一种长效高渗透性水置换型缓蚀剂的简易制备方法与流程

文档序号:11147263阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种长效高渗透性水置换型缓蚀剂的简易制备方法,其特征在于:包括以下步骤:

步骤1:按照质量百分比,量取10wt%的植物油、50wt%的D60溶剂油、10wt%的硅油和30wt%的苯乙烯;

步骤2:将植物油和D60溶剂油加入反应釜中搅拌均匀;

步骤3:将硅油和5ppm的铂催化剂加入反应釜中,升温至80℃,反应1h;

步骤4:将反应釜升温至120℃,将苯乙烯滴加到反应釜中反应8h后降至室温并出料,制备缓蚀剂用高渗透性成膜树脂;

步骤5:将苯并咪唑硫醇、十二烷基硫酸钠与步骤4得到的树脂按质量比5:3:92混合搅拌均匀,过滤、出料后得到缓蚀剂。

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