二次抽真空电熔系统的制作方法

文档序号:11974882阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种二次抽真空电熔系统,其特征在于所述的二次抽真空电熔系统包括:电熔炉装置、炉体升降装置、过滤装置(15)、高真空系统及低真空系统;所述的电熔炉装置与炉体升降装置相连接;炉体升降装置通过管路与过滤装置(15)相连接;过滤装置(15)通过管路与高真空系统及低真空系统相连接;

所述的电熔炉装置包括:上炉体(5)、下炉体(1)、坩埚(2)及假电极(4);坩埚(2)装于下炉体(1)内,在坩埚(2)的上部装有上炉体(5);钛锭(3)焊接在假电极(4)底部;假电极(4)穿过上炉体(5)的顶部插入到坩埚(2)内;

所述的炉体升降装置包括缸体(6)、支撑架(11)、油泵(12)、电机(13)、连接架(10)、导向杆(7)、导向板(8)及蜗轮蜗杆装置、螺杆(9);缸体(6)的上部装有支撑架(11);支撑架(11)的顶部装有油泵(12)和电机(13);支撑架(11)的一侧装有连接架(10);导向杆(7)装于上炉体(5)与连接架(10)之间;蜗轮蜗杆装置装于连接架(10)上,与油泵(12)及电机(13)相连接,蜗轮蜗杆装置的螺杆下端与导向板(8)相连接;假电极(4)通过导向板(8)装于导向杆(7)上,在蜗轮蜗杆的带动下沿导向杆(7)上下移动;缸体(6)通过法兰与上炉体(5)连通;

所述的高真空系统是由主阀(16)、油增扩泵(17)、前级阀(18)、罗茨泵C(19)、旋片泵(20)串联组成的;

所述的低真空系统是由粗抽阀(21)、罗茨泵B(22)、罗茨泵A(23)、挡板阀(24)及滑阀泵(25)串联而成。

2.根据权利要求1所述的二次抽真空电熔系统,其特征在于所述的下炉体(1)内装有冷却水,冷却水与外部循环系统相连接,对坩埚进行水冷处理。

3.根据权利要求1所述的二次抽真空电熔系统,其特征在于所述的炉体升降装置与过滤装置(15)之间的管路上装有真空度检测装置(14)。

4.根据权利要求1所述的二次抽真空电熔系统,其特征在于所述的上炉体(5)与坩埚(2)之间、坩埚(2)与下炉体(1)之间均加装有密封装置。

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