一种蒸发源的制作方法

文档序号:12779497阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种蒸发源,其特征在于,所述蒸发源包括:

壳体,所述壳体包括相对设置的第一端、第二端以及位于所述第一端和第二端之间的传输腔;

坩埚,用于放置蒸发材料,当所述蒸发材料放置于所述坩埚内时,所述蒸发材料在所述坩埚内的表面形成一加热面,所述坩埚设置在所述壳体内,且位于所述第二端,所述坩埚和传输腔连通;

喷嘴,用于喷射所述蒸发材料蒸发所形成的气体,所述喷嘴设置在所述第一端,所述喷嘴和传输腔连通;

第一加热丝,用于对所述加热面加热,所述第一加热丝直接固定在所述壳体内,且所述第一加热丝位于所述坩埚和喷嘴之间;

升降机构,所述升降机构可活动的连接在所述壳体上,所述升降机构和坩埚固定连接,所述升降机构通过和所述壳体的可活动连接控制所述坩埚运动,使得所述第一加热丝和加热面两者的位置产生变化,以改变所述第一加热丝对所述蒸发材料加热而产生的蒸发速率。

2.根据权利要求1所述的一种蒸发源,其特征在于,所述蒸发源还包括:

第一检测器,所述第一检测器设置在所述坩埚位置处,用于检测所述坩埚位置处的蒸发速率;当所述第一检测器检测到所述坩埚位置处的蒸发速率与第一预设蒸发速率不同时,驱动所述升降机构控制所述坩埚运动。

3.根据权利要求1所述的一种蒸发源,其特征在于,所述蒸发源还包括:

第二检测器,所述第二检测器设置在所述喷嘴位置处,用于检测所述喷嘴喷射气体的速率;当所述第二检测器检测到所述喷嘴喷射气体的速率与第二预设蒸发速率不同时,驱动所述升降机构控制所述坩埚运动。

4.根据权利要求1所述的一种蒸发源,其特征在于,所述升降机构控制所述坩埚运动的方向与所述加热面垂直。

5.根据权利要求1所述的一种蒸发源,其特征在于,所述蒸发源还包括固定在所述坩埚内的用于为所述蒸发材料加热的第二加热丝。

6.根据权利要求1所述的一种蒸发源,其特征在于,所述蒸发源还包括:

第三加热丝,所述第三加热丝固定在所述传输腔内,用于为处于所述传输腔中的气体加热。

7.根据权利要求6所述的一种蒸发源,其特征在于,所述传输腔包括相互连通的第一传输腔和第二传输腔,所述第一传输腔靠近所述坩埚,且直接和所述坩埚连通;所述第二传输腔靠近所述喷嘴,且直接和所述喷嘴连通;所述第三加热丝一部分设置在所述第一传输腔内,所述第三加热丝另一部分设置在所述第二传输腔内。

8.根据权利要求7所述的一种蒸发源,其特征在于,所述蒸发源包括有设置在所述第二传输腔内的内板,位于所述第二传输腔内的所述第三加热丝一部分缠绕所述内板设置。

9.根据权利要求7所述的一种蒸发源,其特征在于,所述蒸发源还包括:

第一检测器,所述第一检测器设置在所述坩埚位置处,用于检测所述坩埚位置处的蒸发速率,当所述第一检测器检测到所述坩埚位置处的蒸发速率与预设蒸发速率不同时,驱动所述升降机构控制所述坩埚运动;所述壳体设置有第一检测通道,所述第一检测通道和第一传输腔连通,所述第一检测器设置在所述第一检测通道位置;且所述第一检测通道从所述第一传输腔向外延伸形成。

10.一种蒸发源,其特征在于,所述蒸发源包括:

壳体,所述壳体包括相对设置的第一端、第二端以及位于所述第一端和第二端之间的传输腔;

坩埚,用于放置蒸发材料,当所述蒸发材料放置于所述坩埚内时,所述蒸发材料在所述坩埚内的表面形成一加热面,所述坩埚直接固定在所述壳体内,且位于所述第二端,所述坩埚和传输腔连通;

喷嘴,用于喷射所述蒸发材料蒸发所形成的气体,所述喷嘴设置在所述第一端,所述喷嘴和传输腔连通;

第一加热丝,用于对所述加热面加热,所述第一加热丝设置在所述壳体内,且所述第一加热丝位于所述坩埚和喷嘴之间;

升降机构,所述升降机构可活动的连接在所述壳体上,所述升降机构和第一加热丝固定连接,所述升降机构通过和所述壳体的可活动连接控制所述第一加热丝运动,使得所述第一加热丝和加热面两者的位置产生变化,以改变所述第一加热丝对所述蒸发材料加热而产生的蒸发速率。

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