一种固定与抽气相互独立的管道结构的制作方法

本发明涉及一种固定与抽气相互独立的管道结构，通过固定件与抽气管道相互独立的结构方式，达到内部组件拆卸安装与抽气管道的拆卸安装互不干扰的目的，属于半导体薄膜沉积应用及制造技术领域。

背景技术：

半导体镀膜设备在进行沉积反应时，腔室内需要不断的抽真空、通入工艺气体、再抽真空，保证气体同心环扩散对成膜均匀性有很大影响，因此抽气管道需要在腔体中心，在中心抽气能尽量保证薄膜成同心圆分布。抽气时，工艺残余气体会进入抽气管道，在抽气管道中反应生成固体粉末，因此抽气管道需要容易拆卸，便于清理管道内部的固体粉末。进行薄膜沉积工艺时，根据工艺的不同，腔室内需要加热至相应的温度以保证薄膜沉积工艺顺利进行。加热器件也需要安装在腔体中心，并有长柄伸出腔体外，需在腔体外固定。

技术实现要素：

本发明所要解决的技术问题在于提供一种固定与抽气相互独立的管道结构,为了解决加热器固定件和抽气管路都需要占据腔体外壁中心部分，且安装拆卸不方便的问题。

本发明是这样实现的，一种固定与抽气相互独立的管道结构，安装在设备的反应腔体上，设置一固定件，采用螺丝固定在腔体下表面，抽气管道加工成环形结构，安装在固定件的外圈，所述固定件为筒状结构，内置加热器。

本发明进一步地，固定件底面设置定位孔，加热器安装在固定件内部后，由底面和与固定件底面的定位孔定位。

本发明进一步地，固定件和抽气管道通过法兰连接在腔体底面。

本发明与现有技术相比，有益效果在于：本发明采用固定件中心安装，套式结构，用螺丝固定在腔体下表面，加热器落在固定件内部。抽气管道加工成环形结构，安装在加热器固定件外圈，在腔体底面上抽气管道环形结构对应位置均匀的打一圈抽气孔，即可实现将腔室抽真空的目的，可拆卸，安装方便。

由于加热器伸出腔体外的部分很长，固定件和抽气管道可以通过机械加工后焊接，或铸造等方式实现。除了传统的车、铣、钻等机械加工手段，因选择的材质不同还需要采用真空钎焊、氩弧焊、摩擦焊等不同的焊接手段，或是几种焊接手段配合使用。

附图说明

图1是本发明机械加工结构示意图；

图2是本发明焊接加工实施例的结构示意图；

图3是本发明焊接加工实施例的剖视图；

图4是本发明焊接加工实施例的等轴测结构示意图；

其中标号分别代表:

1、固定件 2、抽气管道 3、气体环道 4、抽气管道底面 5、固定件底面

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

实施例1

参见图1，一种固定与抽气相互独立的管道结构，安装在设备的反应腔体上，设置一固定件1，采用螺丝固定在腔体下表面，抽气管道2加工成环形结构，形成气体环道3，安装在固定件1的外圈，固定件1为筒状结构，内置加热器。

固定件底面设置定位孔，加热器安装在固定件内部后，由底面和与固定件底面的定位孔定位。

固定件1和抽气管道2通过法兰连接在腔体底面。

本实施例中采用固定件中心安装，套式结构，用螺丝固定在腔体下表面，加热器落在固定件内部。抽气管道加工成环形结构，安装在加热器固定件外圈，在腔体底面上抽气管道环形结构对应位置均匀的打一圈抽气孔，即可实现将腔室抽真空的目的。

实施例2

参见图2结合图3和图4，与实施例1的不同之处在于，固定件底面5与固定件之间分体结构，通过焊接的方式焊接在固定件1上，抽气管道2也设置分离的抽气管道底面4。

理由在于，当加热器柄很长，抽气管道2较深时，机械加工难以保证固定件1和抽气管道底面4的加工精度，因此可采用焊接加工方式，如图2、3、4所示。分别加工抽气管道底面4、固定件底面5和主体部分，加工完成后将抽气管道底面4与主体焊接起来，固定件底面5与主体部分用法兰连接。固定件1和抽气管道2的法兰加工成图2所示形状，可以节省安装空间，抽气位置可以更加接近腔体中心。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。