技术总结
本发明涉及一种金属纳米网络柔性玻璃的加工方法,包括以下步骤:在硅片上制备SiO2薄膜作为牺牲层;在牺牲层上制备GZO薄膜、AZO薄膜或ZnO薄膜作为遮盖层;在遮盖层上滴加稀HNO3,腐蚀遮盖层得到颗粒间的裂缝;再滴加HF腐蚀颗粒间裂缝下面的SiO2薄膜;溅射生长出Ag金属薄膜;HCl浸泡去除遮盖层GZO薄膜;HF浸泡去除SiO2薄膜,得到金属Ag纳米网络;转移至涂有EVA光学胶的PET柔性透明基底,得到金属纳米网络透明导电玻璃。本发明的优点:在已研制得到大颗粒GZO薄膜、AZO薄膜或ZnO薄膜基础上,结合磁控溅射与湿法刻蚀,获得金属纳米网络结构易于调控、制作简便的金属纳米网络透明导电玻璃。
技术研发人员:彭寿;仲召进;马立云;崔介东;操芳芳;王萍萍;高强;赵凤阳;曹欣;单传丽;石丽芬;王巍巍;倪嘉;韩娜;
受保护的技术使用者:中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司;
技术研发日:2017.12.28
技术公布日:2018.06.19