1.一种坩埚,包括一端设有开口的埚体,所述埚体的内部具有与所述开口连通的腔体;其特征在于,
沿所述埚体的延伸方向,靠近所述开口的所述腔体内设有间隔分布的至少两个隔板;所述至少两个隔板中,每个隔板设有贯穿其厚度的至少一个第一通孔,每相邻的两个隔板的第一通孔呈交错分布。
2.根据权利要求1所述的坩埚,其特征在于,所述至少两个隔板相互平行设置。
3.根据权利要求2所述的坩埚,其特征在于,所述至少两个隔板为一体式结构。
4.根据权利要求1所述的坩埚,其特征在于,还包括位于所述腔体内底部的陶瓷碎片和用于将所述陶瓷碎片保持在所述腔体内底部的挡板,所述挡板位于所述陶瓷碎片和所述至少两个隔板中背离所述开口的隔板之间,所述挡板设有贯穿其厚度的多个第二通孔。
5.根据权利要求4所述的坩埚,其特征在于,所述多个第二通孔中,每个第二通孔的最大孔径小于所述陶瓷碎片的最小粒径。
6.根据权利要求4所述的坩埚,其特征在于,所述每个隔板为由热解氮化硼或氮化铝制成的隔板;所述挡板为由热解氮化硼或氮化铝制成的挡板;所述陶瓷碎片为由热解氮化硼或氮化铝制成的陶瓷碎片。
7.根据权利要求1所述的坩埚,其特征在于,还包括设置于所述开口的盖板,所述盖板的厚度方向与所述埚体的延伸方向平行,所述盖板设有贯穿其厚度的至少一个第三通孔。
8.根据权利要求1-7任一项所述的坩埚,其特征在于,所述埚体由可拆卸连接的下部埚体和上部埚体构成,所述开口位于所述上部埚体背离所述下部埚体的一端,所述至少两个隔板设置于所述上部埚体内。
9.根据权利要求8所述的坩埚,其特征在于,所述下部埚体和上部埚体之间通过螺纹连接。
10.一种蒸发装置,包括加热装置,其特征在于,还包括如权利要求1-9任一项所述的坩埚。