一种蒸发源的制作方法

文档序号:12779497阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供了一种蒸发源。蒸发源包括壳体、用于放置蒸发材料的坩埚、喷嘴、用于对加热面加热第一加热丝和升降机构,壳体包括相对设置的第一端、第二端及位于第一端和第二端之间的传输腔;当蒸发材料放置于坩埚内时,蒸发材料在坩埚内的表面形成一加热面,坩埚设置在壳体内,且位于第二端,坩埚和传输腔连通;喷嘴设置在第一端,喷嘴和传输腔连通;第一加热丝直接固定在壳体内,且第一加热丝位于坩埚和喷嘴之间;升降机构可活动的连接在壳体上,升降机构和坩埚固定连接,升降机构通过和壳体的可活动连接控制坩埚运动,使得第一加热丝和加热面两者的位置产生变化,以改变第一加热丝对蒸发材料加热而产生的蒸发速率。提高OLED器件的产量和良率。

技术研发人员:施展;金东焕;曹绪文;金映秀;洪执华
受保护的技术使用者:武汉华星光电技术有限公司
文档号码:201710200249
技术研发日:2017.03.29
技术公布日:2017.06.30

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