吸附垫的制作方法

文档序号:14885595发布日期:2018-07-07 11:58阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种吸附垫,其特征在于,包括:

第一环氧树脂板、第一胶层、第二环氧树脂板以及第二胶层;

所述第一环氧树脂板通过所述第一胶层与所述第二环氧树脂板的一面固接,且在所述第二环氧树脂板远离所述第一胶层的另一面设有第二胶层,所述第二胶层用于所述第二环氧树脂板与托盘固接;

所述第一环氧树脂板设有多个用于容置晶片的型腔;

所述第二环氧树脂板的中心设有用于释放应力的通孔。

2.根据权利要求1所述的吸附垫,其特征在于,所述第一胶层的厚度0.005mm~0.01mm。

3.根据权利要求2所述的吸附垫,其特征在于,所述第二胶层的厚度0.005mm~0.01mm。

4.根据权利要求1所述的吸附垫,其特征在于,所述第二环氧树脂板的厚度为0.6mm~1.2mm。

5.根据权利要求4所述的吸附垫,其特征在于,所述型腔贯穿于所述第一环氧树脂板。

6.根据权利要求5所述的吸附垫,其特征在于,所述第一胶层设有与所述型腔相对应的无胶区域。

7.根据权利要求1~6任一项所述的吸附垫,其特征在于,所述第一胶层和第二胶层均为双面胶。

8.根据权利要求1~6任一项所述的吸附垫,其特征在于,所述第二环氧树脂板上分别与所述第一胶层和所述第二胶层接触的两面为经过打磨的平面。

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