显示器制造装置和使用其的显示器制造方法与流程

本发明涉及显示器制造装置和使用该显示器制造装置的显示器制造方法，具体而言，涉及具有用于降低在有机电场发光显示器(oled)的制造装置内润滑构件从用于使被移动体移动的移动机构飞散而附着于被蒸镀体、掩模的情况的构造的显示器制造装置。

背景技术：

最近，有机电场发光显示器(oled)作为平板显示器崭露头角。有机电场发光显示器是自发光显示器，响应速度、视场角、薄型化等特性比液晶面板显示器优异，在以监视器、电视机、智能手机为代表的各种便携终端等方面，急速地替代了现有的液晶面板显示器。此外，其应用领域也广泛地分布于汽车用的显示器等。

有机电场发光显示器的元件具有在两个彼此相向的电极(阴极电极、阳极电极)之间形成有引起发光的有机物层的基本构造，有机电场发光显示器的元件的有机物层通过使在真空腔室内被收容于蒸发源的蒸镀物质蒸发而使真空腔室内的被蒸镀体蒸镀从而形成。

为了在被大型化了的被蒸镀体上形成具有均匀的膜厚的有机物层，一边使蒸发源相对于在真空腔室内停止着的被蒸镀体移动，一边进行蒸镀工序。如此，在蒸发源由移动的移动源构成的情况下，为了使蒸发源移动而设置导轨，供蒸发源在该导轨之上移动。

此时，在导轨上设有沿着导轨移动的导块，在导块上载置蒸发源的主体。因为载置有蒸发源的导块沿着导轨移动，所以为了降低导块与导轨之间的摩擦，在导轨与导块之间添加如润滑脂(grease)那样的润滑剂。

另外，在进行真空蒸镀工序的期间，持续地产生导轨和与其相对移动的导块间的摩擦热，此外，由于为了使蒸镀物质蒸发的蒸发源单元的加热，真空腔室内部的温度本身上升。由此，润滑脂被加热而蒸发。特别是由于蒸镀工序在真空状态下进行，所以不仅润滑脂成分容易蒸发，而且没有空气阻力，因此，被蒸发了的润滑脂容易朝向被配置在真空腔室的上部的被蒸镀体、掩模飞散，有时会附着于被蒸镀体的蒸镀面、掩模。如此，附着于被蒸镀体的蒸镀面的润滑脂成为使有机电场发光显示元件的寿命缩短的原因。

因这样的润滑脂飞散而导致的问题不仅存在于真空蒸镀装置，连同真空蒸镀装置，如构成有机电场发光显示器生产线的其它的装置(掩模储存腔室、被蒸镀体储存腔室、路径腔室等)那样，在使用移动机构、升降机构进行被蒸镀体、掩模的移送/升降的装置中也存在相同的问题。

技术实现要素：

本发明要解决的课题以及目的在于提供一种能够降低由于摩擦热等而飞散的润滑脂附着于被蒸镀体、掩模的情况的显示器制造装置。

本发明的课题以及目的不限制于上述的技术课题以及目的，通过以下的记载，本领域技术人员能够明确理解未言及的、其它的技术课题以及目的。

解决课题的方案

本发明的显示器制造装置包括：腔室，进行对处理对象体的处理；移动体，在所述腔室内移动；移动机构，用于使所述移动体移动，且包括被施加润滑构件的润滑部位；以及罩构件，以至少覆盖所述移动机构的所述润滑部位的方式与所述移动机构相邻地设置。

基于本发明的一技术方案的显示器制造装置包括：真空腔室，进行对被蒸镀体的蒸镀；蒸发源单元，包括填充蒸镀物质的蒸发源；第1移动机构，用于使所述蒸发源单元在第1方向上移动，且包括被施加润滑构件的润滑部位；以及第1移动机构罩构件，以至少覆盖所述第1移动机构的所述润滑部位的方式与所述第1移动机构相邻地设置。

基于本发明的另一技术方案的显示器制造装置包括：真空腔室，进行对被蒸镀体的蒸镀；蒸发源单元，包括填充蒸镀物质的蒸发源；第1移动机构，用于使所述蒸发源单元在第1方向上移动；第2移动机构，用于使所述第1移动机构在与所述第1方向交叉的第2方向上移动，且包括被施加润滑构件的润滑部位；以及第2移动机构罩构件，以至少覆盖所述第2移动机构的所述润滑部位的方式与所述第2移动机构相邻地设置。

基于本发明的另一技术方案的显示器制造装置包括：腔室，收纳被移动体；移动机构，用于使所述腔室内的被移动体移动，且包括被施加润滑构件的润滑部位；以及移动机构罩构件，以至少覆盖所述移动机构的所述润滑部位的方式与所述移动机构相邻地设置。

基于本发明的另一技术方案的显示器制造装置包括：腔室，收纳掩模；多个盒，将使用前后的掩模区分地进行收纳；升降机构，用于使所述盒升降，且包括被施加润滑构件的润滑部位；以及升降机构罩构件，以至少覆盖所述升降机构的所述润滑部位的方式与所述升降机构相邻地设置。

基于本发明的另一技术方案的显示器制造装置包括：腔室，收纳被蒸镀体；盒，收纳所述被蒸镀体；升降机构，在所述腔室内使所述盒升降，且包括被施加润滑构件的润滑部位；以及升降机构罩构件，以至少覆盖所述升降机构的所述润滑部位的方式与所述升降机构相邻地设置。

基于本发明的另一技术方案的显示器制造装置包括：腔室，向被蒸镀体的流动方向的下流侧的蒸镀站传递被蒸镀体；工作台，在所述腔室内放置被蒸镀体；移送机构，被设置在所述工作台的下部，用于移送所述工作台，且包括被施加润滑构件的润滑部位；以及移送机构罩构件，以至少覆盖所述移送机构的所述润滑部位的方式与所述移送机构相邻地设置。

发明的效果

根据本发明，在真空蒸镀装置中能够降低从在真空腔室内用于使蒸发源单元移动的蒸发源移动机构飞散的氟化物润滑脂那样的润滑构件附着于被蒸镀体、掩模的情况，由此，能够有效地防止由本发明的真空蒸镀装置制造的有机电场发光显示器的不良。此外，如掩模储存腔室、被蒸镀体储存腔室、路径腔室那样在构成有机电场发光显示器的生产线的各腔室内，能够有效地防止润滑脂等从被蒸镀体、掩模的移送/升降机构飞散并附着于被蒸镀体、掩模的情况。

附图说明

图1是有机电场发光显示器生产线的概略图。

图2是有机电场发光显示器生产线所使用的真空蒸镀装置的概略图。

图3是用于使真空蒸镀装置的蒸发源单元移动的第1移动机构和用于防止润滑构件的飞散的罩构件的概略图。

图4是用于使真空蒸镀装置的蒸发源单元在真空蒸镀装置的工作台之间移动的第2移动机构和用于防止润滑构件的飞散的罩构件的概略图。

图5是用于使掩模储存腔室内的掩模盒升降的升降机构和用于防止润滑构件的飞散的罩构件的概略图。

图6是在被蒸镀体储存腔室内用于使被蒸镀体盒升降的升降机构和用于防止润滑构件的飞散的罩构件的概略图。

图7是在路径腔室内用于移送被蒸镀体的移送机构和用于防止润滑构件的飞散的罩构件的概略图。

图8是关于使用本发明的显示器制造装置而制造有机电场发光显示器的方法的流程图。

具体实施方式

以下，参照附图，详细地说明本发明的实施例。

本发明能够进行多种变更，能够具有多种实施例。基于附图例示地说明特定的实施例，本发明不限定于该特定的实施例，应该被理解为包括本发明的思想以及保护范围所包含的所有的变更、等同物以及替代物。

图1是简略地表示有机电场发光显示器的生产线的结构的图。有机电场发光显示器生产线由多个蒸镀站构成，各蒸镀站包括转移腔室1(transferchamber)、连结于转移腔室1的多个真空蒸镀装置2、连结于转移腔室1并收纳使用前后的掩模的掩模储存腔室3。在各蒸镀站之间，在被蒸镀体的流动方向上，设置有被蒸镀体储存腔室4、转向腔室5(turnchamber)和路径腔室6(passchamber)等，该被蒸镀体储存腔室4从上流侧的蒸镀站接收被蒸镀体，在被蒸镀体流到下流侧的蒸镀站之前暂时性地收纳被蒸镀体；该转向腔室5设置在被蒸镀体储存腔室4的下流侧，用于使来自被蒸镀体储存腔室4的被蒸镀体水平旋转；该路径腔室6用于从转向腔室5接收被蒸镀体并使被蒸镀体移动到下一个蒸镀站。

也有不具有转向腔室5的有机电场发光显示器生产线，在这样的生产线上，一般在路径腔室6内设置使被蒸镀体旋转180度的旋转装置和用于水平移送旋转了的被蒸镀体的移送机构。

本发明是为了降低从构成这样的有机电场发光显示器生产线的各种装置以及腔室内的移动/升降机构飞散的润滑构件附着于各装置以及腔室内的被蒸镀体、掩模而弄脏被蒸镀体、掩模的问题而提出的。

因此，在本发明中，其特征在于，将阻断作为润滑构件的飞散源的移动机构或升降机构与被蒸镀体以及掩模之间的润滑构件的飞散路径的罩构件在移动机构/升降机构的周围相邻地设置。即，本发明的显示器制造装置的特征在于，包括以至少覆盖作为润滑构件的飞散源的移动机构/升降机构的润滑部位(即、在移动机构/升降机构中被施加润滑构件的部位)的方式与移动机构/升降机构相邻地设置的罩构件。

以下，对于本发明的结构，分别对各装置以及腔室具体地进行说明。

(第1实施例)

图2是概略性地表示基于本发明的一实施例的真空蒸镀装置2的整体的结构的图。

如图2(a)所示，基于本发明的一实施例的真空蒸镀装置2包括作为在减压气氛下对被蒸镀体7(处理对象体、例如基板)进行蒸镀的空间的真空腔室10和使蒸镀物质蒸发并排出的蒸发源单元11。

蒸发源单元11收容蒸镀物质，并包括用于加热蒸镀物质而使其蒸发的蒸发源12。蒸发源12具有具备多个朝向被蒸镀体7的蒸镀面排出蒸镀物质的排出孔或喷嘴的构造，但是不限于此，能够与被蒸镀体7、掩模8的图案、蒸镀物质的种类等对应地适当选择。例如点(point)蒸发源、线型(linear)蒸发源、小型的蒸镀物质收容部也可以使用与具有多个排出蒸镀物质的排出孔的扩散室连接的构造的蒸发源等。

此外，本发明的真空蒸镀装置2如图2(b)所示，能够还包括遮断从蒸发源12蒸发并朝向被蒸镀体喷射的蒸镀物质以及使其通过的开闭闸门(未图示)、监视从蒸发源12排出的蒸镀物质的蒸发率的膜厚监视器13、接受来自膜厚监视器13的输入信号并测量膜厚的膜厚计14、控制设于蒸发源12的加热装置的电源15、保持被蒸镀体7并能够使被蒸镀体7相对于掩模8、蒸发源12相对地移动的被蒸镀体支架16、保持掩模8并能够使掩模8相对于被蒸镀体7、蒸发源12相对地移动的掩模支架17等其它的构成零件。

具有这样的结构的真空蒸镀装置2在使真空腔室10内成为减压气氛(例如真空)的状态下，使收容于蒸发源单元11的蒸发源12内的蒸镀物质加热-蒸发，使蒸发了的蒸镀物质通过形成有规定的图案的掩模8或图案片，蒸镀到被蒸镀体7上，形成具有被蒸镀体7所要求的图案的蒸镀物质的薄膜。关于使用本发明的真空蒸镀装置2而制造有机电场发光显示器器件的具体的方法，后面进行说明。

包括蒸发源12的一个蒸发源单元11通常配置在真空腔室10的下方，为了由一个蒸发源单元11对被蒸镀体7整体蒸镀均匀的厚度的薄膜，一边沿着被蒸镀体7的长边方向使蒸发源单元11从真空腔室10的门侧向真空腔室10的内侧(在图2(a)所示的箭头标记的方向上)移动一边进行蒸镀。

图2(a)的真空蒸镀装置2是图示了具有以下的结构的真空蒸镀装置2，即，将两个被蒸镀体7搬入一个真空腔室10内，在对其中一个被蒸镀体7进行蒸镀的期间(例如a侧工作台)，对另一个被蒸镀体7(例如b侧工作台)进行掩模8与被蒸镀体7间的排列(对准)的、所谓的“双重工作台”的结构。

在这样的双重工作台结构的真空蒸镀装置2中，除了在各自的工作台内进行蒸镀工序时使蒸发源单元11沿着被蒸镀体7的长边方向移动之外，还使蒸发源单元11在各工作台之间移动。以下，列举双重工作台结构的真空蒸镀装置2的例子对本发明的结构进行说明，但是不限于此，本发明能够应用于蒸发源单元11在真空腔室10内的移动所伴随的情况。

为了使蒸发源单元11在与被蒸镀体7相向的面内在被蒸镀体7的长边方向上移动或在各工作台之间移动，在真空腔室10的下方配置蒸发源移动机构18。即，蒸发源移动机构18包括用于使蒸发源单元11在作为被蒸镀体的长边方向的第1方向上移动的第1移动机构、和用于使蒸发源单元11在与第1方向交叉的第2方向上移动的第2移动机构。

为了使蒸发源单元11移动，蒸发源移动机构18的第1移动机构和第2移动机构分别是用于引导其移动的机构，包括提供驱动力的伺服马达、作为将伺服马达的旋转驱动力转换为直线驱动力的驱动力转换机构的齿条/小齿轮、引导蒸发源单元11的移动的导轨和能够在导轨上沿着导轨移动的导块等。

具体而言，如图3所示，作为用于使蒸发源单元11在被蒸镀体的长边方向上移动的移动机构的第1移动机构包括在作为被蒸镀体的长边方向的第1方向上延伸的两个第1导轨19(第1轨道构件)、和设置在各自的第1导轨19上，能够在第1方向上移动的第1导块20(第1可移动构件)。第1导块20通过支承蒸发源单元11且连结于蒸发源单元11的大气箱内的第1伺服马达21的旋转轴端的第1小齿轮22和固定于底板29的第1齿条23的连结，从第1伺服马达21接受驱动力，在第1导轨19上在第1方向上移动。第1小齿轮22和第1齿条23相当于本实施例的第1驱动力转换机构，但是本发明不限定于这样的驱动力转换机构，能够包括能够将作为驱动源的马达的旋转驱动力转换为直线驱动力的其它的驱动力转换机构。也能够包括例如滚珠丝杠那样的其它的驱动力转换机构。

在第1导轨19与第1导块20之间、并且在连结于第1伺服马达21的旋转轴端的第1小齿轮22与固定于底板29的第1齿条23之间，为了降低摩擦阻力，施加氟成分的润滑脂(grease)那样的润滑构件。

基于本实施例的真空蒸镀装置2为了遮断从使蒸发源单元11在第1方向上移动的第1移动机构的润滑部位(施加有润滑构件的部位)朝向被蒸镀体7、掩模8的润滑构件的飞散路径，包括以至少覆盖第1移动机构的润滑部位的方式与第1移动机构相邻地设置的第1移动机构罩构件。

具体而言，如图3所示，基于本实施例的真空蒸镀装置2作为第1移动机构罩构件，包括被固定于第1导块20，且以覆盖第1导轨19的上表面的至少一部分的方式从第1导块20的第1方向的前端和后端在第1方向上以规定的长度延伸的第1罩构件25。第1罩构件25发挥遮断第1导轨19与第1导块20之间的润滑构件到达真空腔室10内的位于上部的被蒸镀体7、掩模8的路径的功能。

第1罩构件25为了更可靠地遮断从第1导轨19与第1导块20之间朝向被蒸镀体的润滑构件的飞散路径，如图3(b)所示，进一步优选形成为以三个面(即、上表面和从第1方向观察时的两侧面)包围第1导轨19。即，不仅在覆盖飞散源的移动机构从而从作为润滑构件的飞散源的移动机构看不到被蒸镀体7、掩模8的位置设置罩构件，而且还在不是直接的视线(lineofsight)路径上的位置(不是从移动机构直接朝向蒸镀体的方向的位置)设置罩构件，由此能够进一步可靠地遮断润滑构件的飞散。这是因为，即使润滑构件开始向不是直接朝向被蒸镀体7、掩模8的方向的其它的方向飞散，也会再次改变飞散路径从而朝向被蒸镀体7、掩模8。

如图3(a)所示，优选第1罩构件25的第1方向的长度通过考虑与朝向被蒸镀体7的飞散路径的遮断程度和真空蒸镀装置2的其它的构成零件的干涉的问题而决定。即、第1罩构件25的第1方向的长度越长，越能够更可靠地遮断朝向被蒸镀体7的飞散路径，但是在第1方向的移动的两端第1罩构件25有可能与例如真空腔室10的壁面碰撞，所以优选考虑这样的要素的平衡地决定第1方向的长度。例如第1罩构件25中的、朝向真空腔室10的内侧壁面的罩构件比其相反侧的罩构件形成得短，能够防止与真空腔室10的内侧壁面的碰撞。

本实施例的真空蒸镀装置2如图3所示，作为第1移动机构罩构件，除了第1罩构件25以外，还能够包括用于遮断被施加于第1小齿轮22与第1齿条23之间(第1驱动力转换机构的润滑部位)的润滑构件的飞散路径的第2罩构件26。

第2罩构件26如图3(b)所示，形成为至少覆盖第1小齿轮22与第1齿条23间的润滑部位，具体而言，形成为覆盖第1小齿轮22的上表面的至少一部分。第2罩构件26为了更可靠地遮断润滑构件的飞散路径，更优选的是，形成为不仅覆盖第1小齿轮22的上表面的至少一部分，还覆盖第1小齿轮22与第1齿条23之间的结合部位的外侧的侧面(从第1方向观察，相对于第1齿条23与蒸发源单元11相反的一侧)的至少一部分。因此，第2罩构件26具有从第1齿条23的外侧在垂直方向(第3方向)上延伸且其上端部向第1小齿轮22的上部侧(与第1方向交叉的第2方向)弯曲的形状。第2罩构件26如图3(a)所示，形成为在第1导轨19的第1方向上延伸，但是更优选遍及第1导轨19的第1方向的整个长度而设置。这样的第2罩构件26也能够降低蒸发源单元11a在对工作台的被蒸镀体7进行蒸镀的期间飞散的润滑构件朝向b工作台侧的被蒸镀体7和掩模8飞散，或是相反地从b工作台侧的蒸发源单元11朝向a工作台侧的被蒸镀体7、掩模8飞散的情况。

以上，作为用于遮断来自蒸发源单元11的第1移动机构的润滑构件朝向真空腔室10内的被蒸镀体7、掩模8的路径的罩构件，对第1罩构件25和第2罩构件26进行了说明，但是本实施例的真空蒸镀装置2除此之外还能够追加地具有能够遮断从蒸发源单元11的第1移动机构朝向被蒸镀体7、掩模8的路径的其它的罩构件。此外，第1罩构件25和第2罩构件26根据真空蒸镀装置2的整体的构造，其具体的形状、长度、设置位置能够变更。特别是通过设置成能够尽可能地与作为润滑构件的飞散源的移动机构相邻，不仅能够减小罩构件的大小，还能够更有效地遮断润滑构件的飞散。

以下，参照图4，对在本实施例的真空蒸镀装置2中，蒸发源单元11的工作台之间的移动所使用的第2移动机构和用于遮断从第2移动机构的润滑部位朝向被蒸镀体7、掩模8的润滑构件的飞散路径的第2移动机构罩构件进行说明。第2移动机构罩构件以至少覆盖第2移动机构的润滑部位的方式与第2移动机构相邻地设置。

本实施例的真空蒸镀装置2的第2移动机构为了使蒸发源单元11从a工作台向b工作台(或者相反地)移动，包括在与第1方向交叉的第2方向上延伸的第2导轨27(第2轨道构件)和在第2导轨27上能够在第2方向上移动的第2导块28(第2可移动构件)。在第2导块28上的底板29上载置有第1移动机构(第1导轨19和第1导块20等)。第2导块28利用作为向第2方向移动的驱动源的第2伺服马达30、和作为用于将第2伺服马达30的旋转驱动力转换为直线驱动力的第2驱动力转换机构的第2齿条32以及第2小齿轮31，在第2导轨27上在第2方向上移动。由此，由第2导块28支承的第1移动机构和载置在第1移动机构的第1导块上的蒸发源单元11能够在第2方向上在工作台之间移动。在本实施例中，作为第2驱动力转换机构，例示了第2齿条32和第2小齿轮31，但是本发明不限定于此，能够使用能够将作为驱动源的马达的旋转驱动力转换为直线驱动力的其它的驱动力转换机构。能够包括例如滚珠丝杠那样的其它的驱动力转换机构。

作为向第2方向移动的驱动源的第2伺服马达30如图4(c)所示，被固定于真空腔室10的底面，在第2伺服马达30的旋转轴上设置第2小齿轮31，通过使该第2小齿轮31与形成在底板29的侧面的第2齿条32啮合，使第2导块28向第2方向移动。

为了在第2导轨27与第2导块28之间和第2小齿轮31与第2齿条32之间也降低摩擦阻力，施加含有氟成分的润滑脂那样的润滑构件，所以真空蒸镀装置2内的其它的润滑脂成为飞散源。因而，本实施例的真空蒸镀装置2作为第2移动机构罩构件，包括用于遮断第2导轨27与第2导块28之间的润滑构件朝向被蒸镀体飞散的路径的第3罩构件33以及第4罩构件34、和用于遮断第2小齿轮31与第2齿条32之间(第2驱动力转换机构的润滑部位)的润滑构件的飞散路径的第5罩构件35以及第6罩构件36。

第3罩构件33为了遮断从第2导轨27与第2导块28之间朝向被蒸镀体的润滑构件的飞散路径，如图4(b)所示，覆盖第2导块28的上表面的至少一部分，此外，如图4(a)所示，具有在第2方向上延伸的构造。为了进一步可靠地降低润滑构件的飞散，第3罩构件33能够形成为在第2导轨27的内侧(从第2方向观察时，第2伺服马达30的相反侧)进一步覆盖第2导轨27和第2导块的侧面的至少一部分。即，第3罩构件33更优选具有以下的构造，即，通过在两个第2导轨27的内侧与第2导轨27相邻地在垂直方向(第3方向)上延伸，覆盖第2导轨27与第2导块28的内侧的侧面的至少一部分，其上端部朝向第2导块28侧(即、向第1方向)弯曲，覆盖第2导块28的上表面的至少一部分。此外，第3罩构件33更优选在第2方向上遍及第2导轨27的大致全长与第2导轨27平行地形成。

本实施例的真空蒸镀装置2能够具有作为与遮断来自第2导轨27和第2导块28的润滑构件的飞散不同的罩构件的第4罩构件34。第4罩构件34在两个第2导轨27中的、设于真空腔室10的内侧的第2导轨27的外侧(真空腔室10的内侧的第2导轨27与真空腔室10的内侧壁面之间)以覆盖第2导轨27和第2导块28的侧面(朝向真空腔室10的内侧壁面的面)的至少一部分的方式，与第2导轨27的外侧的侧面相邻地设置。第4罩构件34形成为在第2方向上沿着第2导轨27延伸。

本实施例的第5罩构件35是用于覆盖作为第2驱动力转换机构的第2小齿轮31和第2齿条32的润滑部位的罩构件，如图4(c)图示，形成为覆盖第2小齿轮31的上表面和第2齿条32的上表面的至少一部分。为了进一步可靠地防止来自第2驱动力转换机构的润滑脂的飞散，第5罩构件35优选形成为从第2方向观察进一步覆盖第2小齿轮31的外侧(从第2方向观察时，真空腔室10的门侧和内侧壁面侧)侧面的至少一部分。即，第5罩构件35以覆盖连结于第2伺服马达30的旋转轴的上端的第2小齿轮31的外侧的侧面(从第2方向观察，外侧的面)的至少一部分的方式在垂直方向(第3方向)上延伸，以其上部至少覆盖第2小齿轮31的上表面和第2齿条32的上表面的一部分的方式向第2轨道构件侧(即、第1方向)弯曲。为了进一步可靠地遮断来自第2小齿轮31与第2齿条32之间的飞散源的润滑构件的飞散路径，如图4(a)所示，第5罩构件35既能够形成为追加地覆盖第2小齿轮31的从第1方向观察时的两侧面(因而，整体地覆盖上表面和3个侧面)，也能够以覆盖与第2小齿轮31啮合的第2齿条32的至少一部分的方式在第2方向上延长。

为了进一步可靠地遮断从第2小齿轮31/第2齿条32朝向被蒸镀体飞散的路径，如图4(c)所示，能够在载置于第1导轨19并设置在第2导块28上的底板29(baseplate)追加地设置在垂直的方向(第3方向)上延伸的第6罩构件36。第6罩构件36能够在第1方向上设置在比第2小齿轮31靠内侧的位置，在第2方向上能够沿着第2导轨27遍及第2导轨27的整个长度地设置。

在图4中，为了遮断从第2移动机构向被蒸镀体的润滑构件飞散路径，图示了第3以及第6罩构件，但是按照第2移动机构的构造，这些罩构件以外的其它的罩构件也能够形成为在第2移动机构与被蒸镀体之间的空间(与第2移动机构相邻地)至少覆盖第2移动机构的润滑部位，第3以及第6罩构件的具体的形状和设置位置也能够在本发明的技术思想的范围内变更。

在本实施例中，以用于遮断从真空蒸镀装置2内的蒸发源单元11的移动机构飞散的润滑构件的罩构件为中心进行了说明，但是本发明不限定于此，也能够包括用于遮断从真空蒸镀装置2的其它的被移动体的移动机构朝向被蒸镀体、掩模的路径的罩构件。例如在被蒸镀体支架16、掩模支架17等移动机构中也能够根据需要设置用于遮断润滑构件的飞散路径的罩构件。

(第2实施例)

以下，参照图5，说明基于本发明的第2实施例的结构。

第2实施例在有机电场发光显示器生产线的掩模储存腔室3内，为了遮断从润滑脂飞散源朝向掩模的路径，在设置罩构件这一点上，与关于真空蒸镀装置2内的润滑脂飞散源的罩构件的第1实施例的结构不同。

掩模储存腔室3是收纳在真空蒸镀装置2内对被蒸镀体进行蒸镀工序时所使用的掩模8的腔室，具有将使用于真空蒸镀工序之前的新的掩模和使用完了的掩模收纳于不同的掩模盒39的构造。在掩模储存腔室3中，将收纳有掩模的多个掩模盒39载置在第1工作台40上，利用升降机构使第1工作台40朝向掩模出入口升降，使掩模相对于掩模储存腔室3搬出搬入。

使用于掩模储存腔室3的升降机构包括第1滚珠丝杠41、设于第1滚珠丝杠41的两侧的第3导轨42(第3轨道构件)和第3导块43(第3可移动构件)。作为驱动源的第3马达(未图示)连结于第1滚珠丝杠41的下端，来自第3马达的驱动力通过能够移动地设置在第1滚珠丝杠41和第3导轨42上的第3导块43，传递到连结于第3导块43的第1工作台40。

在掩模储存腔室3内的作为升降装置的第1滚珠丝杠41和第3导轨42/第3导块43为了降低摩擦阻力也施加有润滑构件，所以在本实施例中，为了遮断润滑构件从它们朝向收纳于掩模储存腔室3内的掩模8飞散的路径，以至少覆盖升降机构的润滑部位的方式与升降机构相邻地设置升降机构罩构件。

具体而言，本实施例的掩模储存腔室包括第7罩构件44作为用于遮断从第1滚珠丝杠41的润滑部位飞散的润滑脂的、掩模储存腔室内的升降机构罩构件。第7罩构件44在掩模储存腔室3内以覆盖从在垂直方向(升降机构的升降方向)上延伸的第1滚珠丝杠41朝向掩模收纳空间的面的至少一部分的方式，在第1滚珠丝杠41和掩模盒39之间的空间沿着第1滚珠丝杠41延伸。基于本实施例的第7罩构件44更优选具有遍及第1滚珠丝杠41的升降方向的全长地延伸的板构件的形状。

为了进一步可靠地遮断从第1滚珠丝杠41朝向掩模的润滑构件的飞散路径，如图5所示，更优选在以3个面(朝向掩模收纳空间的面和两侧面)包围第1滚珠丝杠41的构造中形成第7罩构件44。如图5所示，第7罩构件44既可以将覆盖从第1滚珠丝杠41朝向掩模收纳空间的面的部分和覆盖其两侧面的部分形成为不同的构件，也可以一体形成。

在图5(b)中，第7罩构件44被图示为以第1滚珠丝杠41周围的长方形的方式包围3个面的构造，但是本实施例的第7罩构件44不限定于此，能够根据第1滚珠丝杠41的设置状态和掩模收纳空间的空间的配置而具有各种形状。

此外，本实施例的掩模储存腔室能够包括第8罩构件45作为用于遮断掩模储存腔室3内的第3导轨42和第3导块43之间的润滑构件的飞散的升降机构罩构件。基于本实施例的第8罩构件45如图5(c)所示，具有从润滑构件第3导块43的上下的两端部在垂直方向(升降方向)上以规定的长度延长，并包围第3导轨42的周围的构造。

在本实施例中，以用于遮断来自掩模储存腔室3内的盒升降机构的润滑构件的飞散的升降机构罩构件为中心进行了说明，但是用于遮断来自掩模储存腔室3内的其它的移动机构的润滑构件的飞散的罩构件也包含于本发明的范围。

(第3实施例)

以下，参照图6，说明基于本发明的第3实施例的结构。

第3实施例在有机电场发光显示器生产线的被蒸镀体储存腔室4内，为了遮断润滑构件从飞散源朝向被蒸镀体的路径，在设置罩构件这一点上与其它的实施例的结构不同。

被蒸镀体储存腔室4是将在被蒸镀体的流动方向的上流侧蒸镀站蒸镀完了的被蒸镀体向下流侧蒸镀站移送前暂时性地收纳的腔室，为了将收纳有被蒸镀体7的被蒸镀体盒46载置在被蒸镀体储存腔室4的第2工作台47上，并根据需要而使所期望的被蒸镀体7搬出搬入，使第2工作台47朝向搬出搬入口升降。作为为此的升降机构，使用第2滚珠丝杠48和设于第2滚珠丝杠48的两侧的第4导轨49(第4轨道构件)以及第4导块50(第4可移动构件)。在被蒸镀体储存腔室4中，为了降低第2滚珠丝杠48以及第4导轨49与第4导块50之间的摩擦阻力，使用氟成分的润滑脂那样的润滑构件。

本实施例的被蒸镀体储存腔室包括第9罩构件51作为至少覆盖被蒸镀体储存腔室4的升降机构的润滑部位的升降机构罩构件。即，在本实施例中，为了遮断润滑构件从设置于被蒸镀体储存腔室4内的第2滚珠丝杠48以及第4导轨49与第4导块50之间朝向被蒸镀体的收纳空间飞散的路径，以至少覆盖升降机构的润滑部位的方式与升降机构相邻地设置第9罩构件51。

具体而言，如图6(a)所示，本实施例的第9罩构件51以覆盖从在垂直方向(升降方向)上延伸的第2滚珠丝杠48以及第4导轨49和第4导块50朝向被蒸镀体(被蒸镀体收纳空间)的面的至少一部分的方式在该垂直方向(升降方向)上延伸。更优选第9罩构件51遍及第2滚珠丝杠48的升降方向的整个长度地形成。为了更可靠地遮断润滑构件的飞散路径，如图6(b)所示，也可以在以3面(朝向被蒸镀体收纳空间的面及其两侧面)包围第2滚珠丝杠48和第4导轨49/第4导块50的构造中形成第9罩构件51。此时，用于覆盖朝向被蒸镀体收纳空间的面(正面)的构件和用于覆盖两侧面的构件也可以形成为彼此不同的构件。第9罩构件51的具体的构造根据被蒸镀体储存腔室4内的升降装置的构造和被蒸镀体收纳空间的构造而能够具有与其不同的构造。

在本实施例中，以用于遮断来自被蒸镀体储存腔室4内的被蒸镀体升降机构的润滑构件的飞散的升降机构罩构件为中心进行了说明、但是用于遮断来自被蒸镀体储存腔室4内的其它的移动机构的润滑构件的飞散的罩构件也包含于本发明的范围。

(第4实施例)

以下，参照图7，说明基于本发明的第4实施例的结构。

第4实施例在有机电场发光显示器生产线的路径腔室6内，为了遮断润滑脂从飞散源朝向掩模的路径，在设置罩构件这一点上其它的实施例的结构不同。

路径腔室6根据有机电场发光显示器生产线的类型，在没有转向腔室5的情况下，是具有以下的功能的腔室，即，在将从被蒸镀体储存腔室4移送来的被蒸镀体交给下一蒸镀站的转移腔室1的机器人手臂之前，使被蒸镀体7在平面上旋转180度，将被蒸镀体7在水平方向上移送到事前排列的工作台而进行被蒸镀体的事前排列。在有转向腔室5的情况下，具有在将从转向腔室5交接来的基板送到下一蒸镀站之前事前排列的功能。

路径腔室6的水平移送机构如图7所示，包括在安置被蒸镀体7的第3工作台55的下部在路径腔室6的长边方向上延伸的第3滚珠丝杠52和设于第3滚珠丝杠52的两侧的第5导轨53/第5导块54。在这些第3滚珠丝杠52以及第5导轨53和第5导块54之间为了降低摩擦阻力，施加含有氟成分的润滑脂那样的润滑构件。

本实施例的路径腔室包括第10罩构件56作为至少覆盖移送机构的润滑部位的移送机构罩构件。第10罩构件56被设置成覆盖从在路径腔室6的长边方向上延伸的第3滚珠丝杠52和第5导轨53朝向第3工作台55的、第3滚珠丝杠52和第5导轨53的上表面的至少一部分。第10罩构件56更优选遍及第3滚珠丝杠52和第5导轨53的大致全长地设置。为了更可靠地遮断润滑构件的飞散路径，如图7所示，也可以在以3面(上面和两侧)包围第3滚珠丝杠52和第5导轨53/第5导块54的构造中形成第10罩构件56。此时，用于覆盖朝向被蒸镀体(或第3工作台55)的面(上表面)的罩构件和用于覆盖两侧面的罩构件也可以形成为不同的构件。除此之外，第10罩构件56的具体的构造能够根据路径腔室6内的移送装置的构造和第3工作台55的构造而具有与其不同的构造。

以上，以真空蒸镀装置2、掩模储存腔室3、被蒸镀体储存腔室4、路径腔室6为例对在有机电场发光显示器生产线上用于遮断从润滑脂飞散源朝向被蒸镀体、掩模润的滑构件的飞散路径的罩构件进行了说明，但是本发明的技术的思想不限定于这些装置和腔室，在包括被蒸镀体、掩模的移动/升降机构的其它的装置和腔室等中也能够利用。

(使用了本发明的显示器制造装置的显示器器件的制造方法)

以下，参照图2和图8，对使用本发明的显示器制造装置而制造器件的方法进行具体的说明。

首先，蒸发源12为了使蒸镀物质气化，由电源15控制设于蒸发源12的加热装置。此时，设于蒸发源12的闸门(未图示)被关闭，气化了的蒸镀物质不会排出到真空腔室10内。在闸门被关闭了的状态下，接通设于蒸发源12的加热装置的电源15(s1)。

在被蒸镀体7上形成有欲蒸镀的图案的掩模8由搬送部件(未图示)搬入真空腔室10内，并载置于保持掩模8的掩模支架17。掩模支架17具有移动机构，使掩模8的位置移动到规定的位置(s2)。此时，管理掩模8的控制部(未图示)将掩模使用次数(m)设为1。

在该状态下，作为蒸镀蒸镀物质的对象的被蒸镀体7由搬送部件搬入真空腔室10内并载置于被蒸镀体支架16。基于设于掩模8的对准标记和设于被蒸镀体7的对准标记，通过控制被蒸镀体支架16的移动机构，进行掩模8与被蒸镀体7间的对准(s3)。也可以代替控制被蒸镀体支架16的移动并进行被蒸镀体7与掩模8间的对准，在被蒸镀体7被搬入真空腔室10内并由被蒸镀体支架16配置在规定的位置后，由掩模支架17移动掩模8，进行掩模8与被蒸镀体7的对准。

对准结束后，打开蒸发源12的闸门，排出气化了的蒸镀物质，沿着掩模图案将蒸镀物质蒸镀到被蒸镀体7(s4)。

此时，为了遍及被蒸镀体7整体以均匀的厚度进行蒸镀，蒸发源12也利用蒸发源移动机构18在与图2(b)的纸面垂直的方向上移动(例如在被蒸镀体的长边方向上移动)。在这样的蒸镀工序中，通过使用包括在蒸发源移动机构18与被蒸镀体7或掩模8之间以与蒸发源移动机构18相邻的方式设置的罩构件(25、26、33、34、35、36)的本发明的显示器制造装置(真空蒸镀装置2)，能够有效地遮断施加于蒸发源移动机构18的润滑部位的润滑构件从蒸发源移动机构18的润滑部位向被蒸镀体7、掩模8飞散的路径，由此，能够降低显示器器件的不良。

蒸镀工序中水晶振子等膜厚监视器13对蒸发率进行测量，用膜厚计14换算成膜厚。持续蒸镀直到用膜厚计14换算了的膜厚成为作为目标的膜厚(s5)。

用膜厚计14换算了的膜厚到达目标值之后，关闭蒸发源12的闸门，结束蒸镀。之后，由搬送部件将被蒸镀体7搬出到真空腔室10外(s6)。掩模8在上述的掩模使用次数(m)成为规定的张数以上(n≥2)的情况下进行更换。在使用次数(m)小于规定回收(n)的情况下，将使用次数(m)增加1，接着搬入被蒸镀体7，以相同的工序进行蒸镀(s7)。掩模8的更换频率能够根据在掩模8上蒸镀材料的堆积状况等适当地决定。

经过这样的工序，能够制造有机电场发光显示器器件那样的器件，本发明的器件制造方法不限于此，各工序的具体的构成能够适当变更。

基于以上说明了的本发明，在有机电场发光显示器生产线上，通过利用罩构件遮断从用于使蒸发源单元11、被蒸镀体7、掩模8等移动以及升降的机构的润滑部位朝向被蒸镀体7、掩模8的润滑构件的飞散路径，能够降低这些移动机构所使用的润滑构件附着于被蒸镀体7、掩模8从而在有机电场发光显示器器件中产生不良的问题。

附图标记的说明

1:转移腔室

2:真空蒸镀装置

3:掩模储存腔室

4:被蒸镀体储存腔室

5:转向腔室

6:路径腔室

7:被蒸镀体

8:掩模

10:真空腔室

11:蒸发源单元

12:蒸发源

13:膜厚监视器

14:膜厚计

15:电源

16:被蒸镀体支架

17:掩模支架

18:蒸发源移动机构

19:第1导轨(第1轨道构件)

20:第1导块(第1可移动构件)

21:第1伺服马达

22:第1小齿轮

23:第1齿条

25:第1罩构件

26:第2罩构件

27:第2导轨(第2轨道构件)

28:第2导块(第2可移动构件)

29:底板

30:第2伺服马达

31:第2小齿轮

32:第2齿条

33:第3罩构件

34:第4罩构件

35:第5罩构件

36:第6罩构件

39:掩模盒

40:第1工作台

41:第1滚珠丝杠

42:第3导轨(第3轨道构件)

43:第3导块(第3可移动构件)

44:第7罩构件

45:第8罩构件

46:被蒸镀体盒

47:第2工作台

48:第2滚珠丝杠

49:第4导轨(第4轨道构件)

50:第4导块(第4可移动构件)

51:第9罩构件

52:第3滚珠丝杠

53:第5导轨(第5轨道构件)

54:第5导块(第5可移动构件)

55:第3工作台

56:第10罩构件