半导体钨化硅装置沉积环部件洗净喷砂专用保护治具的制作方法

文档序号:16867513发布日期:2019-02-15 20:19阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体钨化硅装置沉积环部件洗净喷砂专用保护治具,其特征在于,包括外遮蔽保护圈和内遮蔽保护圈,所述外遮蔽保护圈和内遮蔽保护圈独立设置;所述外遮蔽保护圈为圆环状结构,其包括相连接的凸台A和外挡圈;所述内遮蔽保护圈包括相连接的凸台B和内挡圈,凸台B和内挡圈的连接处设有多个卡接槽,所述凸台B中设有中间把手。

2.根据权利要求1所述的半导体钨化硅装置沉积环部件洗净喷砂专用保护治具,其特征在于,所述外遮蔽保护圈置于待洗净喷砂件上,凸台A覆盖在待洗净喷砂件的外遮蔽件上。

3.根据权利要求1所述的半导体钨化硅装置沉积环部件洗净喷砂专用保护治具,其特征在于,所述内遮蔽保护圈置于待洗净喷砂件上,凸台B覆盖在待洗净喷砂件的内遮蔽件上。

4.根据权利要求1所述的半导体钨化硅装置沉积环部件洗净喷砂专用保护治具,其特征在于,所述的外遮蔽保护圈和内遮蔽保护圈均采用不锈钢材质。

5.根据权利要求1所述的半导体钨化硅装置沉积环部件洗净喷砂专用保护治具,其特征在于,所述卡接槽与待洗净喷砂件上设置的凸起连接,所述凸起的数量与卡接槽的数量相对应。

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