技术总结
本发明公开了一种基于经纬线的研磨加工轨迹均匀性检测方法，首先在圆形基片上建立经纬线模型，其中包括经线(1、2、…、i、…、n)和纬线(1、2、…、j、…、m)；依次计算研磨加工轨迹线通过经线1、经线2…、经线i、…、经线n的次数；分别计算经线1上研磨加工轨迹通过纬线(j‑1)和纬线j之间的次数、经线2上研磨加工轨迹通过纬线(j‑1)和纬线j之间的次数、经线i上研磨加工轨迹通过纬线(j‑1)和纬线j之间的次数(1≤j≤m)，以此类推，直至得到经线n上经线i上研磨加工轨迹通过纬线(j‑1)和纬线j之间的次数。本发明只需合理设计一定数量的经线和纬线，便可逐一辨识出研磨加工轨迹线的密度分布。
技术研发人员：文东辉;陈珍珍;鲁聪达;蔡东海;王扬渝
受保护的技术使用者：浙江工业大学
文档号码：201610141859
技术研发日：2016.03.11
技术公布日：2017.11.07