技术特征：
技术总结
本发明公开了一种用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解方法及其装置，该电解方法包括：(1)在电解槽中电解盐水，并向电解槽中添加盐酸维持阴极槽呈弱酸性；(2)将电解制得的氯气直接通入蚀刻液中，使蚀刻液中的二价铁离子再生被阳极产生的氯气氧化为三价铁离子，刻蚀废液得到再生；(3)再生后的刻蚀废液中的三价铁离子循环利用转化为二价铁离子，二价铁离子被持续通入的氯气氧化为三价铁离子，实现三氯化铁蚀刻液的循环再生。本发明用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解方法及其装置，确保了刻蚀液中三氯化铁的稳定性，减少了废液的排放，节约了废液处理成本，提高了三氯化铁的使用寿命。
技术研发人员：曾旭;梁泰频
受保护的技术使用者：宁波东盛集成电路元件有限公司;宁波东顺电子科技有限公司
技术研发日：2017.05.17
技术公布日：2017.10.17