一种多层复合膜真空镀膜装置的制作方法

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种多层复合膜真空镀膜装置。

背景技术：

溅射镀膜是利用气体放电产生气体电离，其正离子在电场作用下高速轰击阴极靶体，击出阴极靶体原子或分子，飞向被镀基体表面沉积成薄膜。如专利CN 205662593 U公开了一种高效光学镜片真空溅射镀膜装置，开启高压电源后，工作气体放电产生气体电离，其正离子在电场作用下高速轰击阴极工作台的靶材，击出靶材原子或分子，飞向伸缩阳极工作台的镜片基体，沉积成薄膜。

而现有的多层复合膜真空镀膜装置，是通过多个真空镀膜装置或在一个镀膜装置里横向设置多个靶材工位，在多个工件连续镀膜的情况下，为防止靶材相互污染，相邻靶材工位之间设置隔板，且隔板下方设有连通两个工位的通道，基材跟随传输机构经通道顺序经过若干工位。

但是上述设备隔板通道高度高于靶材，相邻工位同时镀膜时，容易相互干扰，而且，现有的设备结构不合理，设备占用空间较大。

技术实现要素：

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种多层复合膜真空镀膜装置，解决了目前真空镀膜装置工位之间相互干扰，设备占地较大，不紧凑的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种多层复合膜真空镀膜装置，包括真空室，所述真空室连接真空泵，并设有带有阀门的进气管；所述真空室内腔呈圆筒形，真空室内壁间隔设有六道挡边并形成连续的四个镀膜工位与两个预备工位，所述挡边朝真空室中心弧形凸起并对称设有两导向斜面；每个镀膜工位上部内壁连接设有用于安装靶材的阴极工作台，每个镀膜工位外壁连接有电源箱，阴极工作台连接电源箱；

所述真空室底部中心安装有转筒，转筒下端连接驱动机构，转筒侧面按六等分间隔安装有两根导杆，导杆端部滑动套装有伸入至真空室内壁的阳极工作台，阳极工作台与转筒之间连接有设于导杆外周的弹簧，阳极工作台外端面为弧面，弧面顶部连接有与阳极工作台电连的触头，且镀膜工位内壁对应设有与电源箱电连的触头。

为了进一步阻隔相邻工位同时进行镀膜时的干扰，所述阳极工作台内端套接固定有两侧对称并延伸至相邻挡边的弧形凸起端部的弧形盖板，且弧形盖板上端高于阴极工作台，下端低于阳极工作台。

作为一种开门方式，所述真空室顶部加工有舱门，舱门与真空室通过铰链连接，封盖闭合后通过螺栓紧固。

优选的，还包括基架，所述真空室安装于基架上表面，驱动机构、真空泵固定于基架内。

优选的，所述挡边连接真空室上底面与下底面。

本实用新型的有益效果：结构优化，设备占用空间小，相邻工位同时镀膜时不会干扰。

附图说明

图1为本实用新型的局部透视结构示意图。

图2为本实用新型的结构原理图。

图3为本实用新型的阳极工作台的连接示意图。

具体实施方式

如图1、2、3所示，一种多层复合膜真空镀膜装置，包括真空室1，所述真空室1连接真空泵，并设有带有阀门的进气管；所述真空室1内腔呈圆筒形，真空室1内壁间隔设有六道挡边2并形成连续的四个镀膜工位3与两个预备工位4，所述挡边2朝真空室1中心弧形凸起并对称设有两导向斜面5；每个镀膜工位3上部内壁连接设有用于安装靶材的阴极工作台12(图1仅示出位置)，每个镀膜工位3外壁连接有电源箱11，阴极工作台12连接电源箱11；

所述真空室1底部中心安装有转筒6，转筒6下端连接驱动机构14，转筒6侧面按六等分间隔安装有两根导杆7，导杆7端部滑动套装有伸入至真空室1内壁的阳极工作台8，阳极工作台8与转筒6之间连接有设于导杆7外周的弹簧9，阳极工作台8外端面为弧面，弧面顶部连接有与阳极工作台8电连的触头10，且镀膜工位3内壁对应设有与电源箱11电连的触头10。

所述阳极工作台8内端套接固定有两侧对称并延伸至相邻挡边2的弧形凸起端部的弧形盖板13，且弧形盖板13上端高于阴极工作台12，下端低于阳极工作台8。

所述真空室1顶部加工有舱门，舱门与真空室1通过铰链连接，封盖闭合后通过螺栓紧固。还包括基架，所述真空室1安装于基架上表面，驱动机构14、真空泵固定于基架内。所述挡边2连接真空室1上底面与下底面。

本实用新型的真空室1顶部加工有舱门，通过铰链连接的舱门盖在真空室1顶部，并通过螺栓锁紧(此为设备舱门的通过开关方式，图未详细示出)。

放入基件与靶材后关闭并锁紧舱门，通过真空泵对真空室1进行抽真空，通过进气管通入一定的工作气体，通过步进电机控制转筒6转动，带动阳极工作台8沿真空室1内壁逐一工位的转动；一开始两阳极工作台8分别位于两预备工位4内，转动时，例如第一个阳极工作台8外端面与挡边2的导向斜面5接触，使得阳极工作台8转动时，受导向斜面5作用，沿导杆7滑动，且弹簧9收缩，阳极工作台8转动至挡边2另一面，即进入镀膜工位3并使得阳极工作台8的触头10与镀膜工位3的触头10接触接通该工位电源箱11，随后开启该电源箱11接通阳极工作台8与阴极工作台12进行镀膜即可，镀膜后再运动一个工位，第二个阳极工作台8进入第一个镀膜工位3，第一个阳极工作台8位于第二个镀膜工位3，同理操作，同时镀膜；相邻工位通过挡边2阻隔，防止感染，同时阳极工作台8内端设有的弧形盖板13与两挡边2最顶端接触，盖住工位口，而且弧形盖板13在移动时也会跟随阳极工作台8在沿导杆7滑动收缩，不会干涉移动。

综上进而实现了相邻工位同时镀膜时不会干扰的功能，同时结构优化，不会横跨大量空间。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换或改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。