技术总结
用于PERC电池的链式PECVD镀膜系统，包括真空传输装置、沿真空传输装置的传输方向依次布置的上料操作台、第一上料室、第一镀膜装置、第二上料室、第二镀膜装置、第三上料室、第三镀膜装置和下料室，下料室与上料操作台之间设有下料回框装置，第一上料室一侧与上料操作台之间设有隔离阀，另一侧与第一镀膜装置之间设有隔离阀，第二上料室一侧与第一镀膜装置之间设有隔离阀，另一侧与第二镀膜装置之间设有隔离阀，第三上料室一侧与第二镀膜装置之间设有隔离阀，另一侧与第三镀膜装置之间设有隔离阀，下料室一侧与第三镀膜装置之间设有隔离阀，另一侧与下料回框装置之间设有隔离阀。本发明具有模块化程度高、避免人工干扰和外部环境污染、产品质量好等优点。
技术研发人员：刘良玉;苏卫中;禹庆荣;谢利华;陈国钦;彭宜昌;唐电;舒庆予
受保护的技术使用者：中国电子科技集团公司第四十八研究所
文档号码：201611115720
技术研发日：2016.12.07
技术公布日：2017.05.10