔体里管道口相连的，是链接外界特气的。这种特气管道安装在腔体里，需要经常通特气孔11，保证特气孔11畅通并且大小一致，这样镀膜质量才能保证。但实际中，这种特气管道上的特气孔11非常难通，因为会沉积大量的氮化硅，而氮化硅非常硬，较难除去，因此每次清理都会花费很长的时间，直接影响到生产的产能，同时平时维护时有些孔堵塞严重后不及时更换特气管道，镀膜均匀性非常差，造成电池片色差和电性能下降。因此，有必要提出一种新的特气管道，以解决上述问题。
实用新型内容有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种新的PECVD设备上用的特气管道，该特气管道无需定期拆卸清洗，就可以保证每个特气孔保持通畅，大大提高了 PECVD镀膜设备的工作效率，同时减少了因特气孔被堵塞或者不均带来的镀膜品质问题。根据本实用新型的目的提出的一种特气管道，包括主枝，该主枝为中空的管道；多个大小一致的螺母口，以同一朝向均匀的分布于所述主枝上；对应所述多个螺母口的多个带孔螺母，该带孔螺母的内部中空，其顶部设有特气孔，底部设有与所述螺母口相配合的螺纹，该多个带孔螺母通过该多个螺母口固定于所述主枝上并与主枝保持气流畅通；第一分枝，该第一分枝为中空管道，其两端连接在主枝上并与主枝保持气流畅通；第二分枝，该第二分枝为中空管道，其一端连接在第一分枝上并与第一分枝保持气流畅通，另一端连接一外部供气装置上。优选的，所述主枝为多边形、圆形或椭圆形管道。优选的，所述第一分枝为多边形、圆形或椭圆形管道，该第一分枝小于所述主枝。优选的，所述第二分枝为多边形、圆形或椭圆形管道。优选的，所述螺母口内嵌于所述主枝上，所述带孔螺母的螺纹设于该带孔螺母的外侧。优选的，所述螺母口外突于所述主枝上，所述带孔螺母的螺纹设于该带孔螺母的 内侧。优选的,所述带孔螺母的特气孔的内径为O. 5mm-2mm。本实用新型提出的特气管道，将特气孔外设于一带孔螺母上，该带孔螺母通过螺纹旋固与主枝管道上，可方便的进行拆卸。如此一来，当特气管道使用一段时间后，需要清理沉积在特气孔周围的氮化硅时，只需要将带孔螺母旋转取下，对该带孔螺母进行清洗，必要时直接更换新的带孔螺母，而不必像现有技术中，需要将整条特气管道进行拆卸和清洗，大大节省了 PECVD设备的保养时间，提高了整个工序的效率，并且由于带孔螺母易于清洗，可以保证其上的特气孔保持通畅，使得PECVD的镀膜品质也得到了提高。
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的有关本实用新型的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图I是一种现有的特气管道的结构示意图；图2是图I中特气管道上的特气孔结构示意图；图3是本发明的特气管道的结构示意图；图4是图3中带孔螺母的第一实施方式的结构示意图；图5是图3中带孔螺母的第二实施方式的结构示意图。
具体实施方式
正如背景技术中所述，在等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺中，对导出沉积气体的特气孔需要有严格的一致性要求，这样才能保证镀膜的均匀性。现有的特气孔一体成型于特气管道上，当特气管道使用一段时间后，会在这些特气孔上积累下一些较难处理的杂质，严重时会堵塞特气孔，对镀膜的均匀性带来不良影响，因此需要定期对特气管道上的特气孔做清理工作。然而现有的这个特气管道结构决定了每次清理必须将整条特气管道从PECVD设备上拆卸下来进行清洗，花费大量的时间，影响生产的产能和镀膜的品质。因此，在本实用新型中，设计了一种可以将特气孔和特气管道进行分离的结构，这样就避免了清理特气孔时，需要将整条特气管道都拆卸下来。从而大大节省了 PECVD设备的保养时间，提闻了整个工序的效率。[0028]按照该创造构思所提出的一种特气管道中在特气管道的主枝上开设多个均匀分布的螺母口，这些螺母口应当大小一致，且都往同一朝向设置。同时对应这些螺母口设置一些带孔螺母，这些带孔螺母的顶部设置成特气孔，底部设有螺纹，这些带孔螺母通过这些螺纹与特气管道进行固定。这样一来，当需要清洁特气孔时，只要将这些带孔螺母旋转取下进行清洗或者以新的带孔螺母进行替换即可。省去了原先需要将整条特气管道进行拆卸的步骤，大大提高了工作效率。下面将通过具体实施方式
对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。实施例一请参见图3和图4，图3和图4是本发明的第一实施方式下，特气管道和特气孔的结构示意图。如图所示，本发明的特气管道包括 主枝20，该主枝20为一中空的管道结构，在图示的实施方式下，该主枝20为正方形的管道结构。但是应当理解的是，对于主枝20，也可以呈其它不同形状的管道结构，比如三角形、五边形、菱形、蜂窝形等其他多边形结构，也可以是圆形或椭圆形等非多边结构的管道，只要内部留有中空的输送空间即可。多个大小一致的螺母口 21，以同一朝向均匀的分布于所述主枝20上。对于螺母口的尺寸规格，视特气管道的表面尺寸而定，要求所有螺母口的大小应一致。这样一来，可以以一定的规格对螺母口和带孔螺母进行制作，方便调节安装。此处所述的均匀是指，各个螺母口之间的间距一致，且各个螺母口之间的间距应当以能够将沉积气体均匀的覆盖至待沉积物表面为准。在一标准特气管道中，分布有22个螺母口，在其它一些应用中，也可以设置任意数量的螺母口。此处需要指出的是，对于多边形结构的主枝20来说，这些螺母口 21较佳地设置于同一面上，且彼此应当处于同一直线上。对于非多边形结构的主枝20，比如圆形管道结构时，这些螺母口 21应当线性地设置于主枝的表面，使得螺母口 21能够满足朝向一致。当然，在一些特殊的设计中，可能涉及的螺母口分布呈非线性，这也不影响本实用新型的创作宗旨。对应所述多个螺母口 21的多个带孔螺母22，该带孔螺母22的内部中空，其顶部设有特气孔23，该带孔螺母的底部设有与所述螺母口相配合的螺纹。该多个带孔螺母通过该多个螺母口固定于所述主枝上并与主枝保持气流畅通。在本实施例中，上述的螺母口 21是内设于主枝20上，因此带孔螺母22的底部螺纹外设于该带孔螺母22上。如此一来，通过螺纹与螺母口的扭结，可以将每个带孔螺母22旋转固定于主枝20上，也可以通过旋转方便的将带孔螺母22进行拆卸。这些带孔螺母22内部中空，可以让主枝中的气体通过这些带孔螺母22从特气孔23中导出。在一标准带孔螺母中，该特气孔23的内径为1mm，当然也可以视气体流量和沉积速率设定该特气孔的尺寸，作为可选的方案，该特气孔23的内径可以为O. 5mm-2mm。需要注意的是，在本实施例的图示中，尽管将该带孔螺母的顶部设定成圆锥形，但是在符合上述功效的情况下，该带孔螺母还可以是方锥、三角锥，或非椎体结构，比如柱形、球形等等，只要满足中空的导气结构即可。其次，该带孔螺母的顶部的孔可以是一个孔，也可以是多个孔。[0035]第一分枝24，该第一分枝24为中空管道，其两端连接在主枝20上并与主枝保持气流畅通。与主枝20 —样，该第一分枝24也可以具有多种形状的管道结构，比如多边形、圆形或椭圆形管道。在一种应用中，将该第一分枝24焊接在主枝20上，此时该第一分枝应当小于所述主枝。在其它一些应用中，该第一分枝24也可以通过其它方式进行固定，比如螺纹进行旋固，只要保证第一分枝24与主枝20的连接处保持气密性即可。需要指出的是，在主枝20为多边形管道结构时，该第一分枝24与所述的多个螺母口 21可以设置在不同的侧面上，也可以设置在同一侧面上。第二分枝25，该第二分枝25同样为中空管道，其一端连接在第一分枝24上并与第一分枝24保持气流畅通，另一端连接一外部供气装置上。与主枝20 —样，该第二分枝25也可以具有多种形状的管道结构，比如多边形、圆形或椭圆形管道。在一种应用中，将第二分枝25焊接在第一分枝24上，在其他一下应用中该第二分枝25也可以通过其它方式进行固定，比如螺纹进行旋固，只要保证第二分枝25与第一分枝24的连接处保持气密性即可。同时，该第二分枝25的另一端上可以通过设置螺母或者塞头等结构，连接到一外部供气装置上。如此一来，当外部供气装置为本实用新型的特气管道提供沉积气体时，该沉积气·体可以通过第二分枝25到第一分枝24，再到主枝20，最后通过带孔螺母22上的特气孔23导出。实施例二请结合图3参见图5，图5是本发明的第二实施方式的带孔螺母结构示意图。如图所示，在该实施方式中，由于主枝20上的螺母口 21’外突于主枝20上，此时带孔螺母22’的螺纹设于该带孔螺母的内侧(图中未示出)，并以此方式通过螺纹和螺母口的配合将带孔螺母22’固定于主枝20上。其他与实施例一中的结构相同，在此不做赘述。综上所述，本实用新型提出了一种PECVD设备上用的特气管道，该特气管道将特气孔外设于一带孔螺母上，该带孔螺母通过螺纹旋固与主枝管道上，可方便的进行拆卸。与现有技术相比，本实用新型提出的特气管道，可以将特气孔拆卸下来进行清洗，甚至直接更换新的带孔螺母，从而避免了将整条特气管道进行拆卸和清洗，大大节省了 PECVD设备的保养时间，提高了整个工序的效率，并且由于带孔螺母易于清洗，可以保证其上的特气孔保持通畅，使得PECVD的镀膜品质也得到了提高。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
权利要求1.一种特气管道，其特征在于，包括 主枝，该主枝为中空的管道； 多个大小一致的螺母口，以同一朝向均勻的分布于所述主枝上； 对应所述多个螺母口的多个带孔螺母，该带孔螺母的内部中空，其顶部设有特气孔，底部设有与所述螺母口相配合的螺纹，该多个带孔螺母通过该多个螺母口固定于所述主枝上并与主枝保持气流畅通； 第一分枝，该第一分枝为中空管道，其两端焊接在主枝上并与主枝保持气流畅通； 第二分枝，该第二分枝为中空管道，其一端焊接在第一分枝上并与第一分枝保持气流畅通，另一端连接一外部供气装置上。
2.如权利要求I所述的特气管道，其特征在于所述主枝为多边形、圆形或椭圆形管道。
3.如权利要求I所述的特气管道，其特征在于所述第一分枝为多边形、圆形或椭圆形管道，该第一分枝小于所述主枝。
4.如权利要求I所述的特气管道，其特征在于所述第二分枝为多边形、圆形或椭圆形管道。
5.如权利要求I所述的特气管道，其特征在于所述螺母口内嵌于所述主枝上，所述带孔螺母的螺纹设于该带孔螺母的外侧。
6.如权利要求I所述的特气管道，其特征在于所述螺母口外突于所述主枝上，所述带孔螺母的螺纹设于该带孔螺母的内侧。
7.如权利要求I所述的特气管道，其特征在于所述带孔螺母的特气孔的内径为.0. 5mm-2mm0
专利摘要一种特气管道，应用于等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备中。该特气管道将特气孔外设于一带孔螺母上，该带孔螺母通过螺纹旋固与主枝管道上，可方便进行拆卸。与现有技术相比，本实用新型提出的特气管道，可以将特气孔拆卸下来进行清洗，甚至直接更换新的带孔螺母，从而避免了将整条特气管道进行拆卸和清洗，大大节省了PECVD设备的保养时间，提高了整个工序的效率，并且由于带孔螺母易于清洗，可以保证其上的特气孔保持通畅，使得PECVD的镀膜品质也得到了明显提高。
文档编号C23C16/455GK202576561SQ201220226849
公开日2012年12月5日 申请日期2012年5月21日 优先权日2012年5月21日
发明者张春华, 周剑, 向宏伟, 李栋, 高文丽, 孟祥熙, 辛国军, 章灵军 申请人:苏州阿特斯阳光电力科技有限公司, 阿特斯(中国)投资有限公司