本实用新型属于蓝宝石加工设备领域，具体涉及一种蓝宝石用研磨机。
背景技术：
用作半导体衬底的光学蓝宝石晶体基片对其表面有很高的要求。蓝宝石晶片研磨是蓝宝石晶片制造中非常重要的一项工艺流程，它决定了蓝宝石研磨后的TTV 和WARP，以及表面粗糙度。
蓝宝石常用的研磨液是碳化硼水溶液，加上些许防锈液，碳化硼比较昂贵，研磨过程一直需要均匀的添加研磨液，因此需要研磨液捅回收研磨液，并利用泵浦对磨盘添加稳定流量的研磨液。
现有的技术在应用中，一般先对浆料进行搅拌，然后倒入浆料桶中，使用浆料泵加输送管的方式，把浆料输送到研磨盘面上进行供给，研磨后的浆料重新回到浆料桶中，再循环利用，实际在研磨粉配置过程中，浆料搅拌往往很不均匀，没有完全搅拌开，研磨浆料悬浮性差，很容易造成晶片破裂和粗糙度超差的情况，这些崩边和破裂的晶片颗粒会进入到浆料中，循环使用再次输送到盘面上，会造成整桶浆料不能继续使用而浪费，研磨的晶片表面划伤，出现划痕，严重时会产生整盘爆盘，晶片全部损失的情况，加上研磨工艺过程控制不到位，造成研磨优质率下降，成本增高。
技术实现要素：
本实用新型所要解决的技术问题是如何提高蓝宝石研磨液的均匀性。
具体的，采用的技术方案为：
一种蓝宝石用研磨机，包括研磨机本体，所述研磨机本体外部放置有浆料筒、研磨桶和废浆料筒，所述研磨桶包括研磨机构和储料桶，所述储料桶位于研磨机构下方并与研磨机构的出料口连接；所述储料桶通过输送软管与蠕动泵的输送管连接，蠕动泵的泵出管通过泵出软管连接到研磨上盘的浆料管接头；浆料筒的输出端通过管道连接到研磨机构的输入口，废浆料筒对应研磨机本体上的浆料排出口。
在使用时，应当先启动浆料筒自身的搅拌装置，以快速搅拌的方式将沉淀的磨料搅动起来，再切换慢速搅拌，保证磨料悬浮，启动浆料筒的输送泵将浆料泵入研磨桶的研磨机构，对浆料进行研磨，研磨的过程中浆料得以充分混合均匀。混匀的浆料通过蠕动泵送入研磨机用于研磨。
本实用新型具有如下有益效果：
本实用新型通过增加研磨桶，对输送往研磨机的研磨液（浆料）进行研磨式混合，能够确保研磨液的均匀性，同时采用蠕动泵输送研磨液，避免研磨液在输送过程中的沉淀现象，从而基本避免了研磨液悬浮性差导致的晶片表面划伤。
同时，也不会产生崩边和破裂的晶片颗粒进入研磨液中，避免了研磨液的循环使用对蓝宝石晶片的质量影响。
采用研磨桶后，原浆料筒的搅拌机构只需要维持保证磨料不沉淀的基本转速即可，功率消耗低，装置整体能够并未显著增加。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图中，1为研磨机本体，2为浆料筒，3为研磨桶，4为研磨机构，5为储料桶，6为蠕动泵，7为浆料排出口，8为废浆料筒，9为研磨上盘。
具体实施方式
下面的实施例可以使本领域技术人员更全面地理解本实用新型，但不以任何方式限制本实用新型。
实施例1
如图1所示，一种蓝宝石用研磨机，包括研磨机本体1，所述研磨机本体1外部放置有浆料筒2、研磨桶3和废浆料筒8，所述研磨桶3包括研磨机构4和储料桶5，所述储料桶5位于研磨机构4下方并与研磨机构4的出料口连接；所述储料桶5通过输送软管与蠕动泵6的输送管连接，蠕动泵6的泵出管通过泵出软管连接到研磨上盘9的浆料管接头；浆料筒2的输出端通过管道连接到研磨机构4的输入口，废浆料筒8对应研磨机本体1上的浆料排出口7。
本领域技术人员应理解，以上实施例仅是示例性实施例，在不背离本实用新型的精神和范围的情况下，可以进行多种变化、替换以及改变。