一种硅片研磨固定装置的制作方法

本发明涉及硅片加工技术领域，具体是一种硅片研磨固定装置。

背景技术：

硅片是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件。用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力。科学技术的发展不断推动着半导体的发展。自动化和计算机等技术发展，使硅片这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度。

在硅片加工过程中，将硅棒加工成硅片后，硅片上会产生不规则的形状，为了不影响后续加工的质量，要将该不规则边去，因此就需要人工手持的方式在砂轮的来回校正，但是由于采用手持的方式，因此该操作就会带来以下缺点：（1）浪费专门研磨的劳动力；（2）由于手持过程中可能会出现轻微晃动，导致研磨的平整度人为很难把握，报废率相对较大。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种硅片研磨固定装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种硅片研磨固定装置，包括箱体，所述箱体的下部内腔上下滑动设有升降座，所述升降座内开设有矩形滑腔，矩形滑腔内转动贯穿安装有横向设置的第一丝杆，两个第二矩形滑块均水平滑动设于矩形滑腔内，且两个第二矩形滑块均采用螺纹连接方式分别安装在第一丝杆两侧的外圆周上，两个支撑竖杆分别固定连接安装在两个第二矩形滑块上，且两个所述支撑竖杆的顶端均固定安装有压块，所述箱体的上部内腔中贯穿转动架设安装有第二丝杆，两个第二矩形滑块均采用螺纹连接方式分别安装在第二丝杆的两侧外圆周上，所述升降座两侧顶部均固定设置有铰接座，两个第二矩形滑块与两个铰接座之间分别通过支撑连杆相连接。

作为本发明进一步的方案：所述第一丝杆的两侧外圆周的螺纹旋向相反设置，且第一丝杆的两端均固定设置有第一调节手轮。

作为本发明进一步的方案：所述升降座内矩形滑腔的顶板上还开设有第三条形通孔，第三条形通孔内水平滑动设有两个支撑竖杆。

作为本发明进一步的方案：箱体的顶板上对称开设有两个第一条形通孔，两个所述支撑竖杆的上部分别滑动设于两个第一条形通孔内。

作为本发明进一步的方案：所述第二丝杆两侧外圆周上的螺纹旋向相反设置，且第二丝杆的两端均固定设置有第二调节手轮。

作为本发明进一步的方案：所述第二矩形滑块的一端底部通过铰接轴铰接连接有支撑连杆，支撑连杆的另一端与铰接座之间通过铰接轴铰接连接。

作为本发明进一步的方案：所述箱体的下部侧板内壁上开设有导轨槽，升降座的端部上下滑动设于导轨槽内。

作为本发明进一步的方案：所述箱体的下部侧板上开设有与导轨槽相对应的第二条形通孔，第一丝杆的端部上下滑动贯穿于第二条形通孔内。

作为本发明进一步的方案：压块的下表面固定设置有防滑垫，防滑垫的下表面加工有锯齿。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

本发明通过操作第一调节手轮带动第一丝杆旋转，由于两个第二矩形滑块均采用螺纹连接方式分别安装在第一丝杆的两侧外圆周上，且第一丝杆两侧外圆周的螺纹旋向相反，第一丝杆顺时针转动或者逆时针转动，能够带动两个第二矩形滑块相互靠近或者相互远离，从而调节两个压块之间的距离，方便对不同尺寸宽度的硅片进行夹持固定，调整好压块的位置后，然后通过操作第二调节手轮带动第二丝杆旋转，能够使得两个第二矩形滑块做相互远离运动，在支撑连杆的联动作用下，能够推动升降座向下运动，进而带动压块向下运动，实现对箱体顶板上表面所放置硅片的夹持固定，且压块的下表面固定设置有防滑垫，防滑垫的下表面加工有锯齿，使得压块对硅片进行夹持固定时，不易打滑，稳定性高。

附图说明

图1为一种硅片研磨固定装置实施例1的结构示意图。

图2为一种硅片研磨固定装置实施例2的结构示意图。

图3为一种硅片研磨固定装置中升降座的剖视图。

图4为图2中a部分的放大结构示意图。

图中：1-箱体，2-升降座，3-第一丝杆，4-第一调节手轮，5-铰接轴，6-第二丝杆，7-第二调节手轮，8-支撑竖杆，9-第一条形通孔，10-压块，11-第二矩形滑块，12-支撑连杆，13-第二条形通孔，14-导轨槽，15-防滑垫，16-锯齿，17-第二矩形滑块，18-矩形滑腔，19-第三条形通孔，20-铰接座。

具体实施方式

下面结合实施例及附图，对本发明作进一步地的详细说明，但本发明的实施方式不限于此。

实施例1

请参阅图1和图3，本发明实施例中，一种硅片研磨固定装置，包括箱体1，所述箱体1的下部内腔上下滑动设有升降座2，所述升降座2内开设有矩形滑腔18，矩形滑腔18内转动贯穿安装有横向设置的第一丝杆3，第一丝杆3的两侧外圆周的螺纹旋向相反设置，且第一丝杆3的两端均固定设置有第一调节手轮4，进一步的，两个第二矩形滑块17均水平滑动设于矩形滑腔18内，且两个第二矩形滑块17均采用螺纹连接方式分别安装在第一丝杆3两侧的外圆周上，所述升降座2内矩形滑腔18的顶板上还开设有第三条形通孔19，第三条形通孔19内水平滑动设有两个支撑竖杆8，两个支撑竖杆8分别固定连接安装在两个第二矩形滑块17上。

进一步的，所述箱体1的顶板上对称开设有两个第一条形通孔9，两个支撑竖杆8的上部分别滑动设于两个第一条形通孔9内，且两个所述支撑竖杆8的顶端均固定安装有压块10。

本发明实施例中，所述箱体1的上部内腔中贯穿转动架设安装有第二丝杆6，第二丝杆6两侧外圆周上的螺纹旋向相反设置，且第二丝杆6的两端均固定设置有第二调节手轮7，进一步的，两个第二矩形滑块11均采用螺纹连接方式分别安装在第二丝杆6的两侧外圆周上。

所述升降座2两侧顶部均固定设置有铰接座20，两个第二矩形滑块11与两个铰接座20之间分别通过支撑连杆12相连接，其中第二矩形滑块11的一端底部通过铰接轴5铰接连接有支撑连杆12，支撑连杆12的另一端与铰接座20之间通过铰接轴5铰接连接。

进一步的，所述箱体1的下部侧板内壁上开设有导轨槽14，升降座2的端部上下滑动设于导轨槽14内，所述箱体1的下部侧板上开设有与导轨槽14相对应的第二条形通孔13，第一丝杆3的端部上下滑动贯穿于第二条形通孔13内。

本发明通过操作第一调节手轮4带动第一丝杆3旋转，由于两个第二矩形滑块17均采用螺纹连接方式分别安装在第一丝杆3的两侧外圆周上，且第一丝杆3两侧外圆周的螺纹旋向相反，第一丝杆3顺时针转动或者逆时针转动，能够带动两个第二矩形滑块17相互靠近或者相互远离，从而调节两个压块10之间的距离，方便对不同尺寸宽度的硅片进行夹持固定，调整好压块10的位置后，同理，通过操作第二调节手轮7带动第二丝杆6旋转，能够使得两个第二矩形滑块11做相互远离运动，在支撑连杆12的联动作用下，能够推动升降座2向下运动，进而带动压块10向下运动，实现对箱体1顶板上表面所放置硅片的夹持固定。

实施例2

请参阅图2和图4，本发明实施例中，为进一步提高压块10对硅片的夹持效果，所述压块10的下表面固定设置有防滑垫15，防滑垫15的下表面加工有锯齿16，使得压块10对硅片进行夹持固定时，不易打滑，稳定性高。

本发明使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例，并非对本发明做任何形式上的限制，凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化，均落入本发明的保护范围之内。