本发明涉及新材料领域，具体涉及一种azo靶材的制备方法及azo靶材。
背景技术：
目前的azo靶材制备方法是将原材料添加粘合剂进行混合，并送至搅拌机中进行搅拌后进行脱脂烧结，并且在制备过程中容易造成各组分的分布不均匀，影响靶材的质量及使用效果。
技术实现要素：
本发明的目的是提供一种azo靶材的制备方法及azo靶材。
为了解决上述技术问题，本发明提供了一种azo靶材的制备方法，包括：通过azo原料制备azo喷涂材料；以及将azo喷涂材料通过喷涂方式制成azo靶材。
进一步，所述azo原料按重量份组成包括：氧化锌95-99份；氧化铝1-5份。
进一步，所述制备azo喷涂材料的方法包括：在azo原料中加入粘结剂，进行混合搅拌后形成azo料浆；在azo料浆内通入高压空气，并进行加压处理；对azo料浆进行离心处理；喷雾干燥形成azo颗粒；对azo颗粒进行脱脂处理；以及真空烧结，得到azo喷涂材料。
进一步，所述azo颗粒的粒径为45～75μm。
进一步，所述制备azo喷涂材料的方法包括：在azo原料中加入粘结剂后进行加热，形成azo固体；对azo固体进行脱脂处理；以及烧结、粉碎，得到azo喷涂材料。
进一步，所述azo喷涂材料的颗粒直径为45～75μm。
进一步，所述喷涂方式为等离子喷涂；其中采用的等离子喷涂设备参数包括：管内水温为90～120℃，反转速为100～300r/min，枪体移动速度为
0.1～2m/min。
进一步，在进行等离子喷涂时，所述azo靶材适于通过表面冷却和抽风冷却的组合方式进行冷却。
另一方面，本发明还提供了一种靶材用azo原料，按重量份组成包括：氧化锌95-99；氧化1-5份。
又一方面，本发明还提供了一种azo靶材，所述azo靶材适于通过如前所述的制备方法制备。其中azo靶材中包含氧化锌95-98份；氧化铝2-5份。
本发明的有益效果是，本发明的制备方法通过制备azo喷涂材料和喷涂工艺两步制成azo靶材，提高了靶材的均匀性，也简化了靶材的生产工艺，提高了生产效率，节约了生产成本；通过控制azo喷涂材料的粒径，可以调节喷涂效果，进一步提升靶材的使用效果；同时也缩短靶材的制造时间，提高了生产效率，解决了azo靶材制备时容易造成靶材分布不均匀且制造效率低下的问题。
具体实施方式
实施例1
本实施例1提供一种azo靶材的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：
步骤一：将98kg的氧化锌与2kg的氧化铝混合，形成azo原料；
步骤二：在azo原料中加入粘结剂，进行混合搅拌后形成azo料浆；
步骤三：在azo料浆内通入高压空气，并进行加压处理；
步骤四：将azo料浆送入高速离心机中进行离心处理；
步骤五：将azo料浆进行喷雾干燥，获得粒径在55μm的azo颗粒；
步骤六：对azo颗粒进行脱脂处理；
步骤七：在真空情况下进行烧结，得到azo喷涂材料；
步骤八：使用等离子喷涂设备进行等离子喷涂，得到azo靶材成品。其中，等离子喷涂设备的管内水温为95℃，反转速为200r/min，枪体移动速度为1.2m/min；以及等离子喷涂时azo靶材使用表面冷却和抽风冷却的组合冷却方式进行冷却。
实施例2
本实施例2提供一种azo靶材的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：
步骤一：将98kg的氧化锌与2kg的氧化铝混合，形成azo原料；
步骤二：在azo原料中加入粘结剂后进行加热，形成azo固体；
步骤三：对azo固体进行脱脂处理；
步骤四：将azo固体送入烧结炉中进行烧结；
步骤五：将烧结过后的azo固体送入粉碎机中破碎成粒径为45μm的小颗粒，得到喷涂材料；；
步骤六：使用等离子喷涂设备进行等离子喷涂，得到azo靶材成品。其中，等离子喷涂设备的管内水温为100℃，反转速为100r/min，枪体移动速度为0.2m/min；以及等离子喷涂时azo靶材使用表面冷却和抽风冷却的组合冷却方式进行冷却。
实施例3
本实施例3提供一种azo靶材的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：
步骤一：使用形状有问题的废弃靶材进行破碎，得到粒径为75μm的azo喷涂材料；
步骤二：使用等离子喷涂设备进行等离子喷涂，得到azo靶材成品。其中，等离子喷涂设备的管内水温为100℃，反转速为100r/min，枪体移动速度为0.2m/min；以及等离子喷涂时azo靶材使用表面冷却和抽风冷却的组合冷却方式进行冷却。
实施例4
本技术的制备方法通过对azo原料配比(氧化锌和氧化铝的质量比)、azo颗粒或azo喷涂材料的颗粒、等离子喷涂设备的参数等因素进行探究，通过制备azo喷涂材料和喷涂工艺相结合的方式提高了azo靶材的成分均匀性，同时也提高了生产效率。此外，azo喷涂材料通过喷涂方式制成azo靶材，还可以提高靶材表面的平整度，进一步提高靶材质量。限于篇幅，仅在实施例1-3中只列举了部分实施方式，其它实施方式的主要参数如表1所示，其具体实施过程参见实施例1-3中相关描述。
以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。