1.一种半导体钨化硅装置沉积环部件洗净喷砂专用保护治具,其特征在于,包括外遮蔽保护圈和内遮蔽保护圈,所述外遮蔽保护圈和内遮蔽保护圈独立设置;所述外遮蔽保护圈为圆环状结构,其包括相连接的凸台A和外挡圈;所述内遮蔽保护圈包括相连接的凸台B和内挡圈,凸台B和内挡圈的连接处设有多个卡接槽,所述凸台B中设有中间把手。
2.根据权利要求1所述的半导体钨化硅装置沉积环部件洗净喷砂专用保护治具,其特征在于,所述外遮蔽保护圈置于待洗净喷砂件上,凸台A覆盖在待洗净喷砂件的外遮蔽件上。
3.根据权利要求1所述的半导体钨化硅装置沉积环部件洗净喷砂专用保护治具,其特征在于,所述内遮蔽保护圈置于待洗净喷砂件上,凸台B覆盖在待洗净喷砂件的内遮蔽件上。
4.根据权利要求1所述的半导体钨化硅装置沉积环部件洗净喷砂专用保护治具,其特征在于,所述的外遮蔽保护圈和内遮蔽保护圈均采用不锈钢材质。
5.根据权利要求1所述的半导体钨化硅装置沉积环部件洗净喷砂专用保护治具,其特征在于,所述卡接槽与待洗净喷砂件上设置的凸起连接,所述凸起的数量与卡接槽的数量相对应。