掩膜板的制作方法

本发明涉及oled制造领域，具体而言，涉及一种用于oled蒸镀用的掩膜板。

背景技术：

oled显示技术具有自发光、广视角、对比度高、较低耗电、反应速度快等优点，受到人们的广泛关注，誉为下一代显示技术。

oled领域通常通过溶液制成和蒸镀制成来实现薄膜的制备，成膜范围的界定通过掩膜板来实现。然而，在实际使用中，特别是大尺寸面板制备时，掩膜板边缘和中间的连接条，往往由于重力作用而发生下垂，下垂的掩膜板接触到蒸镀的基板后，会导致基板划伤以及成膜区出现偏差等问题。

现有技术通常是在掩膜板上制作点状物支撑，以对掩膜板进行支撑，然而该技术方案虽对掩膜板下垂有所改善，但独立的点状物结构容易剥落，影响支撑效果，并形成污染。

在所述背景技术部分公开的上述信息仅用于加强对本发明的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

技术实现要素：

本发明的一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种掩膜板，以防止该掩膜板下垂。

本发明的另一个主要目的在于提供一种掩膜板，以保护基板，以防止掩膜板与基板直接接触，造成刮伤。

为实现上述发明目的，本发明采用如下技术方案：

根据本发明的一个方面，提供了一种掩膜板，其中所述掩膜板包括掩膜板本体和弹性支撑结构，所述掩膜板本体具有朝向基板的第一表面；所述弹性支撑结构涂设置于所述第一表面上，优选采用涂敷的方式设置；其中，所述弹性支撑结构上设置有通孔，所述通孔优选为均匀分布在弹性支撑结构上。

根据本发明的一实施方式，其中所述通孔为三角形通孔。

根据本发明的一实施方式，其中所述弹性支撑结构为一体成型结构。

根据本发明的一实施方式，其中所述弹性支撑结构采用光刻技术成型。

根据本发明的一实施方式，其中所述弹性支撑结构由粘度为10cp～500000cp的材料构成。

根据本发明的一实施方式，其中所述弹性支撑结构由树脂类材料、亚克力材料或丙烯酸类材料制成。

根据本发明的一实施方式，其中所述弹性支撑结构的厚度为1-10μm。

根据本发明的一实施方式，其中相邻所述三角形通孔之间的所述掩膜板的宽度为小于或者等于200μm。

根据本发明的一实施方式，其中所述掩膜板由金属材料制成。

根据本发明的一实施方式，其中所述掩膜板由不锈钢或者因瓦合金制成。

由上述技术方案可知，本发明的掩膜板的优点和积极效果在于：本发明提供的掩膜板包括弹性支撑结构，该弹性支撑结构设置于掩膜板本体的朝向基板的第一表面上，以对掩膜板形成撑托，防止其下垂。另一方面，由于该支撑结构设置于基板和掩膜板之间，因此即使掩膜板发生下垂，也不会接触到基板，由此可以防止掩膜板下垂后对基板造成刮伤。更进一步地，该弹性支撑结构为一体成型结构，增加了该弹性支撑结构的坚固性，能够更好地对掩膜板进行支撑，防止其发生下垂。更进一步地，该弹性支撑结构为具有三角形通孔的支撑结构，其具有更好的支撑稳定性，以进一步防止掩膜板下垂。

附图说明

通过结合附图考虑以下对本发明的优选实施例的详细说明，本发明的各种目标、特征和优点将变得更加显而易见。附图仅为本发明的示范性图解，并非一定是按比例绘制。在附图中，同样的附图标记始终表示相同或类似的部件。其中：

图1是根据一示例性实施方式示出的一种弹性支撑结构的结构图。

图2是根据一示例性实施方式示出的一种弹性支撑结构的结构图。

图3是根据一示例性实施方式示出的一种弹性支撑结构的结构图。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本发明将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。

参照图1至图3，本发明的一种具体实施方式，其中掩膜板可以包括掩膜板本体和设置于该掩膜板本体的朝向基板的第一表面上的弹性支撑结构2，也就是说，该弹性支撑结构2可以设置于掩膜板本体和基板之间，可以理解的是，弹性支撑结构2设置于掩膜板本体的下方，以对掩膜板本体起到很好的支撑作用，防止其发生下垂。另一个方面，由于弹性支撑结构2可以设置于掩膜板本体和基板之间，即使掩膜板本体发生下垂，也不会直接接触到基板，因此可以避免掩膜板本体和基板直接接触而对基板造成刮伤，由此该弹性支撑结构2对基板起到很好的保护作用。更进一步地，该弹性支撑结构2可以为一体成型结构，增加了该弹性支撑结构2的坚固性，能够更好地对掩膜板进行支撑，防止其发生下垂。更进一步地，该弹性支撑结构2可以为具有三角形通孔的支撑结构，其具有更好的支撑稳定性，以进一步防止掩膜板下垂。

参照图1至图3，根据本发明的一具体实施方式，为了使蒸镀材料能够顺利通过弹性支撑结构2以被蒸镀到产品上，在弹性支撑结构2上可以设置通孔，所述通孔优选为均匀分布在弹性支撑结构上，本发明的一具体实施方式，该通孔可以为三角形通孔，在与掩膜板本体具有相同的接触面积的情况下，具有该三角形通孔的弹性支撑结构2可以具有更好的支撑稳定性，但并不以此为限，该弹性支撑结构2的通孔的形状可以根据需要进行设置，都在本发明的保护范围内。

继续参照图1至图3，根据本发明的一具体实施方式，弹性支撑结构2可以为一体成型结构，以提高支撑效果，从而可以增加该弹性支撑结构2的坚固性，以避免掩膜板下垂后与玻璃基板接触，从而可以减少对玻璃基板的摩擦损伤，但不以此为限。根据本发明的一具体实施方式，弹性支撑结构2可以采用光刻技术成型，但不以此为限。

继续参照图1至图3，根据本发明的一具体实施方式，弹性支撑结构2可以由粘度为10cp～500000cp的材料构成，例如但不限于，弹性支撑结构2可以由树脂类材料、亚克力材料或丙烯酸类材料制成，具体地，首先可以先对已经成型的掩膜板进行清洗并吹干；按照三角形图形在弹性支撑结构2的对应位置上涂布上述材料；再对上述材料进行uv固化或者加热以进行固化，从而便形成了本发明提供的掩膜板。本发明的一具体实施方式，上述材料可以采用条形涂布(stripcoating)或者点胶(dispenser)的方式进行涂布，但并不以此为限。

继续参照图1至图3，根据本发明的一具体实施方式，弹性支撑结构2的厚度可以为1-10μm，相对于现有技术中的oled蒸镀用掩膜板支撑架，本发明中的弹性支撑结构2的厚度更小，从而可以使蒸镀精度更高；另一发面，由于弹性支撑结构2涂覆于掩膜板本体的表面上，因此两者之间的贴附性更好，从而也进一步提高了蒸镀精度，但不以此为限，弹性支撑结构2的厚度可以根据实际需要而进行选择，都在本发明的保护范围内。该弹性支撑结构2可以采用旋涂或者整面涂布(coating)的正面涂布方式进行涂布。具体地，首先可以先对已经成型的掩膜板进行清洗并吹干；在掩膜板本体的板条上进行涂布上述弹性支撑结构2；再对涂布的上述整面弹性支撑结构2进行曝光，以在弹性支撑结构2上形成所需的三角形通孔，从而便可形成本发明提供的掩膜板。根据本发明的一具体实施方式，相邻的三角形通孔之间的板条的宽度可以小于或者等于200μm。根据本发明的一具体实施方式，弹性支撑结构2可以为树脂类材料，也可以为亚克力材料，或者其它柔性或略带弹性的材料，以具有一定的支撑性。本发明限定的弹性支撑结构，既能够具有很好的刚性以对掩膜板起到支撑作用，又能够具有很好地弹性，用于防止掩膜板与基板接触，从而可以很好地防刮擦。

根据本发明的一具体实施方式，其中掩膜板可以有金属材料制成。例如但不限于，掩膜板可以由不锈钢或者因瓦合金制成。

所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施方式中。在上面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本发明的实施方式的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本发明的技术方案而没有所述特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组件、材料等。在其它情况下，不详细示出或描述公知结构、材料或者操作以避免模糊本发明的各方面。