技术总结
一种适用于PERC电池双面管式PECVD镀膜的石墨舟，包括若干石墨舟片，各石墨舟片在其厚度方向上间隔设置；所述石墨舟片的表面为平坦结构。本实用新型改变目前的镂空结构，从而避免外观不良的产生，以实现双面管式PECVD镀膜的PERC电池的量产，提高正面减反射，背面增反射效果和钝化效果，提高PERC的转换效率；本实用新型的石墨舟片表面为平坦结构，等离子分布更均匀，提高了正面氮化硅膜均匀性。
技术研发人员：俞亚东;党继东
受保护的技术使用者：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司
文档号码：201620785817
技术研发日：2016.07.25
技术公布日：2017.03.15