一种生物针灸表面处理技术及设备的制作方法

本发明是提高针灸针的医用性能。具体技术是基于离子束技术的磁过滤沉积技术。

技术背景

针灸是一门古老的医学，历经沧桑而屹立于世界医学之林，显示出勃勃生机和特有的魅力。针灸包括针法和灸法。针法是利用特制的针具，通过对经络腧穴的良性刺激，调理经气来达到防治疾病的一种外治法。灸法则是将灸料点燃后，在体表的经络腧穴上进行烧灼或熏烤而治病的一种外治法。针灸的发展离不开针灸工具的进步和改革。针灸针由青铜针到金针、银针，再到不锈钢针、电针、磁针、微波和超声波治疗仪等，丰富了针灸治疗手段。但是，目前的针灸针大多只能进行穴位针刺灸疗，并不能导入电流于深层变病变部位，使得治疗周期长、病情恢复缓慢等缺点。同时在治疗过程中无相关患者病变部位或刺入过程中的生物电流或者其他信号信息，从而不能实时监控针灸医疗的过程，以及充分发挥中医针灸疗效。

有鉴于此，本发明基于离子束技术利用磁过滤沉积(fcva)在针灸针表面制备了类金刚石涂层以及导电通道。综合碳的绝缘/导电性能、超高硬度以及优良的生物兼容性使得在使用本专利针灸针时能够减轻患者的疼痛感以及提高其针灸过程中的生物信号监控能力。

进一步来讲，该方法包括：

在针身表面通过磁过滤技术沉积超高绝缘的类金刚石膜层；

同时利用外围辅助电场以及磁场系统，在针尖沉积导电的类金刚石膜层；

在针身超高绝缘的类金刚石膜层上通过光刻掩模的方法进行导电通道的沉积，形成电极；导电电极底端距针尖距离为5-10mm；

在一些实施例中，在针身和针尖上进行类金刚石膜沉积包括：利用所述磁过滤真空弧沉积(fcva)系统，在所述针身和针尖上磁过滤沉积出碳膜；其中，阴极靶材起弧电流不高于30a，沉积电流不小于100ma，沉积时间不高于10s。

在一些实施例中，在类金刚石膜上进行金属沉积包括：利用所述磁过滤真空弧沉积(fcva)系统，在所述针身和针尖上磁过滤沉积出导电金属膜；其中，阴极靶材起弧电流不低于100a，沉积电流不小于600ma，沉积时间不高于10min。

相对于现有技术，本发明各实施例具有以下优势：

1、本发明实施例提出的针身的表面处理后针灸针具备：

1)针身覆盖膜层的地方具备很好的绝缘性能，同时膜层的结合强度大于50n，膜层具备很好的生物兼容性；

2)沉积时温度可低至室温，通过靶材和结构的设计可以在无辅助气体的情况下使起弧电流低至10a；

3)沉积速度快能大大的减低生产成本，能实现大规模批量生产；

4)制备的针灸针尖有更高的硬度，刺入时病患无痛感，同时能够通过电极通道在线监控患者的生物电流进行导入电流的调控等，提高治疗效果。

2、相比磁控溅射、电子束蒸发等pvd沉积方法，磁过滤电弧沉积设备原子离化率非常高，大约在90％以上。这样，由于原子离化率高，可使等离子体密度增加，成膜时大颗粒减少，有利于提高薄膜硬度、耐磨性、致密性、膜基结合力等；

3、公知理论知道气相沉积过程中每炉沉积的膜层的基本性质是一致的，但本发明能够利用电磁场的改变实现同时在针身和针尖沉积导电率不同的膜层。

4、基于本技术制备的1-6nm的类金刚石膜层具备很好的绝缘效果，源于其沉积的膜层致密性，这是其他技术如磁控、多弧等技术所不能实现的。

需要说明的是，对于前述的方法实施例，为了简单描述，故将其都表述为一系列的动作组合，但是本领域技术人员应该知悉，本发明并不受所描述的动作顺序的限制，因为依据本发明，某些步骤可以采用其他顺序或者同时进行。其次，本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于优选实施例，所涉及的动作并不一定是本发明所必需的。

以上所述仅为本发明的实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

本发明实施例的更多特点和优势将在之后的具体实施方式予以说明。

附图说明

构成本发明实施例一部分的附图用来提供对本发明实施例的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1为本发明实施例提供针灸针的示意图；

图2为本发明实施例提供的针灸针制备设备结构示意图；

图3为本发明实施例提供的针灸针膜层结合力图；

图4为类金刚石膜层针身dlc(ta-c)截面图；

图5为类金刚石膜层针身dlc(ta-c)的raman图谱；

图6为类金刚石膜层针尖dlc(ta-c)的raman图谱；

图7为类金刚石膜层针身和针尖的纳米硬度值；

图8为某部位针灸针探测电流信号曲线图。

附图标记说明

101针身dlc膜层

102针身导电通道

103针尖导电dlc膜层

20190度磁过滤管道

202阳极筒

203电场屏蔽体

204电场增强体

205针灸针基体

20640度磁过滤管道

207真空腔体

208自转轴

209带永磁体的辅助阳极

方法实施例

本实施例中，在针灸针尖和针身表面制备了dlc涂层以及在后续绝缘dlc膜层上制备了相关导电涂层，参照图1，其示出了本实施例制备方法效果，该制备方法包括以下步骤：

在针身表面通过磁过滤技术沉积超高绝缘的类金刚石膜层；

同时利用外围辅助电场以及磁场系统，在针尖沉积导电的类金刚石膜层；

在针身超高绝缘的类金刚石膜层上通过光刻掩模的方法进行导电通道的沉积，形成电极；导电电极底端距针尖距离为5-10mm；

在针身和针尖上进行类金刚石膜沉积包括：利用所述磁过滤真空弧沉积(fcva)系统参照图2，在所述针身和针尖上磁过滤沉积出碳膜；其中，阴极靶材起弧电流不高于30a，沉积电流不小于100ma，沉积时间不高于10s。

在类金刚石膜上进行金属沉积包括：利用所述磁过滤真空弧沉积(fcva)系统，在所述针身和针尖上磁过滤沉积出导电金属膜；其中，阴极靶材起弧电流不低于100a，沉积电流不小于600ma，沉积时间不高于10min；

利用针尖和针身上下分别施以不同方向和强度的电场，其中电场强度100v/cm，能够同时在针身和针尖分别沉积高电阻和低电阻的类金刚石膜层的方法；

靶材起弧电流不高于30a，阴极起弧结构中配置辅助阳极以及永磁体磁场，辅助阳极为混合材料，内圈用导磁外圈用非导磁材料，永磁体的强度不高于20mt。

针身和针尖沉积的dlc(ta-c)的结合力测试。结果显示四面体dlc无论是在针身还是针尖都有良好的结合强度，结合力大于15n，如图3。图4为针身表面沉积dlc膜层的截面图，dlc膜层厚度为5.1nm，可以很清晰的发现，膜层的致密性和膜层质量非常好。图5和图6分别是针身和针尖的raman图谱，可以很明显的发现针尖和针身dlc膜层的结构是不一样的，针身的g峰强所以相对sp3含量高，绝缘性能好；针尖d峰强，相对sp2含量高，所以电阻相对较低。sp3的含量也可反映在图7中，如图7中可明显观察到，针身的膜层纳米硬度与针尖的纳米硬度值相差不大，虽然针尖sp2含量高，但很明显其硬度未受影响。图8为利用该技术制备的针灸针测试的电流信号，图中证明利用该技术能够方便捕捉到身体某些部位的生物电流信号，通过信号的识别、甄选可进一步提高治疗的效果。