一种全包裹派瑞林镀膜工艺及镀膜装置的制作方法

本发明涉及一种派瑞林镀膜工艺及镀膜装置，特别是涉及一种全包裹派瑞林镀膜工艺及镀膜装置，属于化学气相沉积技术领域。

背景技术：

现有的派瑞林镀膜工艺为派瑞林材料在蒸发室加热气化后，在真空压差的作用下经过裂解室向镀膜室运动，并在裂解室内发生裂解反应，裂解后气体经过管道进入镀膜室后发生聚合反应形成防水、防腐膜层，但是，现有的派瑞林镀膜工艺及装置很难能保证镀膜工件的全包裹，为了提高产品可靠性，需要开发出一种全包裹派瑞林镀膜工艺及镀膜装置。

技术实现要素：

本发明的主要目的是为了提供一种全包裹派瑞林镀膜工艺及镀膜装置，保证镀膜工件的全包裹，提高产品可靠性。

本发明的目的可以通过采用如下技术方案达到：

一种全包裹派瑞林镀膜工艺，包括如下步骤：

步骤1：将待镀膜工件放在移动平台上，将移动平台放入真空沉积室内；

步骤2：将真空沉积室密封并通过真空系统抽至真空；

步骤3：利用冷却控制器将真空沉积室区域温度控制在20℃-80℃之间；

步骤4：将派瑞林材料放入蒸发室加热气化并经裂解室裂解反应后形成气体，气体进入真空沉积室；

步骤5：打开振动转动执行机构，使振动转动执行机构不断振动及转动，使待镀膜工件在振动转动执行机构上移动，实现点接触；

步骤6：完成后，关闭加热电源，打开真空沉积室取出加工件。

优选的，所述振动转动执行机构包括移动支撑架振动装置及设置在所述移动支撑架振动装置上的平板镀膜移动支撑架，所述移动支撑架振动装置产生振动带动所述平板镀膜移动支撑架使待镀膜工件在所述平板镀膜移动支撑架上移动，实现点接触。

优选的，所述平板镀膜移动支撑架包括内部开设有若干个滚珠活动空隙的支撑架体及设置在所述滚珠活动空隙内的滚珠。

优选的，所述滚珠为圆球形滚珠，所述滚珠的直径小于所述滚珠活动空隙的宽度。

优选的，位于所述滚珠活动空隙内设有滚珠导轨槽，所述滚珠在所述滚珠导轨槽内滚动。

优选的，位于所述滚珠导轨槽的两侧设有滚珠分离器，所述滚珠分离器用于分离所述滚珠。

优选的，所述滚珠分离器通过定位件固定在所述滚珠导轨槽的两侧，所述定位件可以为定位螺丝，所述滚珠分离器上设有滚珠空隙定位孔，所述定位件设置在所述滚珠空隙定位孔内。

优选的，所述移动支撑架振动装置包括若干个设置在所述平板镀膜移动支撑架下方的振动三角块，所述振动三角块下方设有振动滚轮，所述振动滚轮滚动带动所述平板镀膜移动支撑架振动。

优选的，所述派瑞林材料包括派瑞林c、派瑞林d、派瑞林n、派瑞林f及派瑞林ht中的一种。

一种全包裹派瑞林镀膜装置，包括移动支撑架振动装置及设置在所述移动支撑架振动装置上的平板镀膜移动支撑架，所述移动支撑架振动装置产生振动带动所述平板镀膜移动支撑架使待镀膜工件在所述平板镀膜移动支撑架上移动，实现点接触，所述移动支撑架振动装置包括若干个设置在所述平板镀膜移动支撑架下方的振动三角块，所述振动三角块下方设有振动滚轮，所述振动滚轮滚动带动所述平板镀膜移动支撑架振动，所述平板镀膜移动支撑架包括内部开设有若干个滚珠活动空隙的支撑架体及设置在所述滚珠活动空隙内的滚珠，位于所述滚珠活动空隙内设有滚珠导轨槽，位于所述滚珠导轨槽的两侧设有滚珠分离器。

本发明的有益技术效果：本发明提供的全包裹派瑞林镀膜工艺及镀膜装置，移动支撑架振动装置产生振动带动平板镀膜移动支撑架使待镀膜工件在平板镀膜移动支撑架上移动，平板镀膜移动支撑架包括内部开设有若干个滚珠活动空隙的支撑架体及设置在滚珠活动空隙内的滚珠，通过滚珠滚动，实现点接触，滚珠在滚珠活动空隙内滚动，使的待镀膜工件在滚珠上滚动，实现点接触，实现待镀膜工件的全包裹镀膜，保证镀膜工件的全包裹，提高产品可靠性。

附图说明

图1为本发明的全包裹派瑞林镀膜装置的整体结构示意图；

图2为本发明的全包裹派瑞林镀膜装置的平板镀膜移动支撑架结构示意图；

图3为本发明的全包裹派瑞林镀膜装置的平板镀膜移动支撑架侧视图；

图4为本发明的全包裹派瑞林镀膜装置的滚珠分离器结构示意图。

图中：100-平板镀膜移动支撑架，200-移动支撑架振动装置，1-滚珠，2-滚珠活动空隙，3-滚珠分离器，4-定位件，5-滚珠导轨槽，6-滚珠空隙定位孔。

具体实施方式

为使本领域技术人员更加清楚和明确本发明的技术方案，下面结合实施例及附图对本发明作进一步详细的描述，但本发明的实施方式不限于此。

如图1所示，本实施例提供的全包裹派瑞林镀膜工艺，包括如下步骤：

步骤1：将待镀膜工件放在移动平台上，将移动平台放入真空沉积室内；

步骤2：将真空沉积室密封并通过真空系统抽至真空；

步骤3：利用冷却控制器将真空沉积室区域温度控制在20℃-80℃之间；

步骤4：将派瑞林材料放入蒸发室加热气化并经裂解室裂解反应后形成气体，气体进入真空沉积室；

步骤5：打开振动转动执行机构，使振动转动执行机构不断振动及转动，使待镀膜工件在振动转动执行机构上移动，实现点接触；

步骤6：完成后，关闭加热电源，打开真空沉积室取出加工件。

在本实施例中，如图1-图2所示，振动转动执行机构包括移动支撑架振动装置200及设置在移动支撑架振动装置200上的平板镀膜移动支撑架100，移动支撑架振动装置200产生振动带动平板镀膜移动支撑架100使待镀膜工件在平板镀膜移动支撑架100上移动，实现点接触，平板镀膜移动支撑架100包括内部开设有若干个滚珠活动空隙2的支撑架体及设置在滚珠活动空隙2内的滚珠1，滚珠1为圆球形滚珠，滚珠1的直径小于滚珠活动空隙2的宽度，位于滚珠活动空隙2内设有滚珠导轨槽5，滚珠1在滚珠导轨槽5内滚动。

在本实施例中，如图3-图4所示，位于滚珠导轨槽5的两侧设有滚珠分离器3，滚珠分离器3用于分离滚珠1，滚珠分离器3通过定位件4固定在滚珠导轨槽5的两侧，定位件4可以为定位螺丝，滚珠分离器3上设有滚珠空隙定位孔6，定位件4设置在滚珠空隙定位孔6内。

在本实施例中，移动支撑架振动装置200包括若干个设置在平板镀膜移动支撑架100下方的振动三角块，振动三角块下方设有振动滚轮，振动滚轮滚动带动所述平板镀膜移动支撑架振动。

在本实施例中，派瑞林材料包括派瑞林c、派瑞林d、派瑞林n、派瑞林f及派瑞林ht中的一种。

如图1-4所示，本实施例提供的全包裹派瑞林镀膜装置，包括移动支撑架振动装置200及设置在移动支撑架振动装置200上的平板镀膜移动支撑架100，移动支撑架振动装置200产生振动带动平板镀膜移动支撑架100使待镀膜工件在平板镀膜移动支撑架100上移动，实现点接触，移动支撑架振动装置200包括若干个设置在平板镀膜移动支撑架100下方的振动三角块，振动三角块下方设有振动滚轮，振动滚轮滚动带动平板镀膜移动支撑架100振动，平板镀膜移动支撑架100包括内部开设有若干个滚珠活动空隙2的支撑架体及设置在滚珠活动空隙2内的滚珠1，位于滚珠活动空隙2内设有滚珠导轨槽5，位于滚珠导轨槽5的两侧设有滚珠分离器3。

在本实施例中，如图1-图4所示，本实施例提供的全包裹派瑞林镀膜装置，其工作原理如下：

步骤1：将待镀膜工件放在移动平台上，将移动平台放入真空沉积室内；

步骤2：将真空沉积室密封并通过真空系统抽至真空；

步骤3：利用冷却控制器将真空沉积室区域温度控制在20℃-80℃之间；

步骤4：将派瑞林材料放入蒸发室加热气化并经裂解室裂解反应后形成气体，气体进入真空沉积室；

步骤5：打开振动转动执行机构，使振动转动执行机构不断振动及转动，若干个振动三角块设置在平板镀膜移动支撑架100下方的，振动三角块下方设有振动滚轮，振动滚轮滚动带动平板镀膜移动支撑架100振动，平板镀膜移动支撑架100振动使滚珠1在滚珠活动空隙2内滚动，使的待镀膜工件在滚珠1上滚动，实现点接触，实现待镀膜工件的全包裹镀膜；

步骤6：完成后，关闭加热电源，打开真空沉积室取出加工件。

综上所述，在本实施例中，本实施例提供的全包裹派瑞林镀膜工艺及镀膜装置，移动支撑架振动装置产生振动带动平板镀膜移动支撑架使待镀膜工件在平板镀膜移动支撑架上移动，平板镀膜移动支撑架包括内部开设有若干个滚珠活动空隙的支撑架体及设置在滚珠活动空隙内的滚珠，通过滚珠滚动，实现点接触，保证镀膜工件的全包裹，提高产品可靠性。

以上所述，仅为本发明进一步的实施例，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明所公开的范围内，根据本发明的技术方案及其构思加以等同替换或改变，都属于本发明的保护范围。