技术特征:
技术总结
本发明公开了一种蒸镀装置,包括真空室、转盘架、加热电极、多个工件支架及驱动装置,真空室包括相对的顶壁和底壁,转盘架设置于真空室的底壁且收容于真空室,加热电极设置于转盘架的中央位置,工件支架安装于转盘架上,加热电极包括第一电极、第二电极和第三电极,第一电极和第二电极之间设置有多个第一承载架,第二电极和第三电极之间设置有多个第二承载架,当第一电极及所述第二电极工作时,第三电极不工作,且转盘架沿顺时针方向旋转,当第二电极及第三电极工作时,第一电极不工作,且转盘架沿逆时针方向旋转。所述蒸镀装置可避免工件的表面镀膜不均匀而出现阴阳色的问题。本发明还公开一种蒸镀方法。
技术研发人员:张文灿
受保护的技术使用者:东莞酷派软件技术有限公司
技术研发日:2016.03.31
技术公布日:2017.10.24