酸性蚀刻再生液添加剂和酸性蚀刻再生液的制作方法

文档序号:16210302发布日期:2018-12-08 07:39阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开一种酸性蚀刻再生液添加剂和应用该酸性蚀刻再生液添加剂的酸性蚀刻再生液,其中,按质量份,所述酸性蚀刻再生液添加剂含有催化剂0.1‑1.5份,所述催化剂为过硫酸铵、硫酸铵、硫酸钠、硫脲中的至少一种。本发明的技术方案能够提高酸性蚀刻再生液于回用时的蚀刻速率。

技术研发人员:李再强;黄文涛;张伟奇;梁民
受保护的技术使用者:深圳市祺鑫天正环保科技有限公司
技术研发日:2018.07.16
技术公布日:2018.12.07
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