1.一种适用于PERC电池双面管式PECVD镀膜的石墨舟,包括若干石墨舟片,各石墨舟片在其厚度方向上间隔设置,其特征在于:
所述石墨舟片的表面为平坦结构。
2.根据权利要求1所述的适用于PERC电池双面管式PECVD镀膜的石墨舟,其特征在于:各石墨舟片之间通过陶瓷杆连接。
3.根据权利要求1所述的适用于PERC电池双面管式PECVD镀膜的石墨舟,其特征在于:所述石墨舟片上对应于硅片设置有销钉以定位硅片。
4.根据权利要求3所述的适用于PERC电池双面管式PECVD镀膜的石墨舟,其特征在于:所述石墨舟片上对应于每片硅片设置有三个销钉,三个销钉分别对应硅片的左侧边、右侧边和下侧边,以此将硅片定位在石墨舟片上。