一种半导体封装晶圆磨片装置的制作方法

文档序号:17236009发布日期:2019-03-30 08:21阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种半导体封装晶圆磨片装置,包括打磨框,所述打磨框的右侧固定连接有电机框,所述电机框的内壁固定连接有第一电机,所述第一电机的输出轴固定连接有第一转轮,所述第一转轮通过第一皮带传动连接有第二转轮,所述第二转轮的轴心处固定连接有转动丝杠,本实用新型涉及半导体加工技术领域。该一种半导体封装晶圆磨片装置,达到了将晶圆实现平稳移动,结构简单、操作方便,又不影响机床工作的准确性,稳定性较强,实现晶圆无需拆卸,即可进行粗磨与精磨,提高生产效率的目的,达到了当粗磨的时候,第二电机转动,进行粗磨,需要精磨的时候,第三电机转动,进行精磨,无需更换打磨轮,减少加工工序,提高生产效率的目的。

技术研发人员:董强;李典华
受保护的技术使用者:安徽博辰电力科技有限公司
技术研发日:2018.07.20
技术公布日:2019.03.29

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