一种基于经纬线的研磨加工轨迹均匀性检测方法与流程

技术特征：
1.一种基于经纬线的研磨加工轨迹均匀性检测方法，其特征在于：包括如下步骤：1)、首先在圆形基片上建立经纬线模型，其中包括经线(1、2、…、i、…、n)和纬线(1、2、…、j、…、m)；2)、依次计算研磨加工轨迹线通过经线1、经线2…、经线i、…、经线n的次数；3)、分别计算经线1上研磨加工轨迹通过纬线(j-1)和纬线j之间的次数、经线2上研磨加工轨迹通过纬线(j-1)和纬线j之间的次数、经线i上研磨加工轨迹通过纬线(j-1)和纬线j之间的次数(1≤j≤m)，以此类推，直至得到经线n上研磨加工轨迹通过纬线(j-1)和纬线j之间的次数；4)依次取j的不同值，得到不同经纬段上局部线段区间上的研磨加工轨迹的分布密度，根据上述分布密度得出研磨加工轨迹均匀性。2.根据权利要求1所述的一种基于经纬线的研磨加工轨迹均匀性检测方法，其特征在于：不同经线段上局部线段区间上的研磨加工轨迹线的密度分布逐一进行辨识。3.根据权利要求1所述的一种基于经纬线的研磨加工轨迹均匀性检测方法，其特征在于：研磨加工轨迹的均匀性通过分布密度标准差Cd表示，Cd为不同经纬段上局部线段区间上的研磨加工轨迹的分布密度与标准值之间的差值，Cd越小表示研磨加工轨迹越均匀。