专利名称：一种哑铃式柔性材料磁控溅射镀膜设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种磁控溅射镀膜设备，特别涉及一种哑铃式柔性材料磁控溅射镀膜设备。
背景技术：
高分子薄膜材料、柔性泡沫材料和柔性金属薄膜材料是真空镀膜常见的柔性基材，大量用在泡沫电极、柔性显示、柔性触摸屏、柔性线路板、装饰、电磁屏蔽和防静电等领域。这些柔性材料的镀膜种类繁多，例如在有机泡沫上沉积金属Ni导电膜，使得沉积层形成多空泡沫Ni金属；再有在纺织品、无纺布材料上沉积金属膜形成金属柔性卷材用做电磁屏蔽和防静电材料；还有在透明柔性的聚酯(PET)镀ITO透明导电膜、柔性聚丙烯(B0PP)、柔性聚酯(PET)膜上沉积金属导电膜和聚酰亚胺膜上沉积金属导电膜等柔性基材镀膜。近年来，由于镀膜技术的快速发展，在柔性镀膜领域也出现了多种镀膜设备。申请号为200810045199.4的实用新型专利提供了一种卷绕镀膜机，包括至少一个真空镀膜室，置于镀膜真空室外的卷材机构和收卷机构，其特征是在镀膜真空室与卷材放卷机构和收卷机构之间至少一个带材进出通道的真空通道，真空通道由窄缝阻尼通道和真空抽气室组成的真空锁构成。但是这种结构的方式存在卧式镀膜的通病，没有办法解决阴极灰尘掉落的问题，产品质量无法达到最好。专利申请号为03273145.0的实用新型专利提供了一种柔性材料正方两面连续进行喷镀的多功能卷绕镀膜机，它是一种呈“拱形门”结构的真空腔体，在箱体的下部设有收卷室和放卷室，拱形箱体内部分为三个相互独立的真空镀膜室并于收放卷室贯通。此真空设计方案虽然解决了多阴极溅射的方式沉积多种材料的问题和双面镀膜的问题，但是还是没有解决阴极灰尘掉落问题，依然不是最好的柔性镀膜方式。申请号为200610022288.8的实用新型专利提出了一种磁控溅射卷绕镀膜机，其特征是至少一个镀膜真空室中有真空镀膜腔体，位于真空镀膜腔体内的冷却辊，以冷却辊为中心周围布置有至少3组阴极和高低真压真空泵以及管道组成的真空抽气系统。此实用新型的真空系统设计解决了多种不同气氛膜层的镀膜问题，然而，无论如何还是卧式镀膜的设计，仍然没有解决阴极灰尘掉落的问题。
实用新型内容为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种哑铃式柔性材料磁控溅射镀膜设备，实现了柔性镀膜的在竖直方向上横向布置阴极，可以对工件进行双面镀膜和多阴极镀膜，并解决了卧式镀膜方式存在的阴极灰尘掉落的问题。本实用新型采用的技术方案是:包括由收卷真空腔体、放卷真空腔体和镀膜真空隧道；所述的镀膜真空隧道竖直设置，镀膜真空隧道的上端与收卷真空腔体连通，镀膜真空隧道的下端与放卷真空腔体连通；所述的镀膜真空隧道，至少一侧面上设有横向阴极布置区。上述的哑铃式柔性材料磁控溅射镀膜设备中，所述的收卷真空腔体包括圆桶式真空腔体和腔门；真空腔体通过大阀与高真空抽气泵组在法兰口处连接。上述的哑铃式柔性材料磁控溅射镀膜设备中，所述的放卷真空腔体包括第二圆桶式真空腔体、第二腔门和腔门滚轮，腔门滚轮设在第二腔门的下部。上述的哑铃式柔性材料磁控溅射镀膜设备中，所述的收卷真空腔体和放卷真空腔体之间设有与之相连通的旁通管。上述的哑铃式柔性材料磁控溅射镀膜设备中，所述的镀膜真空隧道两侧面上均设有横向阴极布置区。上述的哑铃式柔性材料磁控溅射镀膜设备中，高真空抽气泵组是带前级抽气系统的分子泵抽气系统或扩散泵抽气系统。本实用新型的有益效果在于:本实用新型采用了竖直方向设置的镀膜真空隧道，在镀膜真空隧道的侧面上横向布置阴极，可以对工件进行双面镀膜和多阴极镀膜，且解决了卧式镀膜方式存在的阴极灰尘掉落的问题。
图1是本实用新型的主视图。图2是本实用新型的左视图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步的说明。如图1、2所示，本实用新型包括由收卷真空腔体1、放卷真空腔体7和镀膜真空隧道4组成的哑铃式的真空系统；所述的镀膜真空隧道4为竖直设置，镀膜真空隧道4的上端与收卷真空腔体I连通，镀膜真空隧道4的下端与放卷真空腔体7连通；所述的镀膜真空隧道4的两侧面上分别设有横向阴极布置区5和第二横向阴极布置区6。所述的收卷真空腔体1，由圆桶式真空腔体1、腔门3和观察窗2组成；收卷真空腔体I通过大阀11与高真空抽气泵组13在法兰口 14处连接。所述的收卷真空腔体I内设置有收卷装置；所述的高真空抽气泵组13是带前级抽气系统的分子泵抽气系统或扩散泵抽气系统。所述的放卷真空腔体7，由第二圆桶式真空腔体7、第二腔门9、第二观察窗8和腔门滚轮10组成；腔门滚轮10安装在第二腔门9的下部。所述的放卷真空腔体7内设置有放卷装置。所述的收卷真空腔体I和放卷真空腔体7之间还设有与之连通的旁通管12。使用时，所述的镀膜真空隧道4两侧的横向阴极布置区5和第二横向阴极布置区6中的一处有阴极布置时，可以对工件进行单面镀膜；所述的镀膜真空隧道4两侧的横向阴极布置区5和第二横向阴极布置区6均有阴极布置时，可以对工件进行双面镀膜。
权利要求1.一种哑铃式柔性材料磁控溅射镀膜设备，其特征是:包括由收卷真空腔体、放卷真空腔体和镀膜真空隧道；所述的镀膜真空隧道竖直设置，镀膜真空隧道的上端与收卷真空腔体连通，镀膜真空隧道的下端与放卷真空腔体连通；所述的镀膜真空隧道，至少一侧面上设有横向阴极布置区。
2.如权利要求1所述的哑铃式柔性材料磁控溅射镀膜设备，其特征是:所述的收卷真空腔体包括圆桶式真空腔体和腔门；真空腔体通过大阀与高真空抽气泵组在法兰口处连接。
3.如权利要求1所述的哑铃式柔性材料磁控溅射镀膜设备，其特征是:所述的放卷真空腔体包括第二圆桶式真空腔体、第二腔门和腔门滚轮组成，腔门滚轮安装在第二腔门的下部。
4.如权利要求1所述的哑铃式柔性材料磁控溅射镀膜设备，其特征是:所述的收卷真空腔体和放卷真空腔体之间设有与之相连通的旁通管。
5.如权利要求1所述的哑铃式柔性材料磁控溅射镀膜设备，其特征是:所述的镀膜真空隧道两侧面上均设有横向阴极布置区。
6.如权利要求2所述的哑铃式柔性材料磁控溅射镀膜设备，其特征是:高真空抽气泵组是带前级抽气系统的分子泵抽气系统或扩散泵抽气系统。
7.如权利要求2所述的哑铃式柔性材料磁控溅射镀膜设备，其特征是:所述的收卷真空腔体上还设有观察窗。
8.如权利要求3所述的哑铃式柔性材料磁控溅射镀膜设备，其特征是:所述的放卷真空腔体上还设有第二观察窗。
专利摘要本实用新型公开了一种哑铃式柔性材料磁控溅射镀膜设备，其包括由收卷真空腔体、放卷真空腔体和镀膜真空隧道；所述的镀膜真空隧道竖直设置，镀膜真空隧道的上端与收卷真空腔体连通，镀膜真空隧道的下端与放卷真空腔体连通；所述的镀膜真空隧道，至少一侧面上设有横向阴极布置区。本实用新型采用了竖直方向设置的镀膜真空隧道，在镀膜真空隧道的侧面上横向布置阴极，可以对工件进行双面镀膜和多阴极镀膜，且解决了卧式镀膜方式存在的阴极灰尘掉落的问题。
文档编号C23C14/35GK203021646SQ20132004155
公开日2013年6月26日 申请日期2013年1月25日 优先权日2013年1月25日
发明者郭爱云, 黄国兴, 孙桂红, 祝海生, 梁红, 黄乐 申请人:湘潭宏大真空技术股份有限公司