被覆滑动构件的制作方法

文档序号:11110054阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种被覆滑动构件,在与润滑油接触的环境下使用,

所述被覆滑动构件具有母材、和形成于所述母材的表面上的硬质碳覆膜,

所述硬质碳覆膜由第1硬质碳层和第2硬质碳层构成,

所述第1硬质碳层通过使用碳的真空电弧法形成于所述母材的表面,包含实质上不含氢而仅由碳构成的类金刚石碳,厚度为3μm以上,

所述第2硬质碳层通过使用碳的真空电弧法直接形成于所述第1硬质碳层的表面,包含实质上不含氢而仅由碳和氮构成的类金刚石碳,

所述第2硬质碳层的膜厚为所述第1硬质碳层的膜厚的3~35%。

2.根据权利要求1所述的被覆滑动构件,其中,所述第2硬质碳层的表面的按照JIS-B0601的算术平均粗糙度Ra为0.2μm以下。

3.根据权利要求1或2所述的被覆滑动构件,其中,所述第2硬质碳层的用原子%表示的、氮相对于碳和氮的总含量的比例为3~15%。

4.根据权利要求1~3中的任一项所述的被覆滑动构件,其中,在所述第1硬质碳层的表面的拉曼分光分析中,当在波数900~1900cm-1的区域具有波峰、且将该波峰峰波形分离为在波数1200cm-1以上1400cm-1以下的范围具有最大值的第1高斯函数Id、和在波数1450cm-1以上1650cm-1以下的范围具有最大值的第2高斯函数Ig时,

所述第1高斯函数Id的最大值Icd和所述第2高斯函数Ig的最大值Icg的比率Icd/Icg为0.8~1.8。

5.根据权利要求1~4中的任一项所述的被覆滑动构件,其中,在所述第1硬质碳层的表面的拉曼分光分析中,当在波数900~1900cm-1的区域具有波峰、且将该波峰峰波形分离为在波数1200cm-1以上1400cm-1以下的范围具有最大值的第1高斯函数Id、和在波数1450cm-1以上1650cm-1以下的范围具有最大值的第2高斯函数Ig时,

所述第1高斯函数Id的积分强度Ecd和所述第2高斯函数Ig的积分强度Ecg的比率Ecd/Ecg为1.7~3.8。

6.根据权利要求1~5中的任一项所述的被覆滑动构件,其中,在所述第2硬质碳层的表面的拉曼分光分析中,当在波数900~1900cm-1的区域具有波峰、且将该波峰峰波形分离为在波数1200cm-1以上1400cm-1以下的范围具有最大值的第1高斯函数Id、和在波数1450cm-1以上1650cm-1以下的范围具有最大值的第2高斯函数Ig时,

所述第1高斯函数Id的最大值Icd和所述第2高斯函数Ig的最大值Icg的比率Icd/Icg为1.5~2.5。

7.根据权利要求1~6中的任一项所述的被覆滑动构件,其中,在所述第2硬质碳层的表面的拉曼分光分析中,当在波数900~1900cm-1的区域具有波峰、且将该波峰峰波形分离为在波数1200cm-1以上1400cm-1以下的范围具有最大值的第1高斯函数Id、和在波数1450cm-1以上1650cm-1以下的范围具有最大值的第2高斯函数Ig时,

所述第1高斯函数Id的积分强度Ecd和所述第2高斯函数Ig的积分强度Ecg的比率Ecd/Ecg为4.0~6.0。

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