技术总结
本发明公开一种沉积用掩模制造装置及利用该装置的沉积用掩模制造方法。本发明的一实施例的沉积用掩模制造装置，利用激光在配置于载物台的掩模母材上加工图案孔，并且包括：激光振荡部，振荡出激光；分光部，使从激光振荡出的激光分为多个激光束；扫描器，调节经过分光部的多个激光束的照射方向；以及光学镜，配置于扫描器与掩模母材之间，以使经过扫描器的多个激光束中的至少一部分透射。
技术研发人员：任星淳;黄圭焕;金在植;姜泰旭
受保护的技术使用者：三星显示有限公司
文档号码：201510172362
技术研发日：2015.04.13
技术公布日：2016.11.23