技术总结
本发明公开了一种基于离子束技术提高抛光光学玻璃的金刚石砂轮棒寿命方法，该方法是利用离子注入技术及磁过滤沉积技术在金刚砂表面沉积超厚超硬以及摩擦系数高以及韧性好的(AlTi)1‑xNx/AlTiCN/TiAl/(ZrAl)1‑xNx复合膜，其中，制备该(AlTi)1‑xNx/AlTiCN/TiAl/(ZrAl)1‑xNx复合膜方法包括：采用金属阴极真空磁过滤沉积系统(FCVA)，在砂轮棒表面利用高能大束流金属离子束对工件进行清洗；然后采用金属真空蒸汽离子源方法(MEVVA)，在工件表面注入一层能提高膜基结合力的金属″钉扎层″；在所述的金属″钉扎层″之上，采用磁过滤阴极真空弧沉积方法(FCVA)，在对气体进气量进行正弦或余弦调制沉积得到超硬韧性好的厚(AlTi)1‑xNx/AlTiCN/TiAl/(ZrAl)1‑xNx复合膜层；重复调制周期直至(AlTi)1‑xNx/AlTiCN/TiAl/(ZrAl)1‑xNx复合膜总厚度为10‑30微米。通过实施本发明，在工件沉积(AlTi)1‑xNx/AlTiCN/TiAl/(ZrAl)1‑xNx复合膜具有很好韧性以及很高的显微硬度，能提高砂轮棒寿命2‑5倍。
技术研发人员：廖斌;欧阳晓平;罗军;张旭;吴先映;王宇东
受保护的技术使用者：北京师范大学
技术研发日：2016.01.07
技术公布日：2019.03.29