一种用于薄膜材料表面沉积的沉积装置及沉积方法与流程

技术总结
本申请公开了一种用于薄膜材料表面沉积的沉积装置及沉积方法,涉及二次电池用隔膜制造领域。本申请通过在内筒体内划分若干不同的通气区域，并在不同通气区域内通入特定气体，使薄膜在绕内筒体一周的范围内，分区域成绩从内筒体筒壁上的通气孔透出的反应气体，即可实现多次的ALD循环。

技术研发人员：王晓明;魏凤杰
受保护的技术使用者：江苏卓高新材料科技有限公司
技术研发日：2019.10.15
技术公布日：2020.02.14