基于电火花放电的涂层制备装置的制作方法

文档序号:11614742阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于电火花放电的涂层制备装置,其特征在于:该装置包括:高速气流发生装置、设置在高速气流发生装置气流出口处的基体材料、对称设置在高速气流发生装置气流出口与基体材料之间的正极靶材和负极靶材,正极靶材、负极靶材分别与脉冲电源和伺服控制系统连接。

2.根据权利要求1所述的一种基于电火花放电的涂层制备装置,其特征在于:所述高速气流发生装置包括:储气罐、与储气罐依次连接的增压装置和高压气体喷头。

3.根据权利要求1所述的一种基于电火花放电的涂层制备装置,其特征在于:所述靶材为柱体形状,正极靶材和负极靶材分别以阵列形式对称设置在高速气流发生装置气流出口下侧的外周围,正极靶材与负极靶材间隙为0.1-10mm。

4.根据权利要求1所述的一种基于电火花放电的涂层制备装置,其特征在于:所述靶材为块体形状,正极靶材和负极靶材对称设置在高速气流发生装置气流出口与基体材料之间,正极靶材与负极靶材间隙为0.1-10mm。

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