1.一种锌-银-磷化硼体系的钎焊料的制备系统,其特征在于,包括依次连接的混料机、冷等静压机、脱蜡烧结一体炉、等离子旋转电极雾化设备和粉碎设备。
2.根据权利要求1所述的制备系统,其特征在于,所述制备系统还包括三个烧氢炉,它们分别连接至混料机的进料口。
3.根据权利要求1所述的制备系统,其特征在于,所述脱蜡烧结一体炉与真空电子束熔炼机连接,真空电子束熔炼机与等离子旋转电极雾化处理设备连接。
4.根据权利要求1所述的制备系统,其特征在于,所述粉碎设备为气流磨。
5.权利要求1~4中任一项所述制备系统对应的一种锌-银-磷化硼体系的钎焊料的制备方法,其特征在于,包括步骤:
(1)将锌粉、银粉和磷化硼混合均匀,得混合粉末;
(2)通过冷等静压机对步骤(1)所得的混合粉末压制成型,并在氢气气氛保护下脱蜡、烧结,得到预制棒;
(3)用等离子旋转电极雾化工艺制粉,得到粗粉;
(4)对粗粉进行气流磨破碎,得到高纯细粉;
其中,锌粉、银粉和磷化硼的质量比为1:0.2~0.3:0.1~0.2。
6.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,步骤(1)中的锌粉、银粉和磷化硼的粒径均不大于10μm;锌粉、银粉和磷化硼混合之前分别进行烧氢除杂处理。
7.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,烧氢除杂处理的温度为1000~1100℃。
8.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,步骤(2)中,冷等静压机的工作压力是300~320MPa,脱蜡温度是700~800℃,烧结温度是1300~1400℃,氢气流速为70~90mL/min;所得的预制棒经真空电子束熔炼后再进行等离子旋转电极雾化处理。
9.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,步骤(3)中等离子旋转电极雾化工艺条件为:惰性气体保护下,电流1300~1700A,电极转速13000~17000r/min。
10.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,步骤(4)中气流磨的工作条件是:在惰性气体保护下,气流速度为50~80m/s。