一种金属纳米网络柔性玻璃的加工方法与流程

文档序号:14727400发布日期:2018-06-19 12:14阅读:来源:国知局
技术特征:

1.一种金属纳米网络柔性玻璃的加工方法,其特征在于,包括以下步骤:

S1、采用磁控溅射法,以硅片为衬底,在硅片上制备SiO2薄膜作为牺牲层;

S2、采用磁控溅射法,在牺牲层上制备GZO薄膜、AZO薄膜或ZnO薄膜作为遮盖层;

S3、采用湿法刻蚀法,在遮盖层上滴加稀HNO3,腐蚀遮盖层得到颗粒间的裂缝并增宽裂缝;

S4、采用湿法刻蚀法,在S3腐蚀完成后再滴加HF,腐蚀颗粒间裂缝下面的SiO2薄膜;

S5、S4完成后将硅片置于磁控溅射腔室内,溅射生长出厚度为150~200nm的Ag金属薄膜;

S6、采用湿法剥离法, S5完成后复合薄膜使用稀HCl浸泡处理,去除遮盖层GZO薄膜;

S7、采用湿法剥离法,S6完成后复合薄膜使用HF浸泡处理,去除牺牲层SiO2薄膜,得到具有晶粒生长网络形状的金属Ag纳米网络;

S8、采用热压印方法,将S7得到的Ag纳米网络连续化无损转移至薄膜太阳能电池玻璃基板,得到电子信息显示用玻璃。

2.根据权利要求1所述的一种金属纳米网络柔性玻璃的加工方法,其特征在于:所述S1中的硅片采用硅陶瓷靶材,磁控溅射时,采用Ar离子作为溅射气体,O2作为反应气体,射频电源作用于阴极,溅射功率为220-280W,工作压强为0.4-0.6Pa,靶电压为85-95V,衬底与靶材的间距为65-75mm,制备得到厚度为280-320nm的SiO2薄膜。

3.根据权利要求2所述的一种金属纳米网络柔性玻璃的加工方法,其特征在于:所述溅射功率为250W,工作压强为0.5Pa,靶电压为87V,衬底与靶材的间距为70mm,制备SiO2薄膜的厚度为300nm。

4.根据权利要求1所述的一种金属纳米网络柔性玻璃的加工方法,其特征在于:所述S2中采用GZO/AZO/ZnO陶瓷靶材,磁控溅射时,采用Ar离子作为溅射气体,直流电源作用于阴极,溅射功率为300~400W,工作压强为0.1-0.4Pa,靶电压为419~468V,衬底与靶材的间距为60-80mm,制备GZO薄膜、AZO薄膜或ZnO薄膜的厚度为450-550nm。

5.根据权利要求4所述的一种金属纳米网络柔性玻璃的加工方法,其特征在于:所述射功率为350W,工作压强为0.2Pa,靶电压为450V,衬底与靶材的间距为70mm,制备GZO薄膜、AZO薄膜或ZnO薄膜的厚度为500nm。

6.根据权利要求1所述的一种金属纳米网络柔性玻璃的加工方法,其特征在于:所述S5中采用Ag金属靶材,用Ar离子做为溅射气体,以射频电源作用于阴极,工作压强为0.3-0.4Pa,溅射功率为100W~200W,靶电压为54~78V。

7.根据权利要求6所述的一种金属纳米网络柔性玻璃的加工方法,其特征在于:所述S5中溅射的工艺参数为:工作压强为0.35Pa,溅射功率为150W,靶电压为65V,溅射生长出Ag金属薄膜的厚度为180nm。

8.根据权利要求1所述的一种金属纳米网络柔性玻璃的加工方法,其特征在于:所述S8将涂有EVA光学胶厚度为1mm的PET柔性透明基底加热至60℃,用热压印方法将硅片上的金属纳米网络连续化无损转移至PET上,得到金属纳米网络透明导电玻璃。

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