沉铜组合液的制作方法与工艺

文档序号:11996088阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种沉铜组合液,其特征在于,由单独储存的化铜A液、化铜B液、化铜C液、化铜M液与去离子水按体积比为0.6-1.2:2.6:10:10:76.2-76.8的比例混合而成,其中:所述化铜A液包含以下浓度的各组分:510-540g/L无机盐、20-60g/L络合剂,所述浓度为各组分在该化铜A液中所占的浓度;所述化铜A液中无机盐为氯化铜;所述化铜B液包含占以下浓度的各组分:430-580g/L氢氧化钠、30-60ml/L工业酒精、20-60g/L络合剂、0.01-0.02g/L稳定剂,所述浓度为各组分在该化铜B液中所占的浓度;所述化铜C液包含在占以下浓度的各组分:200-400g/L还原剂,所述浓度为各组分在该化铜C液中所占的浓度;所述化铜M液包含占以下浓度的各组分:40-50ml/L工业酒精、2-6g/L加速剂、0.008-0.15g/L稳定剂、190-400g/L络合剂,所述浓度为各组分在该化铜M液中所占的浓度。2.如权利要求1所述的沉铜组合液,其特征在于,所述化铜A液中无机盐的浓度为530-535g/L。3.如权利要求1所述的沉铜组合液,其特征在于,所述化铜B液中氢氧化钠的浓度为440-455g/L。4.如权利要求1所述的沉铜组合液,其特征在于,所述化铜B液中的络合剂的浓度为35-45g/L。5.如权利要求1所述的沉铜组合液,其特征在于,所述化铜A液和化铜B液中的络合剂均选自于:酒石酸钾钠、EDTA-4Na、羟乙基乙二胺三乙酸、四羟乙基乙二胺乙酸、四羟丙基乙二胺、乙二胺四乙酸、乙二胺四丙酸、1,2-环己二胺四乙酸、二羟甲基乙二胺四乙酸中的至少一种。6.如权利要求1所述的沉铜组合液,其特征在于,所述化铜M液中的加速剂选自于:聚乙二醇、聚丙二醇、环氧乙烷类表面活性剂中的至少一种。7.如权利要求1所述的沉铜组合液,其特征在于,所述化铜B液和化铜M液中的稳定剂均选自于:2,2-联吡啶、1,1-菲咯林、亚铁氰化钾中的至少一种。8.如权利要求1所述的沉铜组合液,其特征在于,所述化铜C液中的还原剂选自于:甲醛、非甲醛还原剂中的至少一种。9.如权利要求8所述的沉铜组合液,其特征在于,所述非甲醛还原剂选自于:次磷酸钠、乙醛酸、二甲氨基硼烷中的至少一种。
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