一种在氧化铝晶体基底上制备高温超导薄膜过渡层的方法与流程

文档序号:12866849阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种在氧化铝晶体基底上制备高温超导薄膜过渡层的方法,属于超导材料的制备技术领域。本发明的技术方案要点为:一种在氧化铝晶体基底上制备高温超导薄膜过渡层的方法,该方法采用在高纯铝阳极氧化技术制备的氧化铝晶体基底上用有机盐沉积法和溶胶凝胶法外延生长YBCO超导层的过渡层薄膜。本发明所得过渡层薄膜厚度均一且光洁度高,解决了溅射镀膜法制备过渡层/Al2O3过渡层薄膜质量不高的问题;采用在高纯铝阳极氧化技术制备的氧化铝晶体基底上制备过渡层,解决了用大面积的蓝宝石作为衬底成本较高和薄膜尺寸受制备仪器空间限制的问题。

技术研发人员:郭志超;李平林;申建芳;程素君
受保护的技术使用者:新乡学院
文档号码:201610202241
技术研发日:2016.04.05
技术公布日:2017.11.07

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