一种坩埚和蒸发装置的制作方法

文档序号:12521233阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及显示技术领域,特别涉及一种坩埚和蒸发装置。该蒸发装置包括加热装置和坩埚。该坩埚包括一端设有开口的埚体,所述埚体的内部具有与所述开口连通的腔体;沿所述埚体的延伸方向,靠近所述开口的所述腔体内设有间隔分布的至少两个隔板;所述至少两个隔板中,每个隔板设有贯穿其厚度的至少一个第一通孔,每相邻的两个隔板的第一通孔呈交错分布。该坩埚在蒸镀过程中蒸发速率稳定,能够提高蒸镀膜层的均匀性。

技术研发人员:关立伟
受保护的技术使用者:京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
文档号码:201620776889
技术研发日:2016.07.21
技术公布日:2016.12.28

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