技术总结
本实用新型提供一种用于晶棒外径研磨的夹具及研磨装置，所述夹具包括成对配置的两个夹头，每个所述夹头包括：夹块，用于与晶棒端面相接触；压簧机构，用于使所述夹块将所述晶棒夹紧；以及设置于所述夹块上的调节柱，所述调节柱可前后移动以调节所述夹块的方向，以此对所述晶棒与所述夹具轴心的同轴度进行调整。本实用新型提供的用于晶棒外径研磨的夹具及研磨装置，可以保证晶棒与夹具轴心的同轴度，减少不必要的磨削量，从而节省原料及加工时间。
技术研发人员：赵旭良
受保护的技术使用者：上海新昇半导体科技有限公司
技术研发日：2018.01.29
技术公布日：2018.09.21