一种可调节厚度和间距的石墨舟的制作方法

本实用新型涉及硅片制造模具技术领域，具体为一种可调节厚度和间距的石墨舟。

背景技术：

现有的对应管径380的石墨舟都是21片石墨舟页的石墨舟，为了提升产能，可以在石墨舟两边各加一片石墨舟页组成23片石墨舟页的石墨舟，此种石墨舟能提升产能10％。

对于上述提出的改造方法，虽然增加了石墨舟页的片数，增加了硅片放置量，但是为了使23片石墨舟能正常运行放进炉管，必须减薄舟页厚度和减少舟页间距。

但是现有技术中，如说明书附图1所示，现有的两片石墨舟之间仅仅通过一个圆柱形陶瓷管进行间隔，而且每片石墨舟页的厚度均为定值，不好调整，所以现有的石墨舟在减薄舟页厚度和减少舟页间距时，操作起来十分复杂，非常不方便。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种可调节厚度和间距的石墨舟，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种可调节厚度和间距的石墨舟，包括若干平行设置的石墨舟页以及若干垂直插设于石墨舟页中的石墨棒，每两片石墨舟页之间均设置有调节装置；

所述调节装置包括依次间隔设置的陶瓷套和石墨片，且陶瓷套和石墨片之间通过连接块固定，所述陶瓷套中开设有插孔，且调节装置通过插孔依次对应活动插设于石墨棒上；

所述陶瓷套远离插孔一端开设有内孔，所述内孔中活动插设有陶瓷管，所述陶瓷管转动插设于石墨棒上。

优选的，所述内孔为螺纹孔，陶瓷管外壁设置有螺纹，且内孔与陶瓷管之间采用螺纹配合。

优选的，所述陶瓷套和石墨片在石墨棒方向上的长度相同。

优选的，所述陶瓷管外表面刻设有刻度线。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过原有的石墨舟页与石墨片的配合，用石墨片对硅片放置区域的厚度进行控制，从而实现对石墨舟页厚度的调整；而且通过陶瓷套和陶瓷管的设置，一方面将石墨舟页间隔开用来放置硅片，另一方面，通过内孔和陶瓷管的螺纹插接配合，使得每两片石墨舟页之间的间距可以很方便的进行调整。

本实用新型在每两片石墨舟页之间增加了调节装置，并且配合着可以活动插接于陶瓷套内的陶瓷管，可以非常简便的对石墨舟页的厚度以及石墨舟页之间的间距进行调整，以方便对石墨舟页片数进行增加调节，从而提升石墨舟产能，并且操作简单可以节约大量调节时间，而且不需要更换不同厚度的石墨舟页，大大节约了材料，非常有效。

附图说明

图1为现有技术的石墨舟结构示意图；

图2为本实用新型的结构示意图；

图3为本实用新型实施例中石墨舟页的结构示意图；

图4为本实用新型的调节装置与石墨棒安装示意图；

图5为本实用新型的陶瓷套与陶瓷管连接结构剖视图；

图6为本实用新型的调节装置结构示意图。

图中：1石墨舟页、2石墨棒、3陶瓷套、4石墨片、5连接块、6陶瓷管、11圆柱形陶瓷管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-6，本实用新型提供一种技术方案：

一种可调节厚度和间距的石墨舟，包括若干平行设置的石墨舟页1以及若干垂直插设于石墨舟页1中的石墨棒2，目前普遍石墨舟采用的石墨舟页1为21片，通过调节，可以在石墨舟两边各加一片石墨舟页1组成23片石墨舟页1的石墨舟，改进后的石墨舟能提升产能10％，每两片石墨舟页1之间均设置有调节装置，用来对石墨舟页1的厚度以及石墨舟页1间的间距进行调节。

调节装置包括依次间隔设置的陶瓷套3和石墨片4，两端均为陶瓷套3，且陶瓷套3和石墨片4之间通过连接块5固定，形成一个整体的调节装置，石墨片4设置于两个陶瓷套3之间，用来对硅片放置区域进行限制调节，从而实现对石墨舟页1的厚度调节效果，若石墨片4安装于两片石墨舟页1之间时，即等同于增加了石墨舟页1的厚度，作为一个优选，使得陶瓷套3和石墨片4在石墨棒2方向上的长度相同，使得石墨片4的安装和卸下不会影响石墨舟页1之间的间距，且陶瓷套3和石墨片4的一端均与石墨舟页1侧壁活动贴设接触。

陶瓷套3中开设有插孔31，且调节装置通过插孔31依次对应活动插设于石墨棒2上，可以将调节装置整体安装于两片石墨舟页1，方便安装和拆卸，非常简便。

陶瓷套3远离插孔31一端开设有内孔32，内孔32中活动插设有陶瓷管6，内孔32为螺纹孔，陶瓷管6外壁设置有螺纹，且内孔32与陶瓷管6之间采用螺纹配合，陶瓷管6转动插设于石墨棒2上，通过陶瓷管6在石墨棒2上的转动，可以将陶瓷管6旋钮进入陶瓷套3内，从而起到调节石墨舟页1之间的间距，便于操作。

作为一个优选，陶瓷管6外表面刻设有刻度线，通过陶瓷套3套住的陶瓷管6长度，运用刻度线的读数，精准的测得每两片石墨舟页1之间的间距。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。