蒸发源的制作方法

文档序号:11126678阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种蒸发源,其特征在于,包括:

腔室,其分为多个区域,每个区域中设有至少一个出气孔以及至少一个气压传感器;

多个与所述腔室相连的坩埚,每个所述坩埚用于向腔室的至少一个区域供应蒸气。

2.根据权利要求1所述的蒸发源,其特征在于,

所述腔室内部通过隔墙分割为多个互不连通的隔间,每个所述隔间为一个区域。

3.根据权利要求1所述的蒸发源,其特征在于,

每个所述坩埚用于为多个区域提供蒸气;

所述坩埚和与其对应的每个区域间通过一条输气管相连。

4.根据权利要求3所述的蒸发源,其特征在于,

与同一坩埚相连的多条输气管的结构相同。

5.根据权利要求3所述的蒸发源,其特征在于,

每个所述坩埚用于为2至3个区域提供蒸气。

6.根据权利要求3所述的蒸发源,其特征在于,还包括:

用于调节所述输气管中气体流量的调节机构。

7.根据权利要求6所述的蒸发源,其特征在于,所述调节机构为管状,连接在所述腔室与输气管之间,其包括:

第一固定端和第二固定端,二者中的一个与腔室相连,另一个与输气管相连;

旋转部,连接在第一固定端和第二固定端之间,并能相对第一固定端和第二固定端旋转;

第一挡片,设于第一固定端内侧与旋转部相连处,挡住第一固定端内通道的一部分;

第二挡片,设于旋转部内侧与第一固定端相连处,挡住旋转部内通道的一部分。

8.根据权利要求1所述的蒸发源,其特征在于,还包括:

控制单元,与各气压传感器和坩埚连接,用于根据各所述气压传感器的检测结果控制各坩埚的加热温度。

9.根据权利要求1所述的蒸发源,其特征在于,

所述蒸发源包括2至3个坩埚。

10.根据权利要求1所述的蒸发源,其特征在于,

每个所述区域设有2至3个出气孔。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1