沉积装置及利用该装置的沉积方法与流程

技术特征：

技术总结
本发明涉及一种可以使沉积物质均匀分布的沉积装置及利用该装置的沉积方法。根据本发明的实施例的沉积装置具有：空腔板，位于腔室的内部；基板支撑台，在所述腔室的内部布置成与所述空腔板对向；以及多个阳极，可旋转地布置于所述空腔板与所述基板支撑台之间，其中，所述阳极具有杆状，且垂直于长度方向的截面具有长方形的形状。

技术研发人员：孙尚佑;申相原
受保护的技术使用者：三星显示有限公司
技术研发日：2017.10.30
技术公布日：2018.05.25