一种蒸发源的制作方法

本发明涉及显示器制作领域，特别涉及一种蒸发源。

背景技术：

有机发光二极管(OLED，Organic Light-Emitting Diode)显示技术与传统的液晶显示器(LCD，Liquid Crystal Display)显示方式不同，无需背光灯，采用非常薄的有机材料涂层，当有电流通过时，有机材料就会发光。现有OLED器件的制作是通过蒸镀设备通过真空蒸镀完成的。

真空蒸镀是指在高真空环境下对镀膜材料进行加热，使其升华并在基板上成膜。现有大尺寸用线性蒸发源，坩埚存放于蒸发源内，蒸镀过程中在坩埚外部对坩埚进行加热，形成的镀膜材料蒸气从喷射口喷出。

现有蒸镀设备一般分为两种，如图1所示为第一种蒸镀设备，图1所示蒸发设备的蒸发源在高真空环境中连续蒸镀时，有机材料50装载在坩埚30内，在加热丝40的加热下，有机材料气化经过内板20，而后从喷嘴10喷出，在基板上进行成膜。在实际生产过程中，需要进行连续数天时间加热，由于长时间加热，导致有机材料热裂解，从而影响OLED器件的性能，导致不良产生。

如图2所示为第二种蒸镀设备，图2所示蒸镀设备的蒸发源在高真空环境中连续蒸镀时，有机材料5装载在坩埚6内，在加热丝4的加热下，有机材料气化经过传输腔3和内板2，而后从喷嘴1喷出，在基板上进行成膜。在实际生产过程中，需要进行连续数天时间加热，由于长时间加热，导致有机材料热裂解，从而影响OLED器件的性能，导致不良产生。

综上可知，现有的蒸镀设备在进行真空蒸镀过程中因长时间加热，容易导致有机材料热裂解，从而影响OLED器件的性能，导致不良产生。

技术实现要素：

本发明的一个目的在于提供一种蒸发源，其防止有机材料因长时间加热而裂解，提高OLED器件的产量和良率，改善OLED器件性能。

为解决上述问题，根据本发明的一个方面，本发明的优选实施例提供了一种蒸发源，所述蒸发源包括：

壳体，所述壳体包括相对设置的第一端、第二端以及位于所述第一端和第二端之间的传输腔；

坩埚，用于放置蒸发材料，当所述蒸发材料放置于所述坩埚内时，所述蒸发材料在所述坩埚内的表面形成一加热面，所述坩埚设置在所述壳体内，且位于所述第二端，所述坩埚和传输腔连通；

喷嘴，用于喷射所述蒸发材料蒸发所形成的气体，所述喷嘴设置在所述第一端，所述喷嘴和传输腔连通；

第一加热丝，用于对所述加热面加热，所述第一加热丝直接固定在所述壳体内，且所述第一加热丝位于所述坩埚和喷嘴之间；

升降机构，所述升降机构可活动的连接在所述壳体上，所述升降机构和坩埚固定连接，所述升降机构通过和所述壳体的可活动连接控制所述坩埚运动，使得所述第一加热丝和加热面两者的位置产生变化，以改变所述第一加热丝对所述蒸发材料加热而产生的蒸发速率。

在本发明优选实施例的蒸发源中，所述蒸发源还包括：

第一检测器，所述第一检测器设置在所述坩埚位置处，用于检测所述坩埚位置处的蒸发速率；当所述第一检测器检测到所述坩埚位置处的蒸发速率与第一预设蒸发速率不同时，驱动所述升降机构控制所述坩埚运动。

在本发明优选实施例的蒸发源中，所述蒸发源还包括：

第二检测器，所述第二检测器设置在所述喷嘴位置处，用于检测所述喷嘴喷射气体的速率；当所述第二检测器检测到所述喷嘴喷射气体的速率与第二预设蒸发速率不同时，驱动所述升降机构控制所述坩埚运动。

在本发明优选实施例的蒸发源中，所述升降机构控制所述坩埚运动的方向与所述加热面垂直。

在本发明优选实施例的蒸发源中，所述蒸发源还包括固定在所述坩埚内的用于为所述蒸发材料加热的第二加热丝。

在本发明优选实施例的蒸发源中，所述蒸发源还包括：

第三加热丝，所述第三加热丝固定在所述传输腔内，用于为处于所述传输腔中的气体加热。

在本发明优选实施例的蒸发源中，所述传输腔包括相互连通的第一传输腔和第二传输腔，所述第一传输腔靠近所述坩埚，且直接和所述坩埚连通；所述第二传输腔靠近所述喷嘴，且直接和所述喷嘴连通；所述第三加热丝一部分设置在所述第一传输腔内，所述第三加热丝另一部分设置在所述第二传输腔内。

在本发明优选实施例的蒸发源中，所述蒸发源包括有设置在所述第二传输腔内的内板，位于所述第二传输腔内的所述第三加热丝一部分缠绕所述内板设置。

在本发明优选实施例的蒸发源中，所述蒸发源还包括：

第一检测器，所述第一检测器设置在所述坩埚位置处，用于检测所述坩埚位置处的蒸发速率，当所述第一检测器检测到所述坩埚位置处的蒸发速率与预设蒸发速率不同时，驱动所述升降机构控制所述坩埚运动；所述壳体设置有第一检测通道，所述第一检测通道和第一传输腔连通，所述第一检测器设置在所述第一检测通道位置；且所述第一检测通道从所述第一传输腔向外延伸形成。

同样地，为解决上述问题，本发明的另一优选实施例提供了一种蒸发源，所述蒸发源包括：

壳体，所述壳体包括相对设置的第一端、第二端以及位于所述第一端和第二端之间的传输腔；

坩埚，用于放置蒸发材料，当所述蒸发材料放置于所述坩埚内时，所述蒸发材料在所述坩埚内的表面形成一加热面，所述坩埚直接固定在所述壳体内，且位于所述第二端，所述坩埚和传输腔连通；

喷嘴，用于喷射所述蒸发材料蒸发所形成的气体，所述喷嘴设置在所述第一端，所述喷嘴和传输腔连通；

第一加热丝，用于对所述加热面加热，所述第一加热丝设置在所述壳体内，且所述第一加热丝位于所述坩埚和喷嘴之间；

升降机构，所述升降机构可活动的连接在所述壳体上，所述升降机构和第一加热丝固定连接，所述升降机构通过和所述壳体的可活动连接控制所述第一加热丝运动，使得所述第一加热丝和加热面两者的位置产生变化，以改变所述第一加热丝对所述蒸发材料加热而产生的蒸发速率。

相对于现有技术，本发明通过第一加热丝对放置于坩埚内蒸发材料的加热面进行加热，第一加热丝位于坩埚和喷嘴之间，以便位于加热面处的蒸发材料受热蒸发，通过坩埚、传输腔达到喷嘴向外喷射，从而防止位于坩埚内部(位于坩埚内且处于加热面以下的蒸发材料)的蒸发材料长时间加热而裂解。

进一步的，本发明壳体上可活动的连接有升降机构，通过升降机构控制坩埚运动，以改变坩埚和第一加热丝两者之间的距离，同时，使得第一加热丝和加热面两者的位置产生变化，进而改变所述第一加热丝对所述蒸发材料加热而产生的蒸发速率；具体的是，当需要提高蒸发速率时，驱动升降机构控制坩埚进行上升(朝向喷嘴方向运动)运动，第一加热丝固定在壳体内位置不变，升降机构控制坩埚上升，减小坩埚和第一加热丝的距离，从而减小第一加热丝和加热面之间的距离，使得第一加热丝为加热面的加热效果更好，甚至第一加热丝通过加热面逐渐向坩埚内部深入，进而深入到蒸发材料中，这样进一步增加了第一加热丝和蒸发材料的加热面积，从而增加蒸发材料的蒸发速率。

而当需要降低蒸发速率时，驱动升降机构控制坩埚下降(远离喷嘴的方向运动)运动，升降机构控制第一加热丝和坩埚的距离逐渐变大，从而增加第一加热丝和加热面之间的距离，使得第一加热丝为加热面的加热效果变差，降低蒸发材料的蒸发速率。因此，本发明通过升降机构控制坩埚运动，改变位于坩埚中蒸发材料所形成的加热面和第一加热丝两者之间距离，控制第一加热丝为加热面进行加热的加热效率，进而控制蒸发材料的蒸发速率，防止第一加热丝长时间为蒸发材料进行加热而产生裂解，提高OLED器件的产量和良率，改善OLED器件的性能。

为让本发明的上述内容能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合所附图式，作详细说明如下：

【附图说明】

图1为现有技术中一种蒸发源的结构示意图；

图2为现有技术中一种蒸发源的结构示意图；

图3为本发明蒸发源的第一实施例的结构示意图；

图4为本发明蒸发源的第二实施例的结构示意图；

图5为本发明蒸发源的第三实施例的结构示意图；

图6为本发明蒸发源的第四实施例的结构示意图；

图7为本发明蒸发源的第五实施例的结构示意图；

图8为本发明蒸发源的第六实施例的结构示意图；

图9为本发明蒸发源的第七实施例的结构示意图；

图10为本发明蒸发源的第八实施例的结构示意图。

【具体实施方式】

以下各实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。

这里所公开的具体结构和功能细节仅仅是代表性的，并且是用于描述本发明的示例性实施例的目的。但是本发明可以通过许多替换形式来具体实现，并且不应当被解释成仅仅受限于这里所阐述的实施例。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。另外，术语“包括”及其任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

这里所使用的术语仅仅是为了描述具体实施例而不意图限制示例性实施例。除非上下文明确地另有所指，否则这里所使用的单数形式“一个”、“一项”还意图包括复数。还应当理解的是，这里所使用的术语“包括”和/或“包含”规定所陈述的特征、整数、步骤、操作、单元和/或组件的存在，而不排除存在或添加一个或更多其他特征、整数、步骤、操作、单元、组件和/或其组合。

在图中，结构相似的单元是以相同标号表示。

下面参考附图3至10和较佳的实施例对本发明实施例蒸发源作进一步详细说明。

如图3所示，图3是本发明蒸发源的第一实施例的结构示意图，本发明第一实施例的蒸发源100包括：壳体120、内板102、坩埚106、喷嘴101、第一加热丝108和升降机构107。

其中，所述壳体120包括相对设置的第一端121、第二端122以及位于所述第一端121和第二端122之间的传输腔103，传输腔用于传输蒸发材料105被加热形成蒸发气体。所述传输腔103包括相互连通的第一传输腔1031和第二传输腔1032，所述第一传输腔1031靠近所述坩埚106，且直接和所述坩埚106连通；所述第二传输腔1032靠近所述喷嘴101，且直接和所述喷嘴101连通。

其中，所述内板102设置在所述第二传输腔1032内。

其中，所述坩埚106用于放置蒸发材料105，当所述蒸发材料105放置于所述坩埚106内时，所述蒸发材料105在所述坩埚106内的表面形成一加热面1051；所述坩埚106设置在所述壳体120内，且位于所述第二端122，所述坩埚106和传输腔103连通。

其中，所述喷嘴101用于喷射所述蒸发材料105蒸发所形成的气体，所述喷嘴101设置在所述第一端121，所述喷嘴101和传输腔103连通；喷嘴101和坩埚106之间通过传输腔103连通，坩埚内蒸发材料105受热形成蒸发气体通过传输腔传103输到喷嘴101处，并通过喷嘴101向外喷出。

其中，所述第一加热丝108用于对所述加热面1051加热，所述第一加热丝108直接固定在所述壳体120内，且所述第一加热丝108位于所述坩埚106和喷嘴101之间；通过第一加热丝108对放置于坩埚106内蒸发材料105的加热面1051进行加热，第一加热丝108位于坩埚106和喷嘴101之间，以便位于加热面1051处的蒸发材料105受热蒸发，通过坩埚106、传输腔103达到喷嘴101向外喷射，从而防止位于坩埚106内部(位于坩埚内且处于加热面以下的蒸发材料)的蒸发材料105长时间加热而裂解。

其中，所述升降机构107可活动的连接在所述壳体120上，所述升降机构107和坩埚106固定连接，所述升降机构107通过和所述壳体120的可活动连接控制所述坩埚106运动，使得所述第一加热丝108和加热面1051两者的位置产生变化，以改变所述第一加热丝108对所述蒸发材料105加热而产生的蒸发速率。

进一步的，本发明第一实施例升降机构107和壳体120的可活动连接可以采用滑轨和滑槽配合的方式实现可活动，比如：壳体上设置有滑槽，升降机构设置有用于放置到壳体滑槽内的滑轨，且升降机构的滑轨可在壳体滑槽内滑动，以实现升降机构和壳体的可活动连接。

当然，本发明第一实施例壳体120和升降机构107也可以采用其他可活动连接方式，比如：

壳体和升降机构采用销钉和销孔的方式可活动连接，具体的，壳体上设置多个间隔布置的销孔，升降机构上设置用于插入到壳体销孔内的销钉，通过调整销钉插入到不同位置的销孔内来实现升降机构和壳体之间的可活动连接。

再比如：壳体和升降机构采用齿轮或齿轮和传动带配合连接，通过两个或多个齿轮转动实现升降机构和壳体之间的可活动连接。

其中，升降机构107控制坩埚106进行上升运动或下降运动为：所述升降机构107控制所述坩埚106运动的方向与所述加热面1051垂直。当然，需要说明的是，升降机构107控制坩埚106上升运动或下降运动，也可以和加热面倾斜方向，也就是坩埚运动方向和加热面形成有夹角。

本发明第一实施例通过升降机构107控制坩埚106运动，以改变坩埚106和第一加热丝108两者之间的距离，同时，使得第一加热丝108和加热面1051两者的位置产生变化，进而改变所述第一加热丝108对所述蒸发材料105加热而产生的蒸发速率。从而，本发明第一实施例不仅防止蒸发材料因长时间加热而裂解，而且便于控制蒸发速率，进一步提高OLED器件的产量和良率，改善OLED器件的性能。

在本发明第一实施例中，参见图3，本发明第一实施例蒸发源对蒸发材料的蒸发具体流程如下：

将蒸发材105放置于所述坩埚106内，第一加热丝108为处于加热面1051处的蒸发材料加热，以使得加热面1051处的蒸发材料105受热而蒸发形成蒸发气体，并通过坩埚106、传输腔103传输至喷嘴101，蒸发气体从喷嘴101位置向外喷出。

首先，蒸发气体通过坩埚106到达传输腔103内。

然后，根据蒸发气体的速率大小，驱动升降机构107控制坩埚106运动。具体的运动方式为：

当蒸发速率较小时，或者预先设定一第一预设蒸发速率，该第一预设蒸发速率能够保持产量和良率。也就是当蒸发速率小于第一预设蒸发速率时，为了保持产量和良率，提高蒸发速率。

更具体的是，驱动升降机构107控制坩埚106进行上升运动，第一加热丝108固定在壳体120内位置不变，升降机构107控制坩埚106上升，减小坩埚106和第一加热丝108的距离，比如减小坩埚顶端至第一加热丝底部的距离，或者减小坩埚中心位置至第一加热丝中心位置的距离，需要说明的是，本发明实施例坩埚和第一加热丝之间距离的变化是相对于同一位置而言。从而减小第一加热丝108和加热面1051之间的距离，比如减小加热面至第一加热丝底部的距离，或者减小加热面至第一加热丝中心位置的距离，需要说明的是，本发明实施例加热面和第一加热丝之间距离的变化是相对于同一位置而言。使得第一加热丝108为加热面1051的加热效果更好，甚至第一加热丝108通过加热面1051逐渐向坩埚106内部深入，进而深入到蒸发材料105中，这样进一步增加了第一加热丝108和蒸发材料105的加热面积，从而增加蒸发材料的蒸发速率以达到第一预设蒸发速率。

当蒸发速率较大，或者说蒸发速率大于第一预设蒸发速率时，为了保持产量和良率，需要降低蒸发速率。

更具体的是，驱动升降机构107控制坩埚106进行下降运动，升降机构107控制第一加热丝108和坩埚106的距离逐渐变大，从而增加第一加热丝108和加热面1051之间的距离，使得第一加热丝108为加热面1051的加热效果变差，降低蒸发材料的蒸发速率以降低到第一预设蒸发速率。

其提高OLED器件的产量和良率，改善OLED器件的性能。

如图4所示，图4是本发明蒸发源的第二实施例的结构示意图，本发明第二实施例的蒸发源200包括：壳体220、内板202、坩埚206、喷嘴201、第一加热丝208、升降机构207和第一检测器210。

其中，本发明第二实施例的坩埚206与本发明第一实施例的坩埚106结构相同，本发明第二实施例的内板202与本发明第一实施例的内板102结构相同，本发明第二实施例的喷嘴201与本发明第一实施例的喷嘴101结构相同，本发明第二实施例的第一加热丝208与本发明第一实施例的第一加热丝108结构相同，本发明第二实施例的升降机构207与本发明第一实施例的升降机构107结构和效果相同，在此不再赘述。

本发明第二实施例在第一实施例的基础上进行的改进，本发明第二实施例与第一实施例的区别在于：本发明第二实施例还包括第一检测器210。

进一步的，本发明第二实施例与第一实施例的区别还在于：本发明第二实施例的壳体220上设置有第一检测通道223，且本发明第二实施例的壳体220的第一端221、第二端222、传输腔203的第一传输腔2031及第二传输腔2032分别与本发明第一实施例的壳体120的第一端121、第二端122、传输腔103的第一传输腔1031及第二传输腔1032的结构和效果相同，在此不再赘述。

其中，所述第一检测器210设置在所述坩埚206位置处的壳体220上，用于检测所述坩埚206位置处的蒸发速率(在此定义为第一蒸发速率)；当所述第一检测器210检测到所述坩埚206位置处的第一蒸发速率与第一预设蒸发速率不同时，驱动所述升降机构207控制所述坩埚206运动。

具体的，所述第一检测器210设置在所述第一检测通道223位置，所述第一检测通道223和第一传输腔2031连通，且所述第一检测通道223从所述第一传输腔2031向外延伸形成。

本发明第二实施例根据第一检测器210检测的第一蒸发速率和第一预设蒸发速率进行比对，当第一检测器210所检测的第一蒸发速率小于第一预设蒸发速率时，为了保持产量和良率，提高蒸发速率。具体的是，驱动升降机构207控制坩埚206进行上升运动，第一加热丝208固定在壳体220内位置不变，升降机构207控制坩埚206进行上升运动，减小坩埚206和第一加热丝208的距离，比如减小坩埚206顶端至第一加热丝208底部的距离，或者减小坩埚206中心位置至第一加热丝208中心位置的距离，需要说明的是，本发明实施例坩埚和第一加热丝之间距离的变化是相对于同一位置而言。从而减小第一加热丝208和加热面2051之间的距离，比如减小加热面2051至第一加热丝208底部的距离，或者减小加热面2051至第一加热丝208中心位置的距离，需要说明的是，本发明实施例加热面和第一加热丝之间距离的变化是相对于同一位置而言。使得第一加热丝208为加热面2051的加热效果更好，甚至第一加热丝208通过加热面2051逐渐向坩埚206内部深入，进而深入到蒸发材料205中，这样进一步增加了第一加热丝208和蒸发材料205的加热面积，从而增加蒸发材料205的蒸发速率以达到第一预设蒸发速率。

当第一检测器210所检测的第一蒸发速率大于第一预设蒸发速率时，为了保持产量和良率，需要降低蒸发速率；具体的是，驱动升降机构207控制坩埚206进行下降运动，升降机构207控制第一加热丝208和坩埚206的距离逐渐变大，从而增加第一加热丝208和加热面2051之间的距离，使得第一加热丝208为加热面2051的加热效果变差，降低蒸发材料205的蒸发速率以降低到第一预设蒸发速率。

其中，第一预设蒸发速率为提前设定的蒸发速率，其可以根据具体需求进行更改。

综上可知，本发明第二实施例通过第一检测器210对坩埚206位置处蒸发速率的检测，并及时反馈到升降机构207，以便升降机构207做出调整来控制坩埚206做出相应的运动，从而通过第一加热丝208更加及时、准确的控制蒸发材料的蒸发速率，进一步提高OLED器件的产量和良率，改善OLED器件的性能。

在本发明第二实施例的蒸发源中，所述蒸发源200还包括固定在所述坩埚206内的用于为所述蒸发材料205加热的第二加热丝209，当蒸发材料205置于坩埚206内时，蒸发材料205覆盖住第二加热丝209，第二加热丝209位于加热面2051内。第二加热丝209用于为坩埚206内部的蒸发材料205进行预加热。

具体的是，第一加热丝208为处于加热面2051处的蒸发材料205加热，以使得加热面2051处的蒸发材料205受热而蒸发；第二加热丝209为坩埚206内部的蒸发材料205进行预加热丝，当加热面2051处的蒸发材料205逐渐被蒸发，通过升降机构207控制坩埚206上升，第一加热丝208保持为蒸发材料205的加热面2051位置加热，由于有第二加热丝209为坩埚206内部的蒸发材料205进行预加热，以便第一加热丝208对加热面2051加热而使得蒸发材料205蒸发。

本发明第二实施例中，由于第二加热丝209固定在坩埚206内，升降机构207控制坩埚206运动时，第二加热丝209跟随坩埚206的运动而运动。

其中，第二加热丝209的加热温度设置可以小于第一加热丝208的加热温度，从而使得第二加热丝209为坩埚206内的蒸发材料205预加热效果更好，且不会使得坩埚206内的蒸发材料205因长时间高温度预加热而裂解。需要说明的是，第二加热丝209可以持续性的为坩埚206内的蒸发材料205预加热，也可以间隔性的为坩埚206内的蒸发材料205预加热。

在本发明第二实施例中，所述蒸发源还包括第三加热丝204，所述第三加热丝204固定在所述传输腔203内，用于为处于所述传输腔203中的气体加热，通过第三加热丝204对蒸发材料205的蒸发气体进行二次加热，提高蒸发源200内部的饱和蒸气压，使蒸发材料205所形成的蒸发气体从喷嘴201喷出时更加均匀，且提高蒸发气体的温度，不易在喷嘴201形成结晶，避免堵塞问题。

具体的，所述第三加热丝204一部分设置在所述第一传输腔2031内，所述第三加热丝204另一部分设置在所述第二传输腔2032内。且位于所述第二传输腔2032内的所述第三加热丝204一部分缠绕所述内板202设置。

参见图4，本发明第二实施例蒸发源对蒸发材料的蒸发具体流程是通过第一检测器210安装在坩埚206位置处，对坩埚206位置处蒸发速率进行检测，根据检测结果驱动升降机构207控制坩埚206运动，进而控制蒸发速率。下面对具体流程进行详细说明：

将蒸发材料放置于所述坩埚206内，第一加热丝208为处于加热面2051处的蒸发材料加热，以使得加热面2051处的蒸发材料受热而蒸发形成蒸发气体，并通过坩埚206、传输腔203、第一检测通道223传输至喷嘴201，蒸发气体从喷嘴201位置向外喷出。

首先，蒸发气体通过坩埚206到达传输腔203内，传输腔203内的第三加热丝204为蒸发气体进行二次加热，提高蒸发源200内部的饱和蒸气压，使蒸发材料所形成的蒸发气体从喷嘴201喷出时更加均匀，且提高蒸发气体的温度，不易在喷嘴201形成结晶，避免堵塞问题。

然后，蒸发气体通过第一检测通道223，位于第一检测通道223位置的第一检测器210检测蒸发气体的蒸发速率，并与第一预设蒸发速率进行比对，根据比对结果驱动升降机构207控制坩埚206运动。具体的运动方式为：

当第一检测器210所检测的第一蒸发速率小于第一预设蒸发速率时，为了保持产量和良率，提高蒸发速率。更具体的是，驱动升降机构207控制坩埚206进行上升运动，第一加热丝208固定在壳体内位置不变，升降机构207控制坩埚206上升，减小坩埚206和第一加热丝208的距离，从而减小第一加热丝208和加热面2051之间的距离，使得第一加热丝208为加热面2051的加热效果更好，甚至第一加热丝208通过加热面2051逐渐向坩埚206内部深入，进而深入到蒸发材料中，这样进一步增加了第一加热丝208和蒸发材料的加热面2051积，从而增加蒸发材料的蒸发速率以达到第一预设蒸发速率。

当第一检测器210所检测的第一蒸发速率大于第一预设蒸发速率时，为了保持产量和良率，需要降低蒸发速率；更具体的是，驱动升降机构207控制坩埚206进行下降运动，升降机构207控制第一加热丝208和坩埚206的距离逐渐变大，从而增加第一加热丝208和加热面2051之间的距离，使得第一加热丝208为加热面2051的加热效果变差，降低蒸发材料的蒸发速率以降低到第一预设蒸发速率。

再然后，第一加热丝208不断为加热面2051加热，使得加热面2051位置的蒸发材料逐渐被蒸发，通过第二加热丝209为坩埚206内部的蒸发材料进行预加热丝，再通过升降机构207控制坩埚206上升，第一加热丝208可继续为蒸发材料的加热面2051位置加热以保持蒸发速率，由于有第二加热丝209为坩埚206内部的蒸发材料进行预加热，以便第一加热丝208对加热面2051加热而使得蒸发材料蒸发，确保蒸发材料的蒸发速率。

因此，本发明第二实施例通过将第一检测器210的检测结果及时反馈到升降机构207，升降机构207控制坩埚206运动，更加及时、准确地改变位于坩埚206中蒸发材料所形成的加热面2051和第一加热丝208两者之间距离，更加及时、准确地控制第一加热丝208为加热面2051进行加热的加热效率，进而更加及时、准确地控制蒸发材料的蒸发速率，防止第一加热丝208长时间为蒸发材料进行加热而产生裂解，进一步提高OLED器件的产量和良率，进一步改善OLED器件的性能。

如图5所示，图5是本发明蒸发源的第三实施例的结构示意图，本发明第三实施例的蒸发源300包括：壳体320、内板302、坩埚306、喷嘴301、第一加热丝308、升降机构307和第二检测器311。

本发明第三实施例是在本发明第二实施例的基础上进行的改进，本发明第三实施例与本发明第二实施例的区别在于：本发明第三实施例的第二检测器311设置在喷嘴301位置处，本发明第二实施例中的第一检测器设置在坩埚位置处；本发明第三实施例采用第二检测器311替代第一检测器。

本发明第三实施例中内板302、坩埚306、喷嘴301、第一加热丝308、升降机构307、第二加热丝309、第三加热丝304分别与本发明第二实施例中的内板202、坩埚206、喷嘴201、第一加热丝208、升降机构207、第二加热丝209、第三加热丝204结构及效果相同，在此不再赘述。

其中，本发明第三实施例壳体320和本发明第二实施例壳体220的区别在于，本发明第三实施例的壳体320未设置有第一检测通道。本发明第三实施例壳体320的第一端321、第二端322、传输腔303的第一传输腔3031以及第二传输腔3032分别与本发明第二实施例壳体的第一端221、第二端222、传输腔203的第一传输腔2031以及第二传输腔2032结构和效果相同，在此不再赘述。

且当将蒸发材料305放置于坩埚306内时，蒸发材料在坩埚305内形成加热面3051。

具体的，所述第二检测器311设置在所述喷嘴301位置处，用于检测所述喷嘴301喷射气体的速率(在此定义为第二蒸发速率)；当所述第二检测器311检测到所述喷嘴301喷射气体的第二蒸发速率与第二预设蒸发速率不同时，驱动所述升降机构307控制所述坩埚306运动。

本发明第三实施例根据第二检测器311检测的第二蒸发速率和第二预设蒸发速率进行比对，当第二检测器311所检测的第二蒸发速率小于第二预设蒸发速率时，为了保持产量和良率，提高蒸发速率。更具体的是，驱动升降机构307控制坩埚306进行上升运动，第一加热丝308固定在壳体320内位置不变，升降机构307控制坩埚306进行上升运动，减小坩埚306和第一加热丝308的距离，比如减小坩埚306顶端至第一加热丝308底部的距离，或者减小坩埚306中心位置至第一加热丝308中心位置的距离，需要说明的是，本发明实施例坩埚和第一加热丝之间距离的变化是相对于同一位置而言。从而减小第一加热丝308和加热面3051之间的距离，比如减小加热面3051至第一加热丝308底部的距离，或者减小加热面3051至第一加热丝308中心位置的距离，需要说明的是，本发明实施例加热面和第一加热丝之间距离的变化是相对于同一位置而言。使得第一加热丝308为加热面3051的加热效果更好，甚至第一加热丝308通过加热面3051逐渐向坩埚306内部深入，进而深入到蒸发材料中，这样进一步增加了第一加热丝308和蒸发材料的加热面3051积，从而增加蒸发材料的蒸发速率以达到第二预设蒸发速率。

当第二检测器311所检测的第二蒸发速率大于第二预设蒸发速率时，为了保持产量和良率，需要降低蒸发速率；具体的是，驱动升降机构307控制坩埚306进行下降运动，升降机构307控制第一加热丝308和坩埚306的距离逐渐变大，从而增加第一加热丝308和加热面3051之间的距离，使得第一加热丝308为加热面3051的加热效果变差，降低蒸发材料的蒸发速率以降低到第二预设蒸发速率。

其中，第二预设蒸发速率为提前设定的蒸发速率，其可以根据具体需求进行更改。

同样，本发明第三实施例通过将第二检测器311的检测结果及时反馈到升降机构307，升降机构307控制坩埚306运动，更加及时、准确地改变位于坩埚306中蒸发材料所形成的加热面3051和第一加热丝308两者之间距离，更加及时、准确地控制第一加热丝308为加热面3051进行加热的加热效率，进而更加及时、准确地控制蒸发材料305的蒸发速率，防止第一加热丝308长时间为蒸发材料进行加热而产生裂解，进一步提高OLED器件的产量和良率，进一步改善OLED器件的性能。

另外，由于第二检测器311设置在喷嘴301位置处，喷嘴301位置更靠近基板，当控制喷嘴301位置处的蒸发气体速率能够得到更加及时、准确的控制，从而使得喷嘴301喷出的蒸发气体在基板上成膜更加均匀，效果更好。

参见图5，本发明第三实施例中，蒸发源对蒸发材料的蒸发具体流程与本发明第二实施例中蒸发源对蒸发材料的蒸发具体流程的区别在于：本发明第三实施例中的蒸发源通过位于喷嘴位置的第二检测器检测蒸发速率，具体参见本发明第二实施例，在此不再赘述。

如图6所示，图6是本发明蒸发源的第四实施例的结构示意图，本发明第四实施例的蒸发源400包括：壳体420、内板402、坩埚406、喷嘴401、第一加热丝408、升降机构407、第一检测器410、第二检测器411。

本发明第四实施例是在本发明第二实施例和第三实施例的基础上进行的改进，本发明第四实施例与本发明第二实施例的区别在于：本发明第四实施例的蒸发源400还包括有设置在喷嘴401位置处的第二检测器411，本发明第二实施例中未设置有第二检测器。

本发明第四实施例中内板402、坩埚406、喷嘴401、第一加热丝408、升降机构407、第二加热丝409、第三加热丝404、第一检测器410分别与本发明第二实施例中的内板202、坩埚206、喷嘴201、第一加热丝208、升降机构207、第二加热丝209、第三加热丝204、第一检测器210结构及效果相同，在此不再赘述。

以及本发明第四实施例壳体420的第一端421、第二端422、传输腔403的第一传输腔4031以及第二传输腔4032分别与本发明第二实施例壳体的第一端221、第二端222、传输腔203的第一传输腔2031以及第二传输腔2032结构和效果相同，在此不再赘述。

且当将蒸发材料405放置于坩埚406内时，蒸发材料在坩埚内形成加热面4051。

本发明第四实施例中，当第一检测器410所检测的第一蒸发速率小于第一预设蒸发速率，且第二检测器411所检测的第二蒸发速率小于第二预设蒸发速率时，驱动升降机构407控制坩埚406进行上升运动，以提高蒸发速率，确保产量和良率。

以及当第一检测器410所检测的第一蒸发速率大于第一预设蒸发速率，且第二检测器411所检测的第二蒸发速率大于第二预设蒸发速率时，驱动升降机构407控制坩埚406进行下降运动，以降低蒸发速率。

当第一检测器410的检测结果和第二检测器411的检测结果不同时，以第二检测器411的检测结果为准，由于，第二检测器411设置在喷嘴位置处，这样就能够确保从喷嘴位置向外喷出的蒸发气体均匀，防止其影响OLED的产量和良率。

进一步的，当第一检测器410和第二检测器411的检测结果不同时，发出第一检测器410和第二检测器411的检测结果不同的警报，进行提示，以便工作人员对进行现场检查和维修。

以上仅是本发明第四实施例中第一检测器410和第二检测器411共同工作的一种方式，当然，本发明第四实施例中第一检测器410和第二检测器411还可以采用其他工作方式，比如：当第一检测器410和第二检测器411的检测结果不同时，以第一检测器410的检测结果为准。

具体检测结果不同是：第一检测器410所检测的第一蒸发速率小于第一预设蒸发速率，第二检测器411所检测的第二蒸发速率大于第二预设蒸发速率；或第一检测器410所检测的第一蒸发速率大于第一预设蒸发速率，第二检测器411所检测的第二蒸发速率小于第二预设蒸发速率。

同样，本发明第四实施例通过将第一检测器410和第二检测器411的检测结果及时反馈到升降机构407，升降机构407控制坩埚406运动，更加及时、准确地改变位于坩埚406中蒸发材料405所形成的加热丝4051和第一加热丝408两者之间距离，更加及时、准确地控制第一加热丝408为加热丝4051进行加热的加热效率，进而更加及时、准确地控制蒸发材料405的蒸发速率，防止第一加热丝408长时间为蒸发材料405进行加热而产生裂解，进一步提高OLED器件的产量和良率，进一步改善OLED器件的性能。

另外，由于第一检测器410设置在坩埚406位置处，更靠近蒸发材料405，当控制坩埚406位置处的蒸发气体速率能够得到更加及时、准确的控制，从而使得蒸发材料405产生的蒸发气体更加均匀，效果更好。

以及，由于第二检测器411设置在喷嘴位置处，喷嘴位置更靠近基板，当控制喷嘴位置处的蒸发气体速率能够得到更加及时、准确的控制，从而使得喷嘴喷出的蒸发气体在基板上成膜更加均匀，效果更好。

其中，本发明第四实施例中蒸发源对蒸发材料的蒸发具体流程与本发明第二实施例中蒸发源对蒸发材料的蒸发具体流程的区别在于：本发明第四实施例中的蒸发源通过位于喷嘴位置的第二检测器检测蒸发速率，以及通过位于第一检测通道位置的第一检测器检测蒸发速率，两者共同检测，效果更佳。具体流程可参见本发明第二实施例，在此不再赘述。

如图7所示，图7是本发明蒸发源的第五实施例的结构示意图，本发明第五实施例的蒸发源500包括：壳体520、内板502、坩埚506、喷嘴501、第一加热丝508和升降机构507。

其中，所述壳体520包括相对设置的第一端521、第二端522以及位于所述第一端521和第二端522之间的传输腔503，传输腔用于传输蒸发材料被加热形成蒸发气体。所述传输腔503包括相互连通的第一传输腔5031和第二传输腔5032，所述第一传输腔5031靠近所述坩埚506，且直接和所述坩埚506连通；所述第二传输腔5032靠近所述喷嘴501，且直接和所述喷嘴501连通。

其中，所述内板502设置在所述第二传输腔5032内。

其中，所述坩埚506用于放置蒸发材料505，当所述蒸发材料505放置于所述坩埚506内时，所述蒸发材料505在所述坩埚506内的表面形成一加热面5051；所述坩埚506直接固定在所述壳体520内，且位于所述第二端522，所述坩埚506和传输腔503连通。

其中，所述喷嘴501用于喷射所述蒸发材料505蒸发所形成的气体，所述喷嘴501设置在所述第一端521，所述喷嘴501和传输腔503连通；喷嘴501和坩埚506之间通过传输腔503连通，坩埚内蒸发材料受热形成蒸发气体通过传输腔503传输到喷嘴501处，并通过喷嘴501向外喷出。

其中，所述第一加热丝508用于对所述加热面5051加热，所述第一加热丝508设置在所述壳体内，且所述第一加热丝508位于所述坩埚506和喷嘴501之间；通过第一加热丝508对放置于坩埚506内蒸发材料的加热面5051进行加热，第一加热丝508位于坩埚506和喷嘴501之间，以便位于加热面5051处的蒸发材料505受热蒸发，通过坩埚506、传输腔503达到喷嘴501向外喷射，从而防止位于坩埚506内部(位于坩埚内且处于加热面以下的蒸发材料)的蒸发材料长时间加热而裂解。

其中，所述升降机构507可活动的连接在所述壳体520上，所述升降机构507和坩埚506固定连接，所述升降机构507通过和所述壳体520的可活动连接控制所述第一加热丝508运动，使得所述第一加热丝508和加热面5051两者的位置产生变化，以改变所述第一加热丝508对所述蒸发材料505加热而产生的蒸发速率。

进一步的，本发明优选的实施例升降机构507和壳体520的可活动连接可以采用滑轨和滑槽配合的方式实现可活动，比如：壳体上设置有滑槽，升降机构设置有用于放置到壳体滑槽内的滑轨，且升降机构的滑轨可在壳体滑槽内滑动，以实现升降机构和壳体的可活动连接。

当然，本发明第五实施例壳体和升降机构也可以采用其他可活动连接方式，比如：

壳体和升降机构采用销钉和销孔的方式可活动连接，具体的，壳体上设置多个间隔布置的销孔，升降机构上设置用于插入到壳体销孔内的销钉，通过调整销钉插入到不同位置的销孔内来实现升降机构和壳体之间的可活动连接。

再比如：壳体和升降机构采用齿轮或齿轮和传动带配合连接，通过两个或多个齿轮转动实现升降机构和壳体之间的可活动连接。

其中，升降机构507控制第一加热丝508进行上升运动或下降运动为：所述升降机构507控制所述第一加热丝508运动的方向与所述加热面5051垂直。当然，需要说明的是，升降机构控制第一加热丝上升运动或下降运动，也可以和加热面倾斜方向，也就是第一加热丝运动方向和加热面形成有夹角。

本发明第五实施例通过升降机构507控制第一加热丝508运动，以改变坩埚506和第一加热丝508两者之间的距离，同时，使得第一加热丝508和加热面5051两者的位置产生变化，进而改变所述第一加热丝508对所述蒸发材料505加热而产生的蒸发速率。从而，本发明第五实施例不仅防止蒸发材料505因长时间加热而裂解，而且便于控制蒸发速率，进一步提高OLED器件的产量和良率，改善OLED器件的性能。

在本发明第五实施例中，本发明第五实施例蒸发源对蒸发材料505的蒸发具体流程如下：

将蒸发材料505放置于所述坩埚506内，第一加热丝508为处于加热面5051处的蒸发材料505加热，以使得加热面5051处的蒸发材料505受热而蒸发形成蒸发气体，并通过坩埚506、传输腔传输至喷嘴501，蒸发气体从喷嘴501位置向外喷出。

首先，蒸发气体通过坩埚506到达传输腔503内。

然后，根据蒸发气体的速率大小，驱动升降机构507控制坩埚506运动。具体的运动方式为：

当蒸发速率较小时，或者预先设定一第一预设蒸发速率，该第一预设蒸发速率能够保持产量和良率。也就是当蒸发速率小于第一预设蒸发速率时，为了保持产量和良率，提高蒸发速率。

更具体的是，驱动升降机构507控制坩埚506进行上升运动，第一加热丝508固定在壳体内位置不变，升降机构507控制坩埚506上升，减小坩埚506和第一加热丝508的距离，比如减小坩埚506顶端至第一加热丝508底部的距离，或者减小坩埚506中心位置至第一加热丝508中心位置的距离，需要说明的是，本发明实施例坩埚和第一加热丝之间距离的变化是相对于同一位置而言。从而减小第一加热丝508和加热面5051之间的距离，比如减小加热面5051至第一加热丝508底部的距离，或者减小加热面5051至第一加热丝508中心位置的距离，需要说明的是，本发明实施例加热面和第一加热丝之间距离的变化是相对于同一位置而言。使得第一加热丝508为加热面5051的加热效果更好，甚至第一加热丝508通过加热面5051逐渐向坩埚506内部深入，进而深入到蒸发材料505中，这样进一步增加了第一加热丝508和蒸发材料505的加热面5051积，从而增加蒸发材料505的蒸发速率以达到第一预设蒸发速率。

当蒸发速率较大，或者说蒸发速率大于第一预设蒸发速率时，为了保持产量和良率，需要降低蒸发速率。

更具体的是，驱动升降机构507控制坩埚506进行下降运动，升降机构507控制第一加热丝508和坩埚506的距离逐渐变大，从而增加第一加热丝508和加热面5051之间的距离，使得第一加热丝508为加热面5051的加热效果变差，降低蒸发材料505的蒸发速率以降低到第一预设蒸发速率。

其提高OLED器件的产量和良率，改善OLED器件的性能。

如图8所示，图8是本发明蒸发源的第六实施例的结构示意图，本发明第六实施例的蒸发源600包括：壳体620、内板602、坩埚606、喷嘴601、第一加热丝608、升降机构607和第一检测器610。

其中，本发明第六实施例的坩埚606与本发明第五实施例的坩埚506结构相同，本发明第六实施例的内板602与本发明第五实施例的内板502结构相同，本发明第六实施例的喷嘴601与本发明第五实施例的喷嘴101结构相同，本发明第六实施例的第一加热丝608与本发明第五实施例的第一加热丝508结构相同，本发明第六实施例的升降机构607与本发明第五实施例的升降机构507结构和效果相同，在此不再赘述。

本发明第六实施例在第五实施例的基础上进行的改进，本发明第六实施例与第五实施例的区别在于：本发明第六实施例还包括第一检测器610。

进一步的，本发明第六实施例与第五实施例的区别还在于：本发明第六实施例的壳体620上设置有第一检测通道623，且本发明第六实施例的壳体620的第一端621、第二端622、传输腔603的第一传输腔6031及第二传输腔6032分别与本发明第五实施例的壳体520的第一端521、第二端522、传输腔503的第一传输腔5031及第二传输腔5032的结构和效果相同，在此不再赘述。

其中，所述第一检测器610设置在所述坩埚606位置处的壳体上，用于检测所述坩埚606位置处的蒸发速率(在此定义为第一蒸发速率)；当所述第一检测器610检测到所述坩埚606位置处的第一蒸发速率与第一预设蒸发速率不同时，驱动所述升降机构607控制所述第一加热丝608运动。

具体的，所述第一检测器610设置在所述第一检测通道623位置，所述第一检测通道623和第一传输腔6031连通，且所述第一检测通道623从所述第一传输腔6031向外延伸形成。

本发明第六实施例根据第一检测器610检测的第一蒸发速率和第一预设蒸发速率进行比对，当第一检测器610所检测的第一蒸发速率小于第一预设蒸发速率时，为了保持产量和良率，提高蒸发速率。具体的是，驱动升降机构607控制第一加热丝608进行下降运动，减小坩埚606和第一加热丝608的距离，比如减小坩埚606顶端至第一加热丝608底部的距离，或者减小坩埚606中心位置至第一加热丝608中心位置的距离，需要说明的是，本发明实施例坩埚和第一加热丝之间距离的变化是相对于同一位置而言。从而减小第一加热丝608和加热面6051之间的距离，比如减小加热面6051至第一加热丝608底部的距离，或者减小加热面6051至第一加热丝608中心位置的距离，需要说明的是，本发明实施例加热面和第一加热丝之间距离的变化是相对于同一位置而言。使得第一加热丝608为加热面6051的加热效果更好，甚至第一加热丝608通过加热面6051逐渐向坩埚606内部深入，进而深入到蒸发材料605中，这样进一步增加了第一加热丝608和蒸发材料605的加热面6051积，从而增加蒸发材料605的蒸发速率以达到第一预设蒸发速率。

当第一检测器610所检测的第一蒸发速率大于第一预设蒸发速率时，为了保持产量和良率，需要降低蒸发速率；具体的是，驱动升降机构607控制第一加热丝608进行上升运动，升降机构607控制第一加热丝608和坩埚606的距离逐渐变大，从而增加第一加热丝608和加热面6051之间的距离，使得第一加热丝608为加热面6051的加热效果变差，降低蒸发材料605的蒸发速率以降低到第一预设蒸发速率。

其中，第一预设蒸发速率为提前设定的蒸发速率，其可以根据具体需求进行更改。

综上可知，本发明第六实施例通过第一检测器610对坩埚606位置处蒸发速率的检测，并及时反馈到升降机构607，以便升降机构607做出调整来控制第一加热丝608做出相应的运动，从而通过第一加热丝608更加及时、准确的控制蒸发材料605的蒸发速率，进一步提高OLED器件的产量和良率，改善OLED器件的性能。

在本发明第六实施例的蒸发源中，所述蒸发源还包括固定在所述坩埚606内的用于为所述蒸发材料605加热的第二加热丝609，当蒸发材料置于坩埚606内时，蒸发材料605覆盖住第二加热丝609，第二加热丝609位于加热面6051内。第二加热丝604用于为坩埚606内部的蒸发材料605进行预加热。

具体的是，第一加热丝608为处于加热面6051处的蒸发材料605加热，以使得加热面6051处的蒸发材料605受热而蒸发；第二加热丝604为坩埚606内部的蒸发材料605进行预加热丝，当加热面6051处的蒸发材料605逐渐被蒸发，通过升降机构607控制坩埚606上升，第一加热丝608始终为蒸发材料605的加热面6051位置加热，由于有第二加热丝609为坩埚606内部的蒸发材料605进行预加热，以便第一加热丝608对加热面6051加热而使得蒸发材料605蒸发。

其中，第二加热丝609的加热温度设置可以小于第一加热丝608的加热温度，从而使得第二加热丝609为坩埚606内的蒸发材料605预加热效果更好，且不会使得坩埚606内的蒸发材料605因长时间高温度预加热而裂解。需要说明的是，第二加热丝609可以持续性的为坩埚606内的蒸发材料605预加热，也可以间隔性的为坩埚606内的蒸发材料605预加热。

在本发明第六实施例中，所述蒸发源600还包括第三加热丝604，所述第三加热丝604固定在所述传输腔603内，用于为处于所述传输腔603中的气体加热，通过第三加热丝604对蒸发材料605的蒸发气体进行二次加热，提高蒸发源600内部的饱和蒸气压，使蒸发材料605所形成的蒸发气体从喷嘴喷出时更加均匀，且提高蒸发气体的温度，不易在喷嘴形成结晶，避免堵塞问题。

具体的，所述第三加热丝604一部分设置在所述第一传输腔6031内，所述第三加热丝604另一部分设置在所述第二传输腔6032内。且位于所述第二传输腔6032内的所述第三加热丝604一部分缠绕所述内板602设置。

参见图8，本发明第六实施例蒸发源对蒸发材料605的蒸发具体流程是通过第一检测器610安装在坩埚606位置处，对坩埚606位置处蒸发速率进行检测，根据检测结果驱动升降机构607控制坩埚606运动，进而控制蒸发速率。下面对具体流程进行详细说明：

将蒸发材料605放置于所述坩埚606内，第一加热丝608为处于加热面6051处的蒸发材料605加热，以使得加热面6051处的蒸发材料605受热而蒸发形成蒸发气体，并通过坩埚606、传输腔603、第一检测通道623传输至喷嘴601，蒸发气体从喷嘴601位置向外喷出。

首先，蒸发气体通过坩埚606到达传输腔603内，传输腔603内的第三加热丝604为蒸发气体进行二次加热，提高蒸发源内部的饱和蒸气压，使蒸发材料605所形成的蒸发气体从喷嘴601喷出时更加均匀，且提高蒸发气体的温度，不易在喷嘴601形成结晶，避免堵塞问题。

然后，蒸发气体通过第一检测通道623，位于第一检测通道623位置的第一检测器610检测蒸发气体的蒸发速率，并与第一预设蒸发速率进行比对，根据比对结果驱动升降机构607控制第一加热丝608运动具体的运动方式为：

当第一检测器610所检测的第一蒸发速率小于第一预设蒸发速率时，为了保持产量和良率，提高蒸发速率。更具体的是，驱动升降机构607控制第一加热丝608进行下降运动，减小坩埚606和第一加热丝608的距离，从而减小第一加热丝608和加热面6051之间的距离，使得第一加热丝608为加热面6051的加热效果更好，甚至第一加热丝608通过加热面6051逐渐向坩埚606内部深入，进而深入到蒸发材料605中，这样进一步增加了第一加热丝608和蒸发材料605的加热面6051积，从而增加蒸发材料605的蒸发速率以达到第一预设蒸发速率。

当第一检测器610所检测的第一蒸发速率大于第一预设蒸发速率时，为了保持产量和良率，需要降低蒸发速率；更具体的是，驱动升降机构607控制第一加热丝608机进行上升运动，升降机构607控制第一加热丝608和坩埚606的距离逐渐变大，从而增加第一加热丝608和加热面6051之间的距离，使得第一加热丝608为加热面6051的加热效果变差，降低蒸发材料605的蒸发速率以降低到第一预设蒸发速率。

再然后，第一加热丝608不断为加热面6051加热，使得加热面6051位置的蒸发材料605逐渐被蒸发，通过第二加热丝609为坩埚606内部的蒸发材料605进行预加热丝，再通过升降机构607控制第一加热丝608进行下降运动，第一加热丝608可继续为蒸发材料605的加热面6051位置加热以保持蒸发速率，由于有第二加热丝609为坩埚606内部的蒸发材料605进行预加热，以便第一加热丝608对加热面6051加热而使得蒸发材料605蒸发，确保蒸发材料605的蒸发速率。

因此，本发明第六实施例通过将第一检测器610的检测结果及时反馈到升降机构607，升降机构607控制第一加热丝608运动，更加及时、准确地改变位于坩埚606中蒸发材料605所形成的加热面6051和第一加热丝608两者之间距离，更加及时、准确地控制第一加热丝608为加热面6051进行加热的加热效率，进而更加及时、准确地控制蒸发材料605的蒸发速率，防止第一加热丝608长时间为蒸发材料605进行加热而产生裂解，进一步提高OLED器件的产量和良率，进一步改善OLED器件的性能。

如图9所示，图9是本发明蒸发源的第七实施例的结构示意图，本发明第七实施例的蒸发源700包括：壳体720、内板702、坩埚706、喷嘴701、第一加热丝708、升降机构707和第二检测器711。

本发明第七实施例是在本发明第六实施例的基础上进行的改进，本发明第七实施例与本发明第六实施例的区别在于：本发明第七实施例的第二检测器711设置在喷嘴701位置处，本发明第六实施例中的第一检测器设置在坩埚位置处；本发明第七实施例采用第二检测器711替代第一检测器。

本发明第七实施例中内板702、坩埚706、喷嘴701、第一加热丝708、升降机构707、第二加热丝709、第三加热丝704分别与本发明第六实施例中的内板602、坩埚606、喷嘴601、第一加热丝608、升降机构607、第二加热丝609、第三加热丝604结构及效果相同，在此不再赘述。

其中，本发明第七实施例壳体720和本发明第六实施例壳体620的区别在于，本发明第七实施例的壳体720未设置有第一检测通道。本发明第七实施例壳体720的第一端721、第二端722、传输腔703的第一传输腔7031以及第二传输腔7032分别与本发明第六实施例壳体的第一端621、第二端622、传输腔603的第一传输腔6031以及第二传输腔6032结构和效果相同，在此不再赘述。

且当将蒸发材料705放置于坩埚706内时，蒸发材料705在坩埚706内形成加热面7051。

具体的，所述第二检测器711设置在所述喷嘴701位置处，用于检测所述喷嘴701喷射气体的速率(在此定义为第二蒸发速率)；当所述第二检测器711检测到所述喷嘴701喷射气体的第二蒸发速率与第二预设蒸发速率不同时，驱动所述升降机构707控制所述第一加热丝708运动。

本发明第七实施例根据第二检测器711检测的第二蒸发速率和第二预设蒸发速率进行比对，当第二检测器711所检测的第二蒸发速率小于第二预设蒸发速率时，为了保持产量和良率，提高蒸发速率。更具体的是，驱动升降机构707控制第一加热丝708进行下降运动，减小坩埚706和第一加热丝708的距离，比如减小坩埚706顶端至第一加热丝708底部的距离，或者减小坩埚706中心位置至第一加热丝708中心位置的距离，需要说明的是，本发明实施例坩埚和第一加热丝之间距离的变化是相对于同一位置而言。从而减小第一加热丝708和加热面7051之间的距离，比如减小加热面7051至第一加热丝708底部的距离，或者减小加热面7051至第一加热丝708中心位置的距离，需要说明的是，本发明实施例加热面和第一加热丝之间距离的变化是相对于同一位置而言。使得第一加热丝708为加热面7051的加热效果更好，甚至第一加热丝708通过加热面7051逐渐向坩埚706内部深入，进而深入到蒸发材料705中，这样进一步增加了第一加热丝708和蒸发材料705的加热面7051积，从而增加蒸发材料705的蒸发速率以达到第二预设蒸发速率。

当第二检测器711所检测的第二蒸发速率大于第二预设蒸发速率时，为了保持产量和良率，需要降低蒸发速率；具体的是，驱动升降机构707控制第一加热丝708进行上升运动，升降机构707控制第一加热丝708和坩埚706的距离逐渐变大，从而增加第一加热丝708和加热面7051之间的距离，使得第一加热丝708为加热面7051的加热效果变差，降低蒸发材料705的蒸发速率以降低到第二预设蒸发速率。

其中，第二预设蒸发速率为提前设定的蒸发速率，其可以根据具体需求进行更改。

同样，本发明第七实施例通过将第二检测器711的检测结果及时反馈到升降机构707，升降机构707控制第一加热丝708运动，更加及时、准确地改变位于坩埚706中蒸发材料705所形成的加热面7051和第一加热丝708两者之间距离，更加及时、准确地控制第一加热丝708为加热面7051进行加热的加热效率，进而更加及时、准确地控制蒸发材料705的蒸发速率，防止第一加热丝708长时间为蒸发材料705进行加热而产生裂解，进一步提高OLED器件的产量和良率，进一步改善OLED器件的性能。

另外，由于第二检测器711设置在喷嘴701位置处，喷嘴701位置更靠近基板，当控制喷嘴701位置处的蒸发气体速率能够得到更加及时、准确的控制，从而使得喷嘴701喷出的蒸发气体在基板上成膜更加均匀，效果更好。

参见图9，本发明第七实施例中，蒸发源对蒸发材料的蒸发具体流程与本发明第六实施例中蒸发源对蒸发材料的蒸发具体流程的区别在于：本发明第七实施例中的蒸发源通过位于喷嘴位置的第二检测器检测蒸发速率，具体参见本发明第六实施例，在此不再赘述。

如图10所示，图10是本发明蒸发源的第八实施例的结构示意图，本发明第八实施例的蒸发源800包括：壳体820、内板802、坩埚806、喷嘴801、第一加热丝808、升降机构807、第一检测器810、第二检测器811。

本发明第八实施例是在本发明第六实施例和第七实施例的基础上进行的改进，本发明第八实施例与本发明第六实施例的区别在于：本发明第八实施例的蒸发源800还包括有设置在喷嘴801位置处的第二检测器811，本发明第六实施例中未设置有第二检测器。

本发明第八实施例中内板802、坩埚806、喷嘴801、第一加热丝808、升降机构807、第二加热丝809、第三加热丝804、第一检测器810分别与本发明第六实施例中的内板602、坩埚606、喷嘴601、第一加热丝608、升降机构607、第二加热丝609、第三加热丝604、第一检测器610结构及效果相同，在此不再赘述。

以及本发明第八实施例壳体820的第一端821、第二端822、传输腔803的第一传输腔8031以及第二传输腔8032分别与本发明第六实施例壳体的第一端621、第二端622、传输腔603的第一传输腔6031以及第二传输腔6032结构和效果相同，在此不再赘述。

且当将蒸发材料805放置于坩埚806内时，蒸发材料805在坩埚806内形成加热面8051。

本发明第八实施例中，当第一检测器810所检测的第一蒸发速率小于第一预设蒸发速率，且第一检测器811所检测的第二蒸发速率小于第二预设蒸发速率时，驱动升降机构807控制第一加热丝808进行下降运动，以提高蒸发速率，确保产量和良率。

以及当第一检测器810所检测的第一蒸发速率大于第一预设蒸发速率，且第一检测器811所检测的第二蒸发速率大于第二预设蒸发速率时，驱动升降机构807控制第一加热丝808进行上升运动，以降低蒸发速率。

当第一检测器810的检测结果和第一检测器811的检测结果不同时，以第一检测器811的检测结果为准，由于，第一检测器811设置在喷嘴801位置处，这样就能够确保从喷嘴801位置向外喷出的蒸发气体均匀，防止其影响OLED的产量和良率。

进一步的，当第一检测器810和第一检测器811的检测结果不同时，发出第一检测器810和第一检测器811的检测结果不同的警报，进行提示，以便工作人员对进行现场检查和维修。

以上仅是本发明第八实施例中第一检测器810和第一检测器811共同工作的一种方式，当然，本发明第八实施例中第一检测器810和第一检测器811还可以采用其他工作方式，比如：当第一检测器810和第一检测器811的检测结果不同时，以第一检测器810的检测结果为准。

具体检测结果不同是：第一检测器810所检测的第一蒸发速率小于第一预设蒸发速率，第一检测器811所检测的第二蒸发速率大于第二预设蒸发速率；或第一检测器810所检测的第一蒸发速率大于第一预设蒸发速率，第一检测器811所检测的第二蒸发速率小于第二预设蒸发速率。

同样，本发明第八实施例通过将第一检测器810和第一检测器811的检测结果及时反馈到升降机构807，升降机构807控制第一加热丝运动，更加及时、准确地改变位于坩埚806中蒸发材料805所形成的加热面8051和第一加热丝808两者之间距离，更加及时、准确地控制第一加热丝808为加热面8051进行加热的加热效率，进而更加及时、准确地控制蒸发材料的蒸发速率，防止第一加热丝808长时间为蒸发材料进行加热而产生裂解，进一步提高OLED器件的产量和良率，进一步改善OLED器件的性能。

另外，由于第一检测器810设置在坩埚位置处，更靠近蒸发材料，当控制坩埚位置处的蒸发气体速率能够得到更加及时、准确的控制，从而使得蒸发材料产生的蒸发气体更加均匀，效果更好。

以及，由于第一检测器811设置在喷嘴801位置处，喷嘴801位置更靠近基板，当控制喷嘴801位置处的蒸发气体速率能够得到更加及时、准确的控制，从而使得喷嘴801喷出的蒸发气体在基板上成膜更加均匀，效果更好。

其中，本发明第八实施例中蒸发源对蒸发材料的蒸发具体流程与本发明第六实施例中蒸发源对蒸发材料的蒸发具体流程的区别在于：本发明第八实施例中的蒸发源通过位于喷嘴位置的第二检测器检测蒸发速率，以及通过位于第一检测通道位置的第一检测器检测蒸发速率，两者共同检测，效果更佳。具体流程可参见本发明第六实施例，在此不再赘述。

虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。