一种高效的溅镀装置的制作方法

本实用新型涉及溅镀设备技术领域，具体为一种高效的溅镀装置。

背景技术：

溅镀是指在真空环境下，通入适当的惰性气体作为媒介，靠惰性气体加速撞击靶材，使靶材表面原子被撞击出来，并在表面形成镀膜。以几十电子伏特或更高动能的荷电粒子轰击材料表面，使其溅射出进入气相，可用来刻蚀和镀膜。入射一个离子所溅射出的原子个数称为溅射产额(Yield)产额越高溅射速度越快，以Cu,Au,Ag等最高，Ti,Mo,Ta,W等最低。一般在0.1-10原子/离子。离子可以直流辉光放电(glow discharge)产生，在10-1—10Pa真空度，在两极间加高压产生放电，正离子会轰击负电之靶材而溅射也靶材，而镀至被镀物上。但是，目前的溅镀装置其溅镀空间不可调节，在遇到不同大小或者不同需求的工件时，也不能做针对性的调节。

技术实现要素：

本实用新型所解决的技术问题在于提供一种高效的溅镀装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种高效的溅镀装置，包括：溅镀仓，所述溅镀仓上端设有上固定板、下端设有下固定板，下固定板安装在设备支架上，所述上固定板上设有阳极电极、所述下固定板上设有阴极电极，所述阳极电极通过阳极电极固定支架安装在上固定板，阴极电极通过阴极电极固定支架安装在下固定板上，所述溅镀仓一侧设有溅镀气体入口、另一侧设有抽真空排出口，所述阴极电极固定支架安装在升降调节板上，所述升降调节板安装在升降调节装置上，所述溅镀仓与上固定板、下下固定板之间连接处设有弧形板。

所述阴极电极固定支架外侧设有密封绝缘衬垫，密封绝缘衬垫安装在下固定板上。

所述溅镀气体入口上安装有电磁阀，溅镀气体入口通过输送管连接于溅镀气体存储罐，溅镀气体存储罐安装在上固定板上。

所述抽真空排出口连接于抽真空泵，所述抽真空泵安装在真空泵安装支架上，所述真空泵安装支架安装在下固定板上。

所述升降调节装置包括电机、转动轴、齿轮、齿条、连接部，所述电机固定在设备支架上，所述电机上设有转动轴，所述转动轴上设有螺纹，所述转动轴一侧设有齿轮，所述齿轮和转动轴上的螺纹咬合，所述齿轮通过固定杆固定安装，所述齿轮另一侧设有齿条，所述齿条上设有卡齿，所述齿轮和卡齿咬合，所述齿条和连接部滑动连接，所述齿条上固定有升降调节板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型可以根据不同的加工需求进行调节电极之间的距离，达到节能的目的，而且，能够使溅镀更加集中提高加工效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的升降调节装置结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的实现技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型，在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以两个元件内部的连通。

实施例1

如图1所示，一种高效的溅镀装置，包括：溅镀仓3，所述溅镀仓3上端设有上固定板2、下端设有下固定板1，下固定板1安装在设备支架13上，所述上固定板2上设有阳极电极9、所述下固定板1上设有阴极电极8，所述阳极电极9通过阳极电极固定支架10安装在上固定板2，阴极电极8通过阴极电极固定支架11安装在下固定板1上，所述溅镀仓3一侧设有溅镀气体入口17、另一侧设有抽真空排出口6，所述阴极电极固定支架11安装在升降调节板14上，所述升降调节板14安装在升降调节装置4上，所述溅镀仓3与上固定板2、下下固定板1之间连接处设有弧形板15。

实施例2

如图1所示，一种高效的溅镀装置，包括：溅镀仓3，所述溅镀仓3上端设有上固定板2、下端设有下固定板1，下固定板1安装在设备支架13上，所述上固定板2上设有阳极电极9、所述下固定板1上设有阴极电极8，所述阳极电极9通过阳极电极固定支架10安装在上固定板2，阴极电极8通过阴极电极固定支架11安装在下固定板1上，所述溅镀仓3一侧设有溅镀气体入口17、另一侧设有抽真空排出口6，所述阴极电极固定支架11安装在升降调节板14上，所述升降调节板14安装在升降调节装置4上，所述溅镀仓3与上固定板2、下下固定板1之间连接处设有弧形板15。

所述阴极电极固定支架11外侧设有密封绝缘衬垫12，密封绝缘衬垫12安装在下固定板1上。

所述溅镀气体入口17上安装有电磁阀16，溅镀气体入口17通过输送管18连接于溅镀气体存储罐19，溅镀气体存储罐19安装在上固定板2上。

所述抽真空排出口6连接于抽真空泵5，所述抽真空泵5安装在真空泵安装支架7上，所述真空泵安装支架7安装在下固定板1上。

实施例3

如图1、图2所示，一种高效的溅镀装置，包括：溅镀仓3，所述溅镀仓3上端设有上固定板2、下端设有下固定板1，下固定板1安装在设备支架13上，所述上固定板2上设有阳极电极9、所述下固定板1上设有阴极电极8，所述阳极电极9通过阳极电极固定支架10安装在上固定板2，阴极电极8通过阴极电极固定支架11安装在下固定板1上，所述溅镀仓3一侧设有溅镀气体入口17、另一侧设有抽真空排出口6，所述阴极电极固定支架11安装在升降调节板14上，所述升降调节板14安装在升降调节装置4上，所述溅镀仓3与上固定板2、下下固定板1之间连接处设有弧形板15。

所述升降调节装置4包括电机41、转动轴42、齿轮44、齿条48、连接部49，所述电机41固定在设备支架13上，所述电机41上设有转动轴42，所述转动轴42上设有螺纹43，所述转动轴42一侧设有齿轮44，所述齿轮44和转动轴42上的螺纹43咬合，所述齿轮44通过固定杆50固定安装，所述齿轮另一侧设有齿条48，所述齿条上设有卡齿45，所述齿轮44和卡齿45咬合，所述齿条48和连接部49滑动连接，所述齿条48上固定有升降调节板14。

本实用新型在阴极电极固定支架11安装在升降调节板14上，所述升降调节板14安装在升降调节装置4上，可以根据不同的加工需求进行调节电极之间的距离，达到节能的目的，而且，溅镀仓3与上固定板2、下下固定板1之间连接处设有弧形板15，能够使溅镀更加集中提高加工效率。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型的要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。