具有镜面光泽的PVD处理工艺的制作方法

文档序号:18462462发布日期:2019-08-17 02:09阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及PVD处理工艺技术领域,具体涉及具有镜面光泽的PVD处理工艺,包括前处理:对基材进行清洗,风干预处理;抛光:对基材表面进行抛光处理;清洗:对基材抛光后进行清洗;喷涂反光漆:对基材进行真空喷涂反光漆;红外线烘烤:烘烤时间4‑6min;紫外固化:在紫外固化室对底漆进行固定,清洗:对固化后的基材进行清洗;静电除尘;制备TiN、SiN交替层:通过磁控溅射制备TiN、SiN交替层;注入高能离子:通过离子注入机注入高能离子。本发明通过喷刷反光漆使得基体达到反光效果,通过TiN、SiN交替生长,TiN、SiN交替层晶体结构产生晶化,通过往TiN、SiN交替层注入TiN和SiN离子,高能离子对TiN、SiN交替层产生的轰击效应能够在硬质薄膜表面引入压应力效应。

技术研发人员:陈杰锋;丁斐
受保护的技术使用者:东莞市旺鑫精密工业有限公司
技术研发日:2019.04.15
技术公布日:2019.08.16
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