一种高真空样品台随动挡板的制作方法

本实用新型涉及一种高真空设备技术领域，特别是涉及一种高真空样品台随动挡板。

背景技术：

现有样品台挡板结构复杂，成本过高，挡板高度固定。

技术实现要素：

针对上述问题中存在的不足之处，本实用新型提供一种高真空样品台随动挡板，使其结构简单，质量轻，成本低廉，并且能够较好的保护基片不受膜材予蒸发时的污染。

为了解决上述问题，本实用新型提供一种高真空样品台随动挡板，包括样品拖挡板和设置在所述样品拖挡板上端的立柱，其中，所述立柱上端设置有电机支架、驱动机构和挡板，所述电机支架包括电机上固定板、电机下固定板和电机固定板支柱，所述电机固定板支柱包括第一电机固定板支柱、第二电机固定板支柱、第三电机固定板支柱和第四电机固定板支柱，所述电机上固定板通过所述第一电机固定板支柱、所述第二电机固定板支柱、所述第三电机固定板支柱、所述第四电机固定板支柱与所述电机下固定板固定连接，所述驱动机构包括减速电机、联轴器、直接转轴、样品台转动方轴和挡板驱动轴，所述电机上固定板上端设置有所述减速电机，所述联轴器位于所述电机上固定板和所述电机下固定板之间，所述电机下固定板下端设置有所述直接转轴，所述减速电机通过所述联轴器与所述直接转轴转动连接(具体如何连接通过紧定螺钉固定)，所述直接转轴通过设置在其下方的所述样品台转动方轴与所述挡板驱动轴连接(具体如何连接方轴与方孔间隙配合)，所述挡板驱动轴与所述挡板连接。

优选的，所述挡板驱动轴下端连接有深沟球轴承，所述深沟球轴承通过设置在其上的挡板轴承套与所述挡板转动连接(具体如何连接螺钉固定连接)。

优选的，所述电机支架侧端设置有接触开关架，所述接触开关架上设置有接触开关。

优选的，所述挡板驱动轴与所述挡板之间通过挡圈连接。

优选的，所述联轴器上设置有限位柱，所述限位柱位于所述电机下固定板的上方。

优选的，所述减速电机的型号为ZGA37RG627i。

优选的，所述接触开关的型号为XSS-5GL。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

本实用新型结构简单，质量轻，成本低廉，并且能够较好的保护基片不受膜材予蒸发时的污染。

附图说明

图1是本实用新型的实施例剖面结构示意图；

图2是本实用新型的实施例整体结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图与实例对本实用新型作进一步详细说明，但所举实例不作为对本实用新型的限定。

如图1和图2所示，本实用新型的实施例包括样品拖挡板1和设置在所述样品拖挡板1上端的立柱，其中，所述立柱上端设置有电机支架、驱动机构和挡板2，所述电机支架包括电机上固定板3、电机下固定板4和电机固定板支柱5，所述电机固定板支柱5包括第一电机固定板支柱、第二电机固定板支柱、第三电机固定板支柱和第四电机固定板支柱，所述电机上固定板3通过所述第一电机固定板支柱、所述第二电机固定板支柱、所述第三电机固定板支柱、所述第四电机固定板支柱与所述电机下固定板4固定连接，所述驱动机构包括减速电机6、联轴器7、直接转轴8、样品台转动方轴9和挡板驱动轴10，所述电机上固定板3上端设置有所述减速电机6，所述联轴器7位于所述电机上固定板3和所述电机下固定板4之间，所述电机下固定板4下端设置有所述直接转轴8，所述减速电机6通过所述联轴器7与所述直接转轴8转动连接，其通过紧定螺钉固定连接，所述直接转轴8通过设置在其下方的所述样品台转动方轴9与所述挡板驱动轴10连接，方轴与方孔间隙配合，所述挡板驱动轴10与所述挡板2连接。

所述挡板驱动轴10下端连接有深沟球轴承11，所述深沟球轴承11通过设置在其上的挡板轴承套12与所述挡板2转动连接，其通过螺钉固定连接。所述电机支架侧端设置有接触开关架13，所述接触开关架13上设置有接触开关14，接触开关14设置在减速电机6周围90度的两个位置上且位置可调；当减速电机6旋转时，驱动联轴器7和固定在其上的限位柱15，转到极限位置时变回触碰到接触开关14上的触片，发出信号，从而使减速电机6停止转动。所述挡板驱动轴10与所述挡板2之间通过挡圈16连接。所述联轴器7上设置有限位柱15，所述限位柱15位于所述电机下固定板4的上方。

所述减速电机6的型号为ZGA37RG627i。所述接触开关14的型号为XSS-5GL。

本实施例中，挡板2采用减速电机6驱动，在两个接触开关14的控制下，可实现减速电机6的正反转，限位柱15碰撞倒接触开关14的触片，发出信号使减速电机6停止转动，再次启动转动时，减速电机6便会反转；挡板2固定在样品台上，通过样品台转动方轴9和挡板驱动轴10的滑动来实现随动挡板2的功能，样品台转动方轴9的方轴和挡板驱动轴10的方孔是间隙配合，即可转动也可实现轴向滑动；挡板2结构简单，装卸方便，价格低廉。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。