沉积腔室、镀膜设备及镀膜方法与流程

文档序号:20917085发布日期:2020-05-29 13:40阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种沉积腔室,其特征在于,包括至少两排金属蒸发源和至少一排非金属蒸发源;

每排所述金属蒸发源包括至少两种金属蒸发源;

沿着所述沉积腔室的幅长方向,所述至少两排金属蒸发源分别设置于所述沉积腔室的两侧,且每排所述金属蒸发源成直线排布;每排所述金属蒸发源的总数量为8个。

2.根据权利要求1所述的沉积腔室,其特征在于,每排所述金属蒸发源包括镓ga蒸发源、铟in蒸发源和铜cu蒸发源;或/和所述非金属蒸发源为se蒸发源;

在相邻两排所述金属蒸发源之间设置至少一排所述非金属蒸发源。

3.根据权利要求1所述的沉积腔室,其特征在于,沿着所述沉积腔室的幅长方向,至少两排所述金属蒸发源分别设置于所述沉积腔室的底部;或/和

每排相邻两个所述金属蒸发源之间设置有间隙;或/和

所述非金属蒸发源为1~5排;或/和

每排相邻两个所述非金属蒸发源之间具有间隙,每排所述非金属蒸发源的个数为3~18个。

4.根据权利要求1~3任一项所述的沉积腔室,其特征在于,沿所述沉积腔室的幅长方向,每排所述金属蒸发源的排布顺序依次为:

cu蒸发源,in蒸发源,ga蒸发源,cu蒸发源,cu蒸发源,in蒸发源,ga蒸发源,in蒸发源;或者

cu蒸发源,ga蒸发源,cu蒸发源,in蒸发源,cu蒸发源,in蒸发源,ga蒸发源,in蒸发源;或者

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in蒸发源,ga蒸发源,cu蒸发源,cu蒸发源,cu蒸发源,in蒸发源,ga蒸发源,cu蒸发源。

5.根据权利要求1~3任一项所述的沉积腔室,其特征在于,所述cu蒸发源的中心线、in蒸发源的中心线和ga蒸发源的中心线与参考线之间的夹角为20-45度,所述参考线为垂直于所述沉积腔室的底部的直线。

6.一种镀膜设备,其特征在于,包括权利要求1~5任一项所述的沉积腔室;或/和

所述镀膜设备包括前处理腔室或/和后处理腔室,所述前处理腔室或/和所述后处理腔室中设置有碱金属化合物蒸发源。

7.根据权利要求6所述的镀膜设备,其特征在于,所述沉积腔室设置于所述前处理腔室与所述后处理腔室之间;且在所述前处理腔室与所述沉积腔室之间或/和在所述沉积腔室和所述后处理腔室之间设置加热腔室。

8.一种镀膜方法,应用于权利要求6或7任一项所述的镀膜设备,其特征在于,所述方法包括:

控制沉积腔室的温度达到预设温度阈值,在沉积腔室中通过沉积工艺在玻璃衬底的表面沉积,形成cigs薄膜。

9.根据权利要求8所述的镀膜方法,其特征在于,所述控制沉积腔室的温度达到预设温度阈值,在沉积腔室中通过沉积工艺在玻璃衬底的表面沉积,形成cigs薄膜之前,还包括:在所述玻璃衬底表面进行碱金属的前处理步骤;或/和

所述控制沉积腔室的温度达到预设温度阈值,在沉积腔室中通过沉积工艺在玻璃衬底的表面沉积,形成cigs薄膜之后,还包括:在所述cigs薄膜的表面进行碱金属的后处理步骤。

10.根据权利要求8或9所述的镀膜方法,其特征在于,所述预设温度阈值为200-600℃。


技术总结
本发明提供一种沉积腔室、镀膜设备及镀膜方法,沉积腔室包括至少两排金属蒸发源和至少一排非金属蒸发源;每排金属蒸发源包括至少两种金属蒸发源;沿着沉积腔室的幅长方向,至少两排金属蒸发源分别设置于沉积腔室的两侧,且每排金属蒸发源成直线排布;每排所述金属蒸发源的总数量为8个。镀膜设备包括上述的沉积腔室。本发明改善了薄膜的性能,提高了太阳能薄膜电池的发电效率和成品率。

技术研发人员:田保峡;闻益;曲士座
受保护的技术使用者:北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
技术研发日:2018.11.02
技术公布日:2020.05.29
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