一种适用于PERC电池双面管式PECVD镀膜的石墨舟的制作方法

文档序号:12183437阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种适用于PERC电池双面管式PECVD镀膜的石墨舟,包括若干石墨舟片,各石墨舟片在其厚度方向上间隔设置,其特征在于:

所述石墨舟片的表面为平坦结构。

2.根据权利要求1所述的适用于PERC电池双面管式PECVD镀膜的石墨舟,其特征在于:各石墨舟片之间通过陶瓷杆连接。

3.根据权利要求1所述的适用于PERC电池双面管式PECVD镀膜的石墨舟,其特征在于:所述石墨舟片上对应于硅片设置有销钉以定位硅片。

4.根据权利要求3所述的适用于PERC电池双面管式PECVD镀膜的石墨舟,其特征在于:所述石墨舟片上对应于每片硅片设置有三个销钉,三个销钉分别对应硅片的左侧边、右侧边和下侧边,以此将硅片定位在石墨舟片上。

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