特种金属材料提纯系统的制作方法

文档序号:11836291阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种特种金属材料提纯系统,其特征在于:系统结构包括腔体(1)、坩埚及磁场移出机构(2)、炉盖升降系统(3)、电子枪系统(4)、真空系统(5)和冷却系统(D),腔体(1)上下左右四面开口,上面连接炉盖升降系统(3),下面连接真空系统(5),左面连接坩埚及磁场移出机构(2),右面连接电子枪系统(4),系统整体布局分为四大部分,包括主炉体铠甲手套箱(A)、电子枪真空手套箱(B)、真空泵真空手套箱(C)和冷却系统(D),腔体(1)、坩埚及磁场移出机构(2)和炉盖升降系统(3)位于主炉体铠甲手套箱(A)内,电子枪系统(4)位于电子枪真空手套箱(B)内,真空系统(5)位于真空泵真空手套箱(C)内,冷却系统(D)设置于三个手套箱外围。

2.根据权利要求1所述的一种特种金属材料提纯系统,其特征在于:

所述腔体(1)采用倒T型结构,下面是卧式圆筒腔体,上部是立式圆筒腔体,腔体壁采用双层水冷结构,腔体内安装有炉盖(11)、收集板(12)、束形器(13)、坩埚(14)和磁场(15),坩埚(14)和磁场(15)位于腔体(1)正中心,束形器(13)和收集板(12)安装在立式圆筒腔体炉盖(11)上,束形器(13)上缠绕金属电阻丝,以保证束形器温度控制在630度,收集板(12)中间通入氦气冷却,收集板(12)中心设置PT100型热电偶,保证收集板(12)温度20--200度温度可调可控,此外在卧式圆筒形腔体外部靠近电子枪系统(4)处安装有测温口和视频观察口(16),便于观察和测温,在立式圆筒形腔体外部安装有安全阀(17),安全阀(17)可以设置1.5--2.0公斤压力。

3.根据权利要求1所述的一种特种金属材料提纯系统,其特征在于:

所述坩埚及磁场移出机构(2)由侧炉门支架(21)、电动传动机构(22)、主支撑导轨(23)、辅助导轨(24)等组成,可以实现手动自动切换。

4.根据权利要求1所述的一种特种金属材料提纯系统,其特征在于:

所述炉盖升降系统(3)结构包括升降电机(31)、底座(32)、丝杠套(33)、丝杠(34)和连接板(35),连接板(35)连接丝杠(34)和炉盖(11)。

5.根据权利要求1所述的一种特种金属材料提纯系统,其特征在于:

所述电子枪系统(4)由电动真空插板隔阀(41)、电子枪(42)、运转车(43)和运转导轨(44)组成,腔体(1)上有电子枪系统(4)安装接口,接口处配备电动真空插板隔阀(41),通过电动真空插板隔阀(41)把腔体(1)和电子枪系统(4)连接起来,电子枪(42)下端配备运转车(43),运转车(43)卡装在运转导轨(44)上。

6.根据权利要求1所述的一种特种金属材料提纯系统,其特征在于:所述真空系统(5)由涡旋干泵(51)、分子泵(52)、电动插板阀(53)、过滤器(54)和调整机构(55)组成,真空系统(5)位于腔体(1)正下方,分子泵(52)与腔体(1)直接连接,通过电动插板阀(53)实现真空系统(5)与腔体(1)的通断。

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