技术特征：
技术总结
用于高效薄膜太阳电池的氧化锌透明导电薄膜的制备方法，本发明涉及透明导电氧化物薄膜技术领域；以低掺杂比例三氧化二铝和氟化镁共掺杂氧化锌为靶材；在去离子水中混入电子清洗液，利用超声清洗机对玻璃衬底清洗10min，然后再放入去离子水中超声清洗10min，最后用N2吹干；将清洗干净的玻璃衬底放入真空腔室，然后对腔室进行抽真空处理，待真空度小于5×10‑5Pa，向腔室通入氩气，调节腔内溅射气压，达到预设值；开启溅射电源进行预溅射处理5min，然后开始在玻璃衬底沉积ZnO薄膜。提高薄膜在紫外和近红外区域的透过率，该ZnO薄膜具有低电阻率、高宽光谱透过率、性能稳定的特点。
技术研发人员：王延峰;韩冰;田野;孟旭东;杨富;李俊杰
受保护的技术使用者：河北北方学院
技术研发日：2018.11.12
技术公布日：2019.01.15